专利名称：头片单元及液体喷射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及从喷嘴吐出液体以将文字和图形记录于被记录介质、或者形成功能性薄膜的液体喷射头及使用其的液体喷射装置。
背景技术：
近年来，将墨滴吐出至记录纸等以记录文字和图形、或者将液体材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头得到利用。该方式将墨或液体材料从液体罐经由供给管供给至液体喷射头，将充填于通道的墨或液体材料从与通道连通的喷嘴吐出。在吐出液体时，使液体喷射头或被记录介质移动而记录文字和图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。一直以来，为了液体喷射头的小型化、记录高密度化，提出有将致动器单元多层化而整体构成的喷墨头100。图12是专利文献I记载的喷墨头的示意图(专利文献I的图1)。喷墨头100层叠有由盖板121和基底板122构成的致动器单元120 190的8个单元，在其端面粘结有一整块的喷嘴板111。各单兀具有基本上相同的构造。S卩，在基底板122形成有在其表面并列的多个墨室124，各墨室124由2个压电元件夹住，上表面的开口由盖板121覆盖。层叠部的盖板131在与喷嘴板111相反一侧具备伸出部131a，在该伸出部131a形成有输出侧电极128和输入侧电极126，设置有驱动IC芯片125。在伸出部131a连接有柔性基板(以下称作FPCJ127，与输入侧电极126导通。在喷嘴板111形成有与各基底板122的各墨室124连通的多个喷嘴112。各致动器单元的驱动IC芯片125，经由FPC 127、输入侧电极126而输入控制信号，经由输出侧电极128、在基底板122的喷嘴板111侧的端面形成的驱动电极123而将驱动信号供给至压电元件，驱动墨室124。墨室124与驱动信号相应地对内部充填的墨施加压力而从喷嘴112吐出墨滴。
图13是专利文献2记载的头片单元( ” K mm卜)220的截面示意图。头片单元220层叠有4层头片主体227，所述头片主体227层叠有致动器基板225和盖板基板226，在其另一个缘端221b接合有一整块的喷嘴板223。4层层叠的头片主体227的各致动器基板225随着向下层每一个缘端221A都比上层更突出。在各致动器基板225的突出部上表面即基板连接面228分别连接有FPC 213。在各致动器基板225在与P方向大致相同的位置并排地形成有多个通道229，各通道229由侧壁229b夹住，在各侧壁229b形成有电极231。电极231延伸设置至基板连接面228，与形成在与基板连接面228接合的FPC 213的未图示的布线导通。在喷嘴板223形成有多个喷嘴223a，多个喷嘴223a与各致动器基板225的多个通道229分别连通。在盖板基板226形成有与各通道229连通的墨室232和一个端部开口于墨室232、另一个端部与下层的头片主体227的墨室232连通的墨供给孔234。从而，供给至最上层的头片主体227的墨室232的墨被供给至最上层的头片主体227的各通道229，并且供给至下层的头片主体227的墨室232，供给至全部头片主体的227的通道229。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平10-146974号公报；
专利文献2:日本特开2008-207350号公报。就专利文献I的喷墨头100而言，供给至上层的致动器单元120的墨室124的驱动信号，由设置在下层的致动器单元130的驱动IC芯片125供给。另外，使用一整块的喷嘴板111。因此，喷墨头100必须在将各层的致动器单元120 190全部层叠而装配完成之后，才能够进行实验驱动来判定好坏。另外，专利文献I的喷墨头100中，在研究将一直以来所使用的FPC 127从图面上侧压接于盖板131而连 接的工序时，难以在层叠各层的致动器单元120 190后将FPC 127与各层连接。因此，要预先准备已连接FPC 127的致动器单元120 190，将接合有FPC 127的致动器单元120 190依次层叠。在此情况下，难以将喷嘴板111侧的端面整列为共面而将各致动器单元120 190接合。