专利名称：液体喷射头及其制造方法、液体喷射装置和执行元件装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及具有压电元件的执行元件装置、具备该执行元件装置且根据压电元件
的变位从喷嘴喷射液滴的液体喷射头、及液体喷射装置和液体喷射头的制造方法。
背景技术：
作为液体喷射头的代表例，可以举出搭载于喷墨式记录装置的喷墨式记录头。喷 墨式记录头例如通过由压电元件使构成压力发生室的一部分的振动板发生变形，对压力发 生室的墨水进行加压，来使墨水从与压力发生室连通的喷嘴喷射出。而且，在这样的喷墨式 记录头中，使用了在压电元件的轴方向伸长、收縮的纵向振动模式的执行元件装置的记录 头、和使用了挠曲振动模式的执行元件装置的记录头这2种正被实用化。
使用了挠曲振动模式的执行元件装置的记录头具有压电元件，该压电元件由下电 极膜、在该下电极膜上形成的压电体层、在压电体层上形成的上电极膜构成(例如参照专 利文献1)。 而且，这样的压电元件例如利用成膜技术，遍及形成有下电极膜的基板的整个面 形成压电体层及上电极膜，并利用光刻法对该压电体层及上电极膜进行构图，切分成与各 压力发生室对应的形状，由此形成。
专利文献1 :特开2006-245247号公报 在这样的构成的执行元件装置中，具有能够高密度配设压电元件、且可以实现压 电元件的高速驱动的优点。但是，由于在将压电体层形成图案时的蚀刻的终点偏差，各压电 元件的变位特性有可能出现偏差。即，在将压电体层形成图案时下电极膜的一部分被除去， 但由于该下电极膜的除去量在所有的部分并非恒定，所以，结果导致压电元件的变位特性 会出现偏差。尤其当层叠杨氏模量不同的多个导电层来形成电极时，若在杨氏模量比其他 导电层大的导电层的厚度方向的中途停止形成图案，则其厚度的偏差容易影响压电体层的 驱动。而且，即便是没有形成压电体层的区域，如果在比较接近压电体层的场所存在上述的 偏差，则也会影响压电体层的驱动。 其中，这样的问题不仅在喷射墨水滴的喷墨式记录头中存在，在喷射墨水以外的 液滴的液体喷射头中也同样存在。
发明内容
本发明鉴于这样的情况提出，其课题在于，提供一种能够抑制压电元件的变位特 性的偏差的液体喷射头、液体喷射装置和执行元件装置以及液体喷射头的制造方法。
解决上述课题的本发明提供一种液体喷射头，其特征在于，具备压电元件，该压电 元件具有在形成了压力发生室的流路形成基板的上方设置的第一电极、与前述压力发生 室的每个对应设置的压电体层、和在该压电体层的上方设置的第二电极，在与形成有前述 压电体层的区域对置的区域形成的第一电极具有第一导电层、和由杨氏模量比该第一导 电层小的材料构成且比前述第一导电层形成得靠近前述流路形成基板侧的第二导电层，对在与未形成前述压电体层的区域对置的区域形成的前述第一电极而言，该第一电极的表面 由前述第二导电层构成。 在该本发明中，不仅可提高压电元件的变位特性，而且各压电元件的变位特性的
偏差被抑制。因此，可以实现液滴的喷射特性得到了提高的液体喷射头。 而且，优选前述第二导电层的厚度比前述第一导电层的厚度还厚。由此，第一电极
的膜厚控制变得容易。 并且，作为前述第二导电层的材料，例如可以举出铂。而作为前述第一导电层的材 料，例如可以举出铱。 而且，本发明提供一种液体喷射装置，其特征在于，具备这样的液体喷射头。在该 本发明中，可以实现液滴的喷射特性得到了提高的液体喷射装置。 进而，本发明提供一种执行元件装置，其特征在于，具备压电元件，该压电元件具 有在基板的上方设置的第一电极、在该第一电极的上方形成的压电体层及在该压电体层 的上方形成的第二电极，与形成有前述压电体层的区域对置的区域的第一电极具有第一 导电层、和由杨氏模量比该第一导电层小的材料构成且比前述第一导电层形成得靠近前述 基板侧的第二导电层，对在与未形成前述压电体层的区域对置的区域形成的前述第一电极 而言，该第一电极的表面由前述第二导电层构成。 