搬运系统及搬运机器人的动作修正方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种搬运系统及搬运机器人的动作修正方法。
【背景技术】
[0002]以往，已知一种用于搬运液晶用的玻璃基板或半导体晶片等薄板状工件的搬运机器人。
[0003]作为搬运机器人，例如存在以下的搬运机器人:具备通过具有连结多个臂的连杆机构的伸缩臂而在恒定方向的直线上进退的手，并相对于收纳棚边进行存取边搬运被搬运物(例如，参照专利文献I)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2013-000839号公报
【发明内容】
[0007]本发明所要解决的问题
[0008]然而，在上述以往的搬运机器人中，存在对手的动作轨迹的精度进一步改善的余地。
[0009]例如，上述搬运机器人由于通过连杆机构来使手移动，故存在移动中的手从作为理想轨迹的直线偏移、例如采用S字状的轨迹的可能性。
[0010]本实施方式的一个技术方案是鉴于上述情况而做出的，其目的是提供一种能够使手的动作轨迹的精度提高的搬运机器人以及搬运系统。
[0011]为解决问题的方法
[0012]本实施方式的一个技术方案涉及的搬运系统包括:具有水平臂单元与支腿部单元的搬运机器人；以及控制装置。水平臂单元具有向规定的伸缩方向伸缩的水平臂部以及设置在水平臂部的前端的手。支腿部单元具有使水平臂单元沿与伸缩方向垂直的铅垂面移动的支腿部连杆机构。控制装置通过在水平臂单元的伸缩动作中使支腿部连杆机构动作，由此对手从伸缩方向的偏移进行修正。
【附图说明】
[0013]图1是表示由实施方式涉及的搬运机器人实现的手的轨道的修正方法的示意图。
[0014]图2是表示搬运机器人的简要结构的示意图。
[0015]图3是表示水平臂部的动作的示意俯视图。
[0016]图4A?图4C是用于说明由搬运机器人实现的手的轨道的修正方法的说明图。
[0017]图5A是表示臂的内部结构的一例的示意俯视图。
[0018]图5B是表示臂的内部结构的另一例的示意俯视图。
[0019]图6是搬运系统的框图。
[0020]图7A是表示横摇修正信息的一例的图。
[0021]图7B是表示横摇修正信息的另一例的图。
[0022]图8是表示搬运系统执行的处理步骤的流程图。
[0023]图9是表示变形例涉及的搬运机器人的简要结构的示意俯视图。
[0024]附图标记说明
[0025]1:搬运系统
[0026]10、10a:搬运机器人
[0027]11:水平臂单元
[0028]12、12a:支腿部单元
[0029]13、131、132:水平臂部
[0030]13a:第一臂
[0031]13b:第二臂
[0032]13aa:主动带轮
[0033]13ab:固定轴
[0034]13ba:从动带轮
[0035]13bc:固定带轮
[0036]Maa:输出带轮
[0037]14:手
[0038]14a:框架
[0039]14b:叉形件
[0040]14aa、14ac:带轮
[0041]14ab:旋转轴
[0042]15:臂基座
[0043]16:升降台部
[0044]16a:第一升降臂
[0045]16b:第二升降臂
[0046]16c:基台部
[0047]17:行驶台部
[0048]20:控制装置
[0049]R1、R2、R3:减速器
[0050]Rla、R2a、R3a:输入轴[0051 ]Rib、R2b、R3b:壳体
[0052]Rlc、R2c、R3c:输出轴
[0053]T0、T1、T2、T3:带
[0054]201、202、203、205、206、207、210:箭头
[0055]204、209:虚线
[0056]208:实线
【具体实施方式】
[0057]以下，参照附图来详细地说明本申请所公开的搬运机器人以及搬运系统的实施方式。此外，以下所示的实施方式不对本发明进行限定。
[0058]首先，利用图1说明由实施方式涉及的搬运机器人所实现的手的轨道的修正方法
[0059]如图1所示，一实施方式的搬运系统是利用支腿部单元的动作对设置在向规定的方向(例如，图1所示的X轴方向)伸缩的水平臂部的前端上的手的直线前进动作的轨迹的偏移进行修正。