在各致动器单元120 190的喷嘴板111侧的端面设置有驱动电极123，因此在将各致动器单元120 190接合后，不能将喷嘴板侧的端面进行研削而整形为共面。另外，在一整块的喷嘴板111形成多个喷嘴112，需要对多层层叠的致动器单元120 190的各墨室124进行高精度对位，要求高度的装配操作。专利文献2记载的头片单元220中，能在层叠各头片单元220之后将FPC 213与各头片主体227的一个缘端221A连接。然而，在层叠并接合各头片主体227后接合一整块的喷嘴板223，因此与上述专利文献2所记载的喷墨头100同样，需要将多个喷嘴223a与多个通道229高精度对位，要求高度的装配操作。另外，与专利文献I的情况同样，必须在装配完成后才能进行实验驱动来判定好坏。
发明内容
本发明鉴于上述课题而完成，目的在于提供装配容易、能够只装配已通过实验驱动进行了好坏判定的头片的头片单元。本发明的头片单元，具有多个头片，所述头片具有:致动器部，具有过滤器、与所述过滤器的下游侧连通的第一液室、与所述第一液室连通并对液体引起压力的通道和将驱动信号传递至所述通道的电极端子；以及喷嘴板，具有与所述通道连通的喷嘴并与所述致动器部的第一端面接合，其中，使各所述喷嘴板的表面共面地层叠多个所述头片。另外，所述致动器部具有联络路径，上层的所述致动器部的所述联络路径，与下层的所述致动器部的所述过滤器的上游侧及所述联络路径连通。另外，具备设置在最上层的所述头片的上部、具有与所述过滤器的上游侧及所述联络路径连通的第一供给路径的上端流路部件。另外，具备设置在最下层的所述头片的下部、具有与所述联络路径连通的第一排出路径的下端流路部件。另外，所述通道排列多个而构成通道列，所述第一液室与构成所述通道列的多个所述通道连通，所述联络路径设置在所述第一液室的所述通道排列方向的端部附近。另外，所述联络路径具有:设置在所述第一液室的所述通道排列方向的一个端部附近的第一联络路径；以及设置在另一个端部附近的第二联络路径。
另外，上端的所述头片的所述第一联络路径与下层的所述头片的所述第一联络路径及所述过滤器的上游侧连通，上层的所述头片的所述第二联络路径与下层的所述头片的所述第二联络路径及所述过滤器的上游侧连通。另外，具备设置在最上层的所述头片的上部、具有与所述过滤器的上游侧及所述第一联络路径连通的第一供给路径的上端流路部件。另外，具备设置在最下层的所述头片的下部、具有与所述第二联络路径连通的第一排出路径的下端流路部件。另外，所述上端流路部件具有与所述第二联络路径连通的第一排出路径。另外，所述联络路径连通于与所述过滤器的上游侧连通的第二液室。另外，所述致动器部具备右端流路部件，右端流路部件具有联络路径，设置在所述致动器部的第三端面，具有与所述过滤器的上游侧及所述联络路径连通的第二供给路径。另外，所述联络路径具备左端流路部件，左端流路部件具有与所述第二供给路径连通的第三联络路径和与所述过滤器的上游侧连通的第四联络路径，设置在与所述致动器部的所述第三端面的对应的第四端面，具有与所述第四联络路径连通的第二排出路径。另外，所述致动器部具备与所述过滤器的上游侧连通的第二液室。另外，上层的所述头片，在与下层的所述头片的所述过滤器对应的区域具有凹部。另外，所述电极端子，设置在与所述致动器部的所述第一端面相对的相反一侧的第二端面侧。另外，上层 的所述头片与下层的所述头片通过橡胶密封材料接合。另外，所述头片在其上端面或下端面具有接合剂导入用的接合槽。另外，将与所述致动器部的所述第一端面相对的相反一侧的端面设为第二端面，使所述第二端面共面地层叠多个所述头片。另外，所述致动器部，由压电基板和与所述压电基板的表面接合的盖板构成，所述通道，由从所述压电基板的表面的一个端部设置至相反一侧的另一个端部的附近的槽和覆盖所述槽的上部开口的所述盖板构成，所述第一液室形成于所述盖板，所述过滤器设置在所述第一液室的上游侧的所述盖板，所述电极端子设置在所述压电基板的表面，所述第一端面，由所述压电基板和所述盖板形成为共面的端面构成。本发明的液体喷射装置，具备:上述任一个所记载的液体喷射头；移动机构，使所述液体喷射头往复移动；液体供给管，将液体供给至所述液体喷射头；以及液体罐，将所述液体供给至所述液体供给管。本发明的头片单元，具备多个具有致动器部和喷嘴板的头片。致动器部具有:过滤器、与过滤器的下游侧连通的第一液室、与第一液室连通并对液体引起压力的通道和将驱动信号传递至通道的电极端子。喷嘴板具有与通道连通的喷嘴，并与致动器部的第一端面接合。使各喷嘴板的表面共面地层叠多个上述头片。通过这样构成，能在层叠装配各头片之前进行各头片的检查，能够只装配通过事先检查而合格的头片，因此能够大幅度提高制造成品率，谋求成本降低。