在该本发明中，可提高压电元件的变位特性，并且各压电元件的变位特性的偏差 受到抑制。 而且，本发明提供一种液体喷射头的制造方法，其特征在于，所述液体喷射头具备 压电元件，该压电元件具有在流路形成基板的上方形成的第一电极、与前述压力发生室的 每个对应设置的压电体层、和在该压电体层的上方形成的第二电极，在与形成有前述压电 体层的区域对置的区域形成的第一电极具有第一导电层、和由杨氏模量比该第一导电层 小的材料构成且比前述第一导电层形成得靠近前述流路形成基板侧的第二导电层，所述制 造方法包括在前述流路形成基板的上方形成第一电极的工序；和在该第一电极的上方形 成前述压电体层及前述第二电极，通过使这些压电体层及第二电极形成图案来形成前述压 电元件的工序；在前述形成压电元件的工序中，将前述压电体层形成图案，并且将前述第一 电极除去到前述第二导电层的厚度方向的一部分。 在该本发明中，可以比较容易且高精度地控制第一 电极的厚度。因此，可制造压电 元件的变位特性得到了提高的液体喷射头。
图1是表示实施方式1涉及的记录头的概略构成的分解立体图。
图2是实施方式1涉及的记录头的剖面图。 图3是表示实施方式1涉及的记录头的压电元件部分的俯视图。 图4是表示实施方式1涉及的记录头的压电元件部分的剖面图。 图5是表示实施方式1涉及的记录头的制造方法的剖面图。 图6是本发明的一个实施方式涉及的喷墨式记录装置的概略图。 图中10-流路形成基板，12-压力发生室，20-喷嘴板，21-喷嘴，30-保护基板，
31-压电元件保持部，32-贮存部，40-柔性基板，60-下电极膜(第一 电极)，61-第一导电层，62-第二导电层，70-压电体层，80-上电极膜(第二电极)，90-导线电极，100-被覆膜， 101-接触孔，110-贮存器，120-驱动电路，300-压电元件。
具体实施例方式
以下，根据实施方式详细说明本发明。 图1是表示作为本发明的一个实施方式涉及的液体喷射头的喷墨式记录头的概 略构成的分解立体图，图2是其剖面图。而图3是表示压电元件的构成的俯视图，图4是图 3的A-A'剖面图。 如图所示，流路形成基板10在本实施方式中由结晶面方位为(110)的单晶硅基板 构成，在其一个面上形成有由氧化膜构成的弹性膜50。流路形成基板10中，在其宽度方向 (短边方向)上并列设置有被隔壁11划分且一侧的面由弹性膜50构成的多个压力发生室 12。 流路形成基板10中，在压力发生室12的长度方向一端部侧，设置有被隔壁11划 分且与各压力发生室12连通的墨水供给路径13和连通路径14。在连通路径14的外侧设 置有与各连通路径14连通的连通部15。该连通部15与后述的保护基板30的贮存部32连 通，构成作为各压力发生室12的公共墨水室的贮存器110的一部分。而且，各连通路径14 通过向连通部15侧延伸设置压力发生室12的宽度方向两侧的隔壁ll，对墨水供给路径13 和连通部15之间的空间进行划分而形成。 其中，作为流路形成基板10的材料，在本实施方式中使用了单晶硅基板，但当然 不限于此，例如也可以使用玻璃陶瓷、不锈钢等。 在流路形成基板10的开口面侧，通过粘接剂或热熔敷膜等胶着有喷嘴板20，在该 喷嘴板20上穿设有和各压力发生室12的与墨水供给路径13相反侧的端部附近连通的喷 嘴开口 21。对喷嘴板20的材料没有特别限定，但优选使用例如玻璃陶瓷、单晶硅基板、不锈 钢等。 另一方面，在这样的流路形成基板10的与开口面相反侧的面上，如上所述形成弹 性膜50，在该弹性膜50上形成有由与弹性膜50不同的材料的氧化膜构成的绝缘体膜55。 而且，在绝缘体膜55上形成有压电元件300。 S卩，在流路形成基板10的上方形成有压电元 件300。 压电元件300由作为第一电极的下电极膜60、压电体层70、和作为第二电极的上 电极膜80构成。除了具有下电极膜60、压电体层70及上电极膜80的部分之外，该压电元 件300还包括至少具有压电体层70的部分。通常将压电元件300的任意一个电极设为公共 电极，将另一方电极连同压电体层70 —起按每个压力发生室12形成图案，作为独立电极。 