[0060]如图1所示，实施方式涉及的搬运机器人具有水平臂单元与支腿部单元。水平臂单元具有水平臂部以及手。水平臂部是具有能够相互旋转地连结而成的多个臂的连杆机构，并使设于前端的手沿伸缩方向(图1所示的X轴方向)移动。
[0061]支腿部单元是具有使多个连杆部件经由支腿部关节能够相互旋转地连结而成的支腿部连杆机构、并通过所述支腿部连杆机构使水平臂单元沿着图1所示的Z轴方向升降的升降机构。
[0062]另外，支腿部单元例如使支腿部连杆机构的各支腿部关节的旋转轴的方向与手的移动方向平行等，从而使水平臂单元也能够沿着Y轴方向移动。
[0063]在此，由于水平臂部的连杆机构中的臂间的驱动力的传递滞后或臂的加工误差等，而存在使手从作为理想轨迹的直线偏移、例如采用S字状的轨迹的情况。
[0064]在图1中，由虚线S表示该S字状的轨迹。另外，设定从该轨迹S至手的理想轨迹的Y轴方向的距离表示为“偏移”。并且，支腿部单元在手的移动中使水平臂单元沿Y轴方向平行移动，从而进行消除手的轨迹的偏移的动作。
[0065]在以下之中，进一步具体地说明由实施方式涉及的搬运机器人所实现的手的轨迹的修正方法。如图1所示，在实施方式涉及的搬运机器人中，手朝向X轴的正方向开始移动(步骤SI)。
[0066]接着，支腿部单元在手的移动中使水平臂单元沿Y轴方向平行移动，从而对手进行消除从理想轨迹的偏移的动作(步骤S2)。
[0067]由此，手在作为理想轨迹的直线上进行移动并到达目的位置(步骤S3)。此外，在此以手沿着X轴的正方向移动的情况(即水平臂部伸长的情况)为例进行了说明，但在手沿着X轴的负方向移动的情况下(即水平臂部收缩的情况)也可以同样地修正轨道。
[0068]这样，实施方式涉及的搬运机器人利用使水平臂单元升降的升降机构，对手从理想轨迹的偏移进行修正。因此，能够避免设备成本的增大，同时能够提高手的直线前进动作的轨迹的精度。
[0069]在图1中，以支腿部关节为将多个连杆部件连结成能够相互旋转的所谓旋转接头的情况为例进行了说明。然而，不限于此，支腿部关节也可以是例如直动接头或球面接头等任意方式的接头、或者它们的组合。
[0070]接着，利用图2说明实施方式涉及的搬运机器人。图2是表示搬运机器人的简要结构的示意图。此外，在以下之中，以搬运作为被搬运物的玻璃基板的基板搬运机器人为例进行说明。另外，将基板搬运机器人仅记为“搬运机器人”。将作为末端执行器的机器人手仅记为“手”。将玻璃基板记为“工件”。
[0071]另外，从易于理解说明的观点而言，在图2中，图示了包含将铅垂向上作为正方向、铅垂向下作为负方向的Z轴的三维正交坐标系。因此，沿XY平面方向的方向是指“水平方向”。所述正交坐标系在下面的说明中所使用的其他附图中有时也被示出。另外，在对象物位于原点的状态下，分别假设Z轴的正方向为上侧、负方向为下侧、X轴的正方向为“前方”、Y轴的正方向为“左方”。
[0072]此外，在下面，存在如下情况:关于由多个构件构成的结构要素，只对多个构件之中的一部分附上附图标记，对其它的构件省略其附图标记。在该情况下，附上附图标记的一部分和其它部分具有相同的结构。
[0073]另外，关于同样地由多个构件构成的结构要素，有时在附图标记上附序号”的形式的附图标记号从而分别识别结构要素。在该情况下，在总称这些结构要素时，不使用上述
序号”附图标记号而只使用附图标记。
[0074]此外，在以下之中，设定臂基座15相对于第一升降臂16a绕回转轴RT回转，但只要将升降台部16的各关节的旋转轴的方向设为与手14的伸缩方向平行，也可以不设置所述回转机构。
[0075]如图2所示，搬运机器人10具有水平臂单元11与支腿部单元12。水平臂单元11具有:一对将X轴方向作为“伸缩方向”进行伸缩的水平臂部13、一对手14、以及臂基座15。并且，水平臂部13具有第一臂13a与第二臂13b。
[0076]手14是用于保持工件的末端执行器，并设于水平臂部13的前端部。利用图3之后的附图，在后面详细地叙述水平臂部13以及手14。臂基座15是水平臂部13的基部，将水平臂部13支承为能够水平旋转。
[0077]支腿部单元12具有升降台部16与行驶台部17。升降台部16具有:第一升降臂16a、第二升降臂16b、以及基台部16c。
[0078]第一升降臂16a在前端部上，将臂基座15支承为能够绕与铅垂方向平行的回转轴RT回转且能够绕轴Ul旋转。在以下之中，有时将绕所述回转轴RT的回转