图1是表示本发明的头片单元的基本结构的概念图；图2是表示本发明的头片单元的结构的概念 图3是用于说明本发明的第一实施方式的头片的 图4是本发明的第一实施方式的头片单元的截面示意 图5是从吐出面侧观察本发明的第一实施方式的头片单元的正面示意 图6是从吐出面侧观察本发明的第二实施方式的头片单元的正面示意 图7是从吐出面侧观察本发明的第三实施方式的头片单元的正面示意 图8是本发明的第四实施方式的头片单元的截面示意 图9是本发明的第五实施方式的头片的俯视示意 图10是本发明的第六实施方式的头片单元的截面示意 图11是本发明的第七实施方式的液体喷射装置的示意性的立体 图12是现有公知的喷墨头的不意 图13是现有公知的头片单元的截面示意图。
具体实施例方式图1是表示本发明的头片单元I的基本结构的概念图。头片单元I层叠有头片2a和头片2b。头片2a具备致动器部3a和与致动器部3a的第一端面Fla接合的喷嘴板4a。头片2b具备致动器部3b 和与致动器部3b的第一端面Flb接合的喷嘴板4b。致动器部3a具有:与过滤器7a的下游侧连通的第一液室5a ;与第一液室5a连通，对液体引起压力的通道8a ;将驱动信号传递至通道8a的电极端子10a。喷嘴板4a具有与通道8a连通的喷嘴12a，并与第一端面Fla接合。致动器部3b具有:与过滤器7b的下游侧连通的第一液室5b ;与第一液室5b连通，对液体引起压力的通道Sb ;以及将驱动信号传递至通道Sb的电极端子10b。喷嘴板4b具有与通道8b连通的喷嘴12b，并与第一端面Flb接合。而且，使各喷嘴板4a、4b的表面共面地层叠头片2a和头片2b。此外，喷嘴板4a、4b的表面，不需要将一整块的喷嘴板4跨头片2a的第一端面Fla和头片2b的第一端面Flb而与其接合时所要求的那么高精度的共面。通道8a、8b在纸面里侧或纸面跟前侧并列形成多个，构成通道列9a、9b。如果头片2a与头片2b为相同构造，则头片2a的相对第一端面Fla的相反一侧的第二端面F2a与头片2b的相对第一端面Flb的相反一侧的第二端面F2b也共面地设置。各电极端子10a、10b分别在第二端面F2a、F2b的附近上表面设置，分别连接FPC 24a、24b。头片2a以如下方式工作。从开口部Ka供给的液体的一部分，经由过滤器7a流入第一液室5a，充填至通道8a，其他流入联络路径13a。联络路径13a开口于致动器部3a的开口部Kb，液体的一部分经由过滤器7b充填至第一液室5b，其他流入联络路径13b。通道8a构成为由例如压电元件构成的侧壁夹住，驱动信号从电极端子IOa提供给这些压电元件。通道8a与驱动信号相应地容积发生变化，对内部所充填的液体引起压力。通过该引起的压力，液滴从喷嘴12a被吐出。头片2b也具有同样的构造，同样地进行工作。如以上所述，上层的头片2a与下层的头片2b具有相同构造。因此，2个头片2a、2b能够通过相同的制造工序来制造。各头片2a、2b分别具备过滤器7a、7b。因此，能够防止在装配工序的中途，尘屑等异物进入通道8a、8b。另外，在各致动器部3a、3b的第一端面Fla、Flb个别地设置喷嘴板4a、4b，因此相比将一整块的喷嘴板接合于多个致动器部的端面，对位变得容易，进而，能够在层叠接合其他头片前进行各头片2a、2b的吐出检查。换言之，实际上能够仅装配通过吐出液体的吐出检查而合格的头片2a、2b，因此相比组装后检查头片2a、2b的情况，制造成品率提高，能够谋求成本降低。此外，如图1所示，各头片2a、2b与开口部Ka、Kb分别连通，具有用于流动液体的联络路径13a、13b。上层的头片2a的联络路径13a，与下层的头片2b的过滤器7b的上游侧及联络路径13b连通。因此，从上层的头片2a的联络路径13a流出的液体流入下层的头片2b的过滤器7b及联络路径13b。这样，能够从上层的头片2a至下层的头片2b依次供给液体，在层叠2层以上的多层头片2的情况下，也不需要在各层之间分别设置流路部件。图2是表示本发明的头片单元I的结构的概念图，层叠有4个头片2a 2d。各头片2a 2d具有与图1所示的头片2a相同的构造，互相经由粘结剂或者隔着橡胶密封材料而固定。