而且，可以在作为压电元件300发挥功能的范围，在下电极膜60和压电体层70之间、压电 体层70和上电极膜80之间设置其他层。 而且，这里将压电元件300和通过该压电元件300的驱动而发生变位的振动板合 称为执行元件装置。其中，在上述的例子中，弹性膜50、绝缘体膜55作为振动板发挥作用。 当然，对振动板的构成没有特别限定，可以含有弹性膜50及绝缘体膜55以外的膜。另外， 下电极膜60或压电元件300自身可以实质上兼作振动板。该情况下，即便没有作为与压电 元件300独立的构件的振动板存在，也会成为执行元件装置。
这里，进一步详细说明压电元件300的构成。如图3所示，在本实施方式中，下电 极膜60在压力发生室12的长度方向形成在与压力发生室12对置的区域内，在压力发生室 12的宽度方向(短边方向)，连续设置在与多个压力发生室12对应的区域。而且，压电体 层70及上电极膜80在压力发生室12的宽度方向，被设置在与压力发生室12对置的区域 内，但在压力发生室12的长度方向，延伸设置到下电极膜60的外侧(在本实施方式中为压 力发生室12的外侧)。 并且，压电元件300由被覆膜100覆盖。被覆膜100在本实施方式中遍及与所有 的压电元件300对置的区域连续设置。通过如此由被覆膜100覆盖压电元件300，可以抑制 因大气中的水分等对压电元件300造成的破坏。另外，可以在被覆膜IOO上设置将构成压 电元件300的上电极膜80露出的露出孔。通过设置这样的露出孔，可以抑制压电元件300 的变位量降低。 作为被覆膜100的材料，只要是具有耐湿性的材料即可，例如可以举出氧化硅 (SiOx)、氧化钽(TaOx)、氧化铝(A10x)等无机绝缘材料，特别优选是无机非晶形材料。在 被覆膜IOO上形成有例如由金(Au)等构成的导线电极90，该导线电极90在形成于被覆膜 100的接触孔101内与上电极膜80连接。 而且，形成在流路形成基板10的上方的下电极膜60，包括第一导电层61、和由杨 氏模量比该第一导电层61小的材料形成的第二导电层62。 S卩，下电极膜60由杨氏模量不 同的材料所形成的多个导电层构成。图4所示，在本实施方式中，与形成有压电体层70的 区域对置的区域的下电极膜60，由这些第一导电层61和第二导电层62这两层构成，从绝缘 体膜55侧开始按照第二导电层62、第一导电层61的顺序成膜。并且，第二导电层62形成 得比第一导电层61厚。该第二导电层62的厚度例如是下电极膜60的厚度的3/4左右。
作为第一导电层61的材料，优选使用铱(Ir :杨氏模量529[GPa])、锇(Os :杨氏模 量550[GPa])、钌(Ru :杨氏模量414[GPa])、铑(Rh :杨氏模量359[GPa])等。例如，在本实 施方式中，第一导电层61由氧化铱(IrOx)形成。这些金属具有在将压电体层70从前体烧 成为晶体时，抑制构成压电体层的成分向下电极膜60内扩散的功能。因此，需要对形成有 压电体层70的区域形成第一导电层61。 另一方面，作为第二导电层62的材料，优选使用铂(Pt :杨氏模量116[GPa])。当 然，第二导电层62的材料只要是杨氏模量比第一导电层61的材料小的材料即可，没有特别 限定。这些第二导电层62导电性比第一导电层61高，即便在用于使压电体层70从前体 成为晶体的热处理中，也难以丧失其导电性。而且，如果仅由第一导电层61构成下电极膜 60，则由于通过上述的热处理导致第一导电层61的至少一部分被氧化，所以有可能无法确 保导电性。因此，以通过使用第二导电层62来确保导电性为目的而形成。
