具有冷却功能的基板搬运机器人的制作方法

本实用新型涉及机器人技术领域，具体涉及一种具有冷却功能的基板搬运机器人。

背景技术：

玻璃基板是平板显示产业的关键基础材料之一，随着IT行业的发展，市场对玻璃基板的需求越来越大，人们努力提高生产自动化水平。

玻璃基板常常需要进行加热处理，再进行下一步处理之前需要对其进行冷却；搬运机器人在搬运过程中常会进入不同的环境中，其中包括高温环境，机械手受热温度升高，传导至玻璃基板会使基板发生形变，所以需要搬运机器人具有冷却功能。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种具有冷却功能的基板搬运机器人，在搬运之前或搬运中对基板进行冷却，避免基板产生形变。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种具有冷却功能的基板搬运机器人，包括主体支撑部1，在所述主体支撑部1上设置多个指叉2，所述指叉表面嵌入设置温度传感器3，所述温度传感器3连接控制器，在所述主体支撑部1与所述指叉2连接处设置能够向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴4，所述喷嘴4的开关连接控制器。

进一步的，在所述主体支撑部1与所述指叉连接处设置风扇5，通过所述风扇5将冷却流体吹向指叉另一端。

进一步的，所述喷嘴4设置于所述指叉2上方。

进一步的，所述风扇5设置于所述指叉2之间的间隔内。

进一步的，所述温度传感器3设置于所述指叉2上远离所述主体支撑部1的端部。

使用本实用新型时，将指叉置于玻璃基板下方，控制器控制喷嘴喷射冷却流体，温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器，当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时，控制器控制机械手开始搬运基板，同时喷嘴不停止喷射冷却流体，完成搬运过程。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的机械手在搬运玻璃基板之前以及搬运过程中持续释放冷却流体对玻璃基板进行冷却，防止基板发生形变进而成为残次品。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

图1是本实用新型的俯视图；

图2是本实用新型的立体图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述：

如图1图2所示：一种具有冷却功能的基板搬运机器人，包括主体支撑部（1），在所述主体支撑部（1）上设置多个指叉（2），所述指叉表面嵌入设置温度传感器（3），所述温度传感器（3）连接控制器，在所述主体支撑部（1）与所述指叉（2）连接处设置向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴（4），所述喷嘴（4）的开关连接控制器。

进一步的，在所述主体支撑部（1）与所述指叉连接处设置风扇（5），通过所述风扇（5）将冷却流体吹向指叉另一端。

进一步的，所述喷嘴（4）设置于所述指叉（2）上方。

进一步的，所述风扇（5）设置于所述指叉（2）之间的间隔内。

进一步的，所述温度传感器（3）设置于所述指叉（2）上远离所述主体支撑部（1）的端部。

使用本实用新型时，将指叉置于玻璃基板下方，喷嘴喷射冷却流体，温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器，当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时，控制器控制机械手开始搬运基板，同时喷嘴不停止喷射冷却流体，完成搬运过程。

以上所述的仅是本实用新型的实施例，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围。