在最上层的头片2a的上部设置有上端流路部件14，上端流路部件14具备与过滤器7a的上游侧及联络路径13a连通的第一供给路径55。在最下层的头片2d的下部设置有下端流路部件15，下端流路部件15具备与联络路径13d连通的第一排出路径57。而且，头片2a的电极端子IOa与电路基板25由FPC 24a连接。同样，各头片2b 2d的电极端子IOb IOd与电路基板25分别由FPC 24b 24d连接。由此，供给至上端流路部件14的第一供给路径55的液体，一部分经由头片2a的开口部Ka流入过滤器7a，进而充填至通道8a，其他流入联络路径13a，以下，流入各头片2b 2d的各通道及各联络路径。进而，从联络路径13d流入下端流路部件15的液体排出路径17，向外部排出。此外，图2中在最上层的头片2a的上部设置上端流路部件14，在最下层的头片2d的下部设置下端流路部件15，但本发明并不限定于该结构。也可以构成为，在各头片2a 2d形成液体流入用和液体流出用的多个联络路径13，在设置于头片2a的上部的上端流路部件14形成液体供给用的供给路径和液体排出用的排出路径，供给路径与头片2a的液体流入用的联络路径及过滤器7的 上游侧连通，排出路径与头片2a的液体排出用的联络路径连通。另外，能够构成为，将供给及排出液体的流路部件与各头片2a 2d的侧端面接合，从各头片2a 2d的横向流入流出液体。这样，由于层叠了多层头片2a 2d，因此能够提高从各喷嘴吐出的液滴的记录密度。另外，4个头片2a 2d能够通过相同的制造工序来制造。在各头片2a 2d分别设置有过滤器，因此能够防止在制造中途尘屑等异物进入各通道。另外，在各致动器部的第一端面分别设置了喷嘴板，因此能够在层叠接合各头片2a 2d前事先进行吐出检查。就是说，能够仅组装合格的头片2a 2d，因此相比组装后进行检查，制造成品率提高，能够谋求成本降低。(第一实施方式)
图3、图4及图5是用于说明本发明的第一实施方式的头片单元I的图。图3是用于说明头片2的图，图3 Ca)是头片2的平面示意图，图3 (b)是局部YY截面示意图，图3 (c)是局部XX截面示意图。图4是头片单元I的截面示意图。图5是从吐出面侧观察头片单兀I的正面不意图。此外，各图中，对相同的部分或具有相同功能的部分赋予相同的标号。如图3所示，致动器部3通过由压电体构成的压电基板21和与该压电基板21的表面接合的盖板22构成。在压电基板21的表面，形成有从一个端部即第一端面Fl延伸设置至相反一侧的另一个端部即第二端面F2的附近的多个并列的槽23，在第二端面F2侧的表面与多个槽23对应地形成有多个电极端子10。通道8’由在压电基板21形成的槽23和覆盖槽23的上部开口的盖板22构成。在盖板22设置有过滤器7，分别在过滤器7的液体流入侧设置有第二液室6，在过滤器7的液体流出侧设置有第一液室5。盖板22以覆盖多个槽23、另外多个电极端子10露出的方式，与压电基板21的表面接合。喷嘴板4,与压电基板21的第一端面Fl和与该第一端面Fl形成为共面的盖板22的端面接合。在压电基板21的第二端面F2的表面接合有FPC 24。在FPC 24的表面形成的多个布线27与在压电基板21的表面形成的多个电极端子10分别导通。除接合部以外，FPC 24的布线27由保护膜28覆盖。通道8交替地并列形成有吐出液体的吐出通道8’和不吐出液体的伪通道8’ ’。吐出液体的多个吐出通道8’构成沿吐出通道8’的宽度方向排列多个的通道列。在盖板22形成有与第一液室5连通的多个狭缝11，各狭缝11分别与吐出通道8’连通，与伪通道8，’不连通。因此，液体流入吐出通道8’但液体不流入伪通道8’’。
第一液室5与构成通道列的多个吐出通道8，连通。联络路径具有在第一液室5的吐出通道8’排列的方向的一个端部附近设置的第一联络路径51和在另一个端部附近设置的第二联络路径52。2个第一及第二联络路径51、52，从第二液室6贯通盖板22和压电基板21，在头片2的过滤器7所设置的一侧和相反一侧的表面开口。在构成各通道8的侧壁的侧面形成有驱动电极26，构成为能够沿侧壁的厚度方向施加电场。各侧壁的驱动电极26与电极端子10导通。构成各通道8的侧壁由压电体构成，预先沿侧壁的立设方向施以极化处理。供给至第二液室6的液体，通过过滤器7而流入第一液室5，进而，经由狭缝11充填至多个吐出通道8’。