而且，这样的由第一及第二导电层61、62构成的下电极膜60，在形成压电元件300 时，与压电体层70 —起被除去到第二导电层62的一部分。S卩，与压电体层70被除去而未 形成压电体层70的区域对置的区域的下电极膜60的表面，由第二导电层62构成(参照图 4)。 通过如此除去下电极膜60的一部分，压电元件300的变位特性提高。而且，由于 振动板变得容易变形，所以，相伴着压电元件300的驱动的振动板的变位特性提高。尤其在 本实施方式中，由于在压电元件300以外的部分，由杨氏模量大的铱构成的第一导电层61被全部除去，所以振动板变得容易变形，伴随着压电元件300的驱动的振动板的变位特性 也提高。 详细内容如后所述，但作为更优选的实施方式，通过下电极膜60被除去到第二导 电层62的一部分，可以将伴随着压电元件300的驱动的振动板的变位特性均匀化。S卩，可 抑制伴随着各压电元件300的驱动的振动板的变位量的偏差。因此，可以实现打印品质得 以提高的喷墨式记录头。 S卩，通过下电极膜60被除去到第二导电层62的一部分，在第一导电层61不局部 残留的情况下，还可以抑制由应力集中导致裂纹的发生。其中，如果第一导电层61部分残 留，则由于该部分的刚性局部升高，所以容易在该部分发生因应力集中引起的裂纹。如果在 第一导电层61和第二导电层62的边界部分停止第一导电层61的除去工序，则第一导电层 61有可能以残渣的形式残留于第二导电层62的表面。在与未形成压电体层70的区域对 置的区域的哪一部分残留有第一导电层61，对各压电元件300的影响不同。即便硬质的第 一导电层61残留的区域的大小因场所而异，对各压电元件300的影响也不同。因如此残留 的第一导电层61的影响不同，导致由各压电元件300的驱动实现的变位量会发生偏差。因 此，通过除去下电极膜60直至第二导电层62的厚度方向的中途，可以避免上述的第一导电 层61局部残留的弊端。 而且，在本实施方式中，构成下电极膜60的第一导电层61和第二导电层62成为 彼此独立的层，这些第一导电层61和第二导电层62的边界明确存在。但是，第一导电层61 和第二导电层62的边界也可以不明确存在。该情况下，通过下电极膜60被除去到第二导 电层62的厚度方向的一部分，下电极膜60的表面由第二导电层62构成，也可获得如上所 述的效果。 并且，在本实施方式中，由于由铂构成的第二导电层62具有拉伸应力作为内部应
力，由氧化铱构成的第一导电层61具有压縮应力，所以因这些内部应力的方向的不同，有
可能在第一及第二导电层61、62之间发生层间剥离。但是，由于如上所述那样按照覆盖压
电元件300的方式设置被覆膜IOO，所以也可抑制这样的层间剥离的发生。 下面，参照图5，对本实施方式的喷墨式记录头中的压电元件部分的制造方法的一
例进行说明。其中，图5是喷墨式记录头的压力发生室的宽度方向的剖面图。 如图5(a)所示，首先在构成振动板的绝缘体膜55上形成下电极膜60。 S卩，利用溅
射法等在绝缘体膜55上使铂(Pt)成膜而形成第二导电层62，然后，利用溅射法等在该第二
导电层62上形成由氧化铱(IrOx)构成的第一导电层61。而且，将这些第一及第二导电层
61、62以规定形状形成图案(参照图3)。 接着，如图5(b)所示，例如，使由锆钛酸铅(PZT)等构成的压电体层70，在整个下 电极膜60及绝缘体膜55上成膜。对压电体层70的形成方法没有特别限定，例如可以举出 所谓的溶胶-凝胶法、MOD法或溅射法等。进而，在压电体层70上形成上电极膜80。作为上 电极膜80的材料，只要是导电性比较高的材料即可，例如优选使用铱、钼、钯等金属材料。
接着，如图5(c)所示，通过将上电极膜80及压电体层70以规定形状形成图案，来 形成压电元件300。此时，难以仅将上电极膜80及压电体层70形成图案，下电极膜60的厚 度方向的一部分连同上电极膜80、压电体层70也被一起除去。在本发明中，控制此时的下 电极膜60的蚀刻量，下电极膜60被除去到第二导电层62的厚度方向的一部分。S卩，下电
7极膜60的蚀刻在第二导电层62内结束。 在本实施方式的构成中，由于从绝缘体膜55侧开始按照第二导电层62、第一导电 层61、压电体层70的顺序进行层叠，所以在将压电体层70除去之后，完全除去第一导电层 61，进而在除去了第二导电层62的厚度方向的一部分的时刻，结束下电极膜60的蚀刻。