对电极端子10施加驱动信号则侧壁相对于立设方向而“ < ”状变形(厚度滑移变形)。由此，对充填至吐出通道8’的液体引起压力，液滴从与吐出通道8’连通的喷嘴12被吐出。如图4所示，将4个上述头片2a 2d以分别设置的喷嘴板4的表面成为共面的方式通过粘结剂而接合。此时，上层的致动器部3的第一及第二联络路径51、52与下层的致动器部3的第一联络路径51和第二液室6及第二联络路径52和第二液室6分别连通。进而，在最上层的头片2a的上部设置上端流路部件14，在最下层的头片2d的下部设置下端流路部件15。上端流路部件14具有第一供给路径55，以第一供给路径55与头片2a的第二液室6连通的方式与头片2a的上表面通过粘结剂而接合。下端流路部件15具有第一排出路径57，以第一排出路径57与头片2d的第二联络路径52连通的方式与头片2d的下表面通过粘结剂而接合。4块头片2a 2d和上端流路部件14及下端流路部件15的层叠体，以喷嘴板4a 4d的表面露出的方式插入框体30的中央开口部Kc，固定于基底基板29。在基底基板29设置有电路基板25，电路基板25与各头片2a 2d的分别设置的电极端子10通过FPC 24而电连接。如图5所示，头片单元I的吐出面，由在各头片2a 2d设置的各喷嘴板4a 4d构成。多个喷嘴12开口于各喷嘴板4a 4d。如箭头所示，从上端流路部件14的第一供给路径55流入的液体，流入各头片2a 2d的第一联络路径51及第二液室6，从第一联络路径51侧至第二联络路径52侧流经第二液室6，在最下层的头片2d的第二联络路径52d汇集，从下端流路部件15的第一排出路径57排出。因此，新鲜的液体始终供给至各喷嘴12。此外，各喷嘴板4a 4d的喷嘴12，沿多个喷嘴12排列的喷嘴列方向错开1/4间距、或者1/2间距而设置，能够提高密度记录。这样，4个头片2a 2d具有相同的构造。因此，各头片2a 2d能够提高相同的制造工序来制造。进而，在各头片2a 2d设置有喷嘴板4a 4d和过滤器7a 7d。因此，在将FPC 24与各头片2a 2d接合的工序、或层叠接合各头片2a 2d的接合工序、或设置上端流路部件14或下端流路部件15的工序中，能够防止尘屑等异物进入通道8。另夕卜，各头片2a 2d能够在层叠接合前事先进行吐出检查，因此制造成品率提高。另外，在任一个头片2发生故障的情况下，能够仅交换该发生故障的头片2，因此能够容易且廉价地进行维护。另外，与图13所示的现有的头片单元220相比较，头片主体没有越为下层就越向后方大幅度突出，因此能够缩减压电体等材料，能够重量轻且紧凑地构成。此外，上述实施方式中，对吐出通道8’和伪通道8’’交替排列的通过I周期驱动来进行吐出工作的头片2进行了说明，但本发明不限于此。也可以是将全部通道8设为吐出通道、通过3周期驱动来进行吐出工作的头片2。另外，作为构成致动器部3的压电基板21使用了压电体，但取而代之，使用仅将槽23的侧壁设为压电体、其他由绝缘体构成的基板也可以。另外，也可以构成为，形成于致动器部3的槽23从第一端面Fl至第二端面F2直接形成，利用密封材料密封第一液室5的第二端面F2侧的槽23，使液体不会漏出至外部。(第二实施方式)
图6是从本发明的第二实施方式的头片单元I的吐出面侧观察的正面示意图。与第一实施方式的不同点是，通过上端流路部件14进行液体的供给和排出、省略了下端流路部件15这一点。其他的结构与第一实施方式相同，因此省略说明。对相同的部分或具有相同功能的部分赋予相同的标号。如图6所示， 上端流路部件14设置在最上层的头片2a的上部，具有与过滤器7a的上游侧(第二液室6)及第一联络路径51a连通的第一供给路径55和与第二联络路径52a连通的第一排出路径57。如箭头所示，液体从上端流路部件14的第一供给路径55流入头片2a的第二液室6和第一联络路径51a，进而，从第一联络路径51a依次流入下层的各头片2b 2d的第二液室6和第一联络路径51，从一个端部至另一个端部而流经各头片2a 2d的第二液室6，流入各头片2a 2d的第二联络路径52，从上端流路部件14的第一排出路径57排出。如以上所述，能够省略下端流路部件15，因此能够减小头片单元I的体积及重量而构成。此外，也可以构成为，图6中，在最下层的头片2的下部设置下端流路部件15，使液体从头片2d的第一联络路径51流至第二联络路径52，除去液体的滞留处。另外也可以构成为，从最下层的头片2d除去第一联络路径51及第二联络路径52，将从头片2c的第一联络路径51流入的全部液体引导至头片2d的第二液室6，将从该第二液室6流出的液体引导至头片2c的第二联络路径52。(第三实施方式)