通过如此在下电极膜60被除去到第二导电层62的厚度方向的一部分的时刻，结 束下电极膜60的蚀刻，可以实现与压电元件300的驱动相伴的振动板的变位特性的均匀 化。如上所述，由于第二导电层62由杨氏模量比第一导电层61小的材料形成，所以第二导 电层62的蚀刻量与第一导电层61的蚀刻量相比容易控制，可以高精度控制。特别是在本 实施方式中，由于第二导电层62形成得比第一导电层61厚，所以可容易地在第二导电层62 内使蚀刻结束。 由此，可以实现与压电元件300的驱动相伴的振动板的变位特性的均匀化，能够 实现打印品质得到了提高的喷墨式记录头。 其中，在形成有这样的压电元件300的流路形成基板10上，接合有具有压电元件 保持部31的保护基板30。压电元件保持部31构成为能够抑制大气向内部侵入，但不是必 须密封。而且，由于压电元件300形成在这样的压电元件保持部31内，所以，以几乎不受外 部环境的影响的状态进行了保护。 而且，保护基板30上在与连通部15对置的区域设置有贮存部32，该贮存部32如 上所述，构成了与流路形成基板10的连通部15连通且成为各压力发生室12的公共墨水室 的贮存器110。并且，在保护基板30的压电元件保持部31与贮存部32之间的区域，设置有 沿厚度方向贯通保护基板30的贯通孔33，在该贯通孔33内露出了下电极膜60的一部分及 导线电极90的前端部。 而且，在保护基板30上，固定有用于驱动压电元件300的驱动电路120。并且，驱
动电路120和导线电极90通过由接合线等导电性线构成的连接布线121连接。 其中，作为保护基板30，优选使用热膨胀率与流路形成基板10大致相同的材料，
例如使用玻璃、陶瓷材料等，在本实施方式中，使用材料与流路形成基板io相同的单晶硅
基板形成。 而且，在保护基板30上接合有由密封膜41及固定板42构成的柔性基板40。这 里，密封膜41由刚性低且具有挠性的材料构成，通过该密封膜41对贮存部32的一个面进 行密封。并且，固定板42由金属等硬质材料形成。由于该固定板42的与贮存器110对置 的区域，成为在厚度方向被完全除去的开口部43，所以，贮存器110的一个面仅由具有挠性 的密封膜41密封。 在这样的本实施方式的喷墨式记录头中，从未图示的外部墨水供给机构取入墨 水，在从贮存器110直至喷嘴21由墨水充满了内部后，按照来自驱动电路120的记录信号， 对和压力发生室12对应的每个压电元件300施加电压、使其挠曲变形，由此各压力发生室 12内的压力升高，从喷嘴21喷射出墨水滴。
(其他实施方式) 以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述的实施方式。例 如，在上述的实施方式中，对下电极膜60仅由第一及第二导电层61、62构成的例子进行了 说明，但下电极膜60的构成并不限于此。例如，下电极膜60除了第一导电层61及第二导电层62之外，还可以含有第三导电层。具体而言，设置在绝缘体膜55和第二导电层62之
间且由例如氧化钛(Ti0x)等构成的第三导电层等，可以包括在下电极膜60中。 而且，这些各实施方式的喷墨式记录头，构成具备与墨水盒等连通的墨水流路的
记录头单元的一部分，被搭载于喷墨式记录装置。图6是表示该喷墨式记录装置的一例的
概略图。 如图6所示，具有喷墨式记录头的记录头单元1A及1B，可装卸地设置有构成墨水 供给机构的墨盒2A及2B，搭载有该记录头单元1A及IB的滑架3，以在轴方向上自由移动 的方式，设置在安装于装置本体4的滑架轴5轴上。该记录头单元1A及IB例如分别喷出 黑色墨水组成物及彩色墨水组成物。 而且，驱动马达6的驱动力借助未图示的多个齿轮和同步带7向滑架3传递，由此 搭载有记录头单元1A及1B的滑架3沿着滑架轴5移动。另一方面，在装置本体4上沿着 滑架轴5设置有压板(platen)8，由未图示的给纸辊等供给的纸等作为记录介质的记录片 材S被巻绕于压板8而运送。该喷墨式记录装置不过是液体喷射装置的一例。
而且，在上述实施方式1中，作为液体喷射头的一例，举例说明了喷墨式记录头， 但本发明以广泛的液体喷射头整体为对象，当然也可以在喷射墨水以外的液体的液体喷射 头中应用。作为其他的液体喷射头，例如可以举出在打印机等图像记录装置中使用的各种 记录头，在液晶显示器等的滤色器的制造中使用的色材喷射头、在有机EL显示器、FED (场 致发射显示器)等的电极形成中使用的电极材料喷射头、在生物芯片的制造中使用的生体 有机物喷射头等。 并且，本发明不仅可以用于这样的液体喷射头(喷墨式记录头)，还可以在搭载于 所有的装置的执行元件装置中应用。本发明的执行元件装置除了上述的头之外，例如也可 以用于传感器等。
权利要求
一种液体喷射头，其特征在于，具备压电元件，该压电元件具有在形成了压力发生室的流路形成基板的上方设置的第一电极、与所述压力发生室的每个对应设置的压电体层、和在该压电体层的上方设置的第二电极；在与形成有所述压电体层的区域对置的区域形成的第一电极具有第一导电层、和由杨氏模量比该第一导电层小的材料构成且比所述第一导电层形成得靠近所述流路形成基板侧的第二导电层；对在与未形成所述压电体层的区域对置的区域形成的所述第一电极而言，该第一电极的表面由所述第二导电层构成。
2. 根据权利要求l所述的液体喷射头，其特征在于， 所述第二导电层的厚度比所述第一导电层的厚度厚。
3. 根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于， 所述第二导电层的材料是铂。
4. 根据权利要求1 3中任意一项所述的液体喷射头，其特征在于， 所述第一导电层的材料是铱。
5. —种液体喷射装置，其特征在于， 具备权利要求1 4中任意一项所述的液体喷射头。
6. —种执行元件装置，其特征在于，具备压电元件，该压电元件具有在基板的上方设置的第一电极、在该第一电极的上方形成的压电体 层及在该压电体层的上方形成的第二电极；与形成有所述压电体层的区域对置的区域的第一电极具有第一导电层、和由杨氏模 量比该第一导电层小的材料构成且比所述第一导电层形成得靠近所述基板侧的第二导电 层；对在与未形成所述压电体层的区域对置的区域形成的所述第一电极而言，该第一电极 的表面由所述第二导电层构成。
7. —种液体喷射头的制造方法，其特征在于，所述液体喷射头具备压电元件，该压电元件具有在流路形成基板的上方形成的第一 电极、与所述压力发生室的每个对应设置的压电体层、和在该压电体层的上方形成的第二 电极，在与形成有所述压电体层的区域对置的区域形成的第一电极具有第一导电层、和由 杨氏模量比该第一导电层小的材料构成且比所述第一导电层形成得靠近所述流路形成基 板侧的第二导电层，所述制造方法包括在所述流路形成基板的上方形成第一电极的工序；和在该第一电 极的上方形成所述压电体层及所述第二电极，通过将这些压电体层及第二电极形成图案来 形成所述压电元件的工序，在所述形成压电元件的工序中，将所述压电体层形成图案，并且将所述第一电极除去 到所述第二导电层的厚度方向的一部分。
全文摘要
本发明提供一种可抑制压电元件的变位特性的偏差的液体喷射头、液体喷射装置、执行元件装置及液体喷射头的制造方法。所具备的压电元件(300)具有第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)，在与形成有压电体层(70)的区域对置的区域形成的第一电极(60)具有第一导电层(61)、和由杨氏模量比第一导电层(61)小的材料构成且比第一导电层(61)形成在流路形成基板(10)侧的第二导电层(62)，对在与未形成压电体层(70)的区域对置的区域形成的第一电极(61)而言，第一电极(60)的表面由第二导电层(62)构成。
文档编号B41J2/14GK101746134SQ20091024
公开日2010年6月23日 申请日期2009年11月30日 优先权日2008年12月15日
发明者矢崎士郎 申请人:精工爱普生株式会社