图7是从本发明的第三实施方式的头片单元I的吐出面侧观察的正面示意图。与第一实施方式的不同点是，代替上端流路部件14及下端流路部件15，在头片2a 2d的右侧面即第三端面F3设置右端流路部件16，在左侧面即第四端面F4设置左端流路部件17这一点。以下，主要对与第一实施方式不同的部分进行说明，对相同的部分省略说明。对相同的部分或具有相同功能的部分赋予相同的标号。此外，以下说明中，“右”及“左”是致动器部3的通道列方向的两侧面之中的一个和另一个的意义，并不是指从特定角度观察时的右及左。如图7所示，右端流路部件16设置在头片2a 2d的第三端面F3，与各头片2a 2d的过滤器7的上游侧(第二液室6)及第三联络路径53连通。另外，左端流路部件17设置在头片2a 2d的第四端面F4，与各头片2a 2d的过滤器7的上游侧及第四联络路径54连通。这里，各头片2a 2d的第三联络路径53及第四联络路径54设置在构成各致动器部的盖板22 (参照图4)的表面。如箭头所示，供给至右端流路部件16的液体，从第二供给路径56流入各头片2a 2d的第三联络路径53和第二液室6，从第三联络路径53侧流至第四联络路径54侧，经由第四联络路径54流入第二排出路径58而排出。此外，图7中，液体从第二供给路径56经由第三联络路径53流入各头片2a 2d，液体经由各头片2a 2d的第四联络路径54流入第二排出路径58。取而代之，如第二实施方式那样，构成为将各头片2a 2d的第三联络路径53在上层的头片2与下层的头片2间连通。第四联络路径54也同样构成为在上层与下层的头片2间连通。而且，也可以构成为，使右端流路部件16的第二供给路径56与头片2a的第三联络路径53连通，使左端流路部件17的第二排出路径58与头片2d的第四联络路径54连通。由此，能够从与液滴吐出方向正交的方向进行液体的流入流出。(第四实施方式)
图8是本发明的第四实施方式的头片单元I的截面示意图。图8中，省略了框体、基底基板、电路基板及FPC。对相同的部分或具有相同功能的部分赋予相同的标号。与第一实施方式不同的部分是，上 层的头片2在与下层的头片2的过滤器7对应的区域形成有凹部18这一点，其他与第一实施方式相同。以下，对与第一实施方式不同的部分进行说明，对相同的部分省略说明。如图8所示，头片单元I，使各喷嘴板4a 4d的表面共面地层叠4个头片2a 2d。分别在最上层的头片2a的上部设置上端流路部件14，在最下层的头片2d的下部设置下端流路部件15。而且，上层的头片2在与下层的头片2的过滤器7对应的区域具有凹部18，上层的头片2的第一联络路径51 (第二联络路径52)在该凹部18的底面开口。就是说，在下层的过滤器7的上游侧设置的第二液室6，加上上层的头片2的凹部18而区域放大。通过对第二液室6加上凹部18的区域,从而流入第二液室6的液体变得容易绕入过滤器7的有效面的整个面，由过滤器7造成的压力损失降低。(第五实施方式)
图9是本发明的第五实施方式的头片单元I的头片2的俯视示意图。对相同的部分或具有相同功能的部分赋予相同的标号。与第一实施方式的头片2的不同点是，在头片2的上端面TF的外周附近具有接合槽20，以及在压电基板21的表面形成的槽23除两端部的槽23之外全部构成能吐出液滴的通道8，第一液室5不具备狭缝，除两端部的槽23之外与全部的槽23连通。以下，对与第一实施方式的不同点进行说明，对相同的部分省略说明。如图9所示，头片2在其上端面TF、即构成头片2的盖板22的上端面TF具有接合剂导入用的接合槽20。接合槽20以围绕开口于盖板22的上端面TF的第二液室6的开口部的方式，沿盖板22的外周而设置。接合槽20具备在多个通道8排列的排列方向的侧面开口的2个开口部K1。在下层的头片2之上层叠上层的头片2，能够从开口部Kl导入粘结剂而粘结上层和下层的头片2。此外，在本实施方式中能够通过3周期驱动进行吐出驱动。另外，在本实施方式中将接合槽20设置在头片2的上端面TF，但也可以取而代之、或者此外还将接合槽20设置在头片2的下端面(压电基板21的下表面)。(第六实施方式)
图10是本发明的第六实施方式的头片单元I的截面示意图。图10中，省略了框体、基底基板、电路基板及FPC。对相同的部分或具有相同功能的部分赋予相同标号。与第一实施方式不同的部分是，上层的头片2与下层的头片2经由橡胶密封材料19而层叠这点，其他的结构与第一实施方式相同。以下，对与第一实施方式不同的部分进行说明，对相同的部分省略说明。如图10所示，上层的头片2与下层的头片2夹着橡胶密封材料19而层叠。橡胶密封材料19，在上层的头片2的第一联络路径51 (第二联络路径52)开口的位置及下层的头片2的第二液室6开口的区域具备贯通孔KT。另外，分别经由橡胶密封材料19在最上层的头片2a的上部设置有上端流路部件14，在最下层的头片2d的下部设置有下端流路部件15。在最上层的头片2a与上端流路部件14之间设置的橡胶密封材料19，在与形成于上端流路部件14的第一供给路径55开口的区域和最上层的头片2a的第二液室6开口的区域对应而具有贯通孔KT。在最下层的头片2d与下端流路部件15之间的橡胶密封材料19也同样地具有贯通孔KT。这样，通过在各头片2a 2d、上端流路部件14及下端流路部件15之间设置橡胶密封材料19，从而能在维护时容易地分解头片单元1，并容易地装配。
(第七实施方式)
图11是本发明的第七实施方式的液体喷射装置50的示意性的立体图。液体喷射装置50具备:移动机构40，使头片单元1、1’往复移动；流路部35、35’，将液体供给至头片单元
1、1’，并从头片单元1、1’排出液体；以及液体泵33、33’和液体罐34，34’，将液体供给至流路部35、35’。各头片单元1、1’具备多个头片，各头片具备多个通道，从与各通道连通的喷嘴吐出液滴。头片单元1、1’使用已经说明的第一 第六实施方式的任一个。液体喷射装置50具备:一对输送单元41、42，沿主扫掠方向输送纸等被记录介质44 ;头片单元1、1’，将液体吐出至被记录介质44 ;滑架单元43，承载头片单元1、1’ ；液体泵
33、33’，将存积于液体罐34、34’的液体挤压供给至流路部35、35’ ；以及移动机构40，使头片单元1、1’沿与主扫掠方向正交的副扫掠方向进行扫掠。未图示的控制部控制并驱动头片单元1、1’、移动机构40、输送单元41、42。一对输送单元41、42沿副扫掠方向延伸，具备一边使辊面接触一边旋转的格栅辊和夹送辊。通过未图示的电机使格栅辊和夹送辊绕轴转动，沿主扫掠方向输送夹在辊间的被记录介质44。移动机构40具备:一对导轨36、37，沿副扫掠方向延伸；滑架单元43，能沿一对导轨36、37滑动；无接头带38，连结滑架单元43使其沿副扫掠方向移动；以及电机39，使该无接头带38经由未图示的滑轮而旋转。滑架单元43承载多个头片单元1、1’，吐出例如黄、品红、青、黑4种液滴。液体罐34、34’存积对应颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’供给至头片单元1、1’。各头片单元1、1’与驱动信号相应地吐出各色的液滴。通过控制从头片单元1、1’吐出液体的定时、驱动滑架单元的电机39的旋转及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意的图案。附图标记说明
I 头片单元；2、2a 2d 头片；3、3a、3b 致动器部；4、4a 4d 喷嘴板；5、5a、5b第一液室；6第二液室；7、7a 7d过滤器；8、8a、8b通道；8’吐出通道；8’’伪吐出通道；10、10a IOd 电极端子；11 狭缝；12、12a、12b 喷嘴；13、13a、13b、13d联络路径；14上端流路部件；15下端流路部件；16右端流路部件；17左端流路部件；18凹部；19橡胶密封材料；20接合槽；21压电基板；22盖板；23槽；24、24a 24dFPC ；51第一联络路径；52 第二联络路径；53第三联络路径；54 第四联络路径；55第一供给路径；56第二 供给路径；57第一排出路径；58第二排出路径。
权利要求
1.一种头片单元，具备多个头片，所述头片具有: 致动器部，所述致动器部具有过滤器、与所述过滤器的下游侧连通的第一液室、与所述第一液室连通并对液体引起压力的通道和将驱动信号传递至所述通道的电极端子；以及 喷嘴板，所述喷嘴板具有与所述通道连通的喷嘴，并与所述致动器部的第一端面接合， 使各所述喷嘴板的表面共面地层叠多个所述头片。
2.如权利要求1所述的头片单元，其中 所述致动器部具有联络路径， 上层的所述致动器部的所述联络路径，与下层的所述致动器部的所述过滤器的上游侧及所述联络路径连通。
3.如权利要求2所述的头片单元，具备上端流路部件，所述上端流路部件设置在最上层的所述头片的上部，具有与所述过滤器的上游侧及所述联络路径连通的第一供给路径。
4.如权利要求2或3所述的头片单元，具备下端流路部件，所述下端流路部件设置在最下层的所述头片的下部，具有与所述联络路径连通的第一排出路径。
5.如权利要求2所述的头片单元，其中 所述通道排列多个而构成通道列， 所述第一液室与构成所述通道列的多个所述通道连通， 所述联络路径设置在所述第一液室的所述通道排列的方向的端部附近。
6.如权利要求5所述的头片单元，其中所述联络路径具有:在所述第一液室的所述通道排列方向的一个端部附近设置的第一联络路径；以及在另一个端部附近设置的第二联络路径。
7.如权利要求6所述的头片单元，其中上端的所述头片的所述第一联络路径与下层的所述头片的所述第一联络路径及所述过滤器的上游侧连通，上层的所述头片的所述第二联络路径与下层的所述头片的所述第二联络路径及所述过滤器的上游侧连通。
8.如权利要求6或7所述的头片单元，具备上端流路部件，所述上端流路部件设置在最上层的所述头片的上部，具有与所述过滤器的上游侧及所述第一联络路径连通的第一供给路径。
9.如权利要求6或7所述的头片单元，具备下端流路部件，所述下端流路部件设置在最下层的所述头片的下部，具有与所述第二联络路径连通的第一排出路径。
10.如权利要求8所述的头片单元，其中所述上端流路部件具有与所述第二联络路径连通的第一排出路径。
11.如权利要求10所述的头片单元，其中所述联络路径连通于与所述过滤器的上游侧连通的第二液室。
12.如权利要求1所述的头片单元，其中 所述致动器部具有联络路径， 具备右端流路部件，所述右端流路部件设置在所述致动器部的第三端面，具有与所述过滤器的上游侧及所述联络路径连通的第二供给路径。
13.如权利要求12所述的头片单元，其中 所述联络路径具有:与所述第二供给路径连通的第三联络路径；以及与所述过滤器的上游侧连通的第四联络路径，具备左端流路部件，所述左端流路部件设置在所述致动器部的与所述第三端面对应的第四端面，具有与所述第四联络路径连通的第二排出路径。
14.如权利要求1或2所述的头片单元，其中所述致动器部具备与所述过滤器的上游侧连通的第二液室。
15.如权利要求1或2所述的头片单元，其中上层的所述头片在下层的所述头片的与所述过滤器对应的区域具有凹部。
16.如权利要求1或2所述的头片单元，其中所述电极端子设置在与所述致动器部的所述第一端面相对的相反一侧的第二端面侧。
17.如权利要求1或2所述的头片单元，其中上层的所述头片与下层的所述头片通过橡胶密封材料而接合。
18.如权利要求1或2所述的头片单元，其中所述头片在其上端面或下端面具有接合剂导入用的接合槽。
19.如权利要求1或2所述的头片单元，其中将所述致动器部的与所述第一端面相对的相反一侧的端面作为第二端面，使所述第二端面共面地层叠多个所述头片。
20.如权利要求1或2所述的头片单元，其中 所述致动器部由压电基板和与所述压电基板的表面接合的盖板构成， 所述通道由从所述压电基板的表面的一个端部设置至相反一侧的另一个端部的附近的槽和覆盖所述槽的上部开口的所述盖板构成， 所述第一液室形成于所述盖板， 所述过滤器设置在所述第一液室的上游侧的所述盖板， 所述电极端子设置在所述压电基板的表面， 所述第一端面由所述压电基板和所述盖板形成为共面的端面构成。
21.一种液体喷射装置，具备: 权利要求1所述的液体喷射头； 移动机构，使所述液体喷射头往复移动； 液体供给管，将液体供给至所述液体喷射头；以及 液体罐，将所述液体供给至所述液体供给管。
全文摘要
本发明的头片单元(1)，具备多个头片(2)，所述头片(2)具有致动器部(3)和喷嘴板(4)。致动器部(3)具有过滤器(7)、与过滤器(7)的下游侧连通的第一液室(5)、与第一液室(5)连通并对液体引起压力的通道(8)和将驱动信号传递至通道(8)的电极端子(10)。各头片(2)具备与各致动器部(3)的第一端面(F1)接合的喷嘴板(4)，使表面共面地设置各喷嘴板(4)。通过本发明，能在层叠装配各头片(2)前进行各头片(2)的检查，能够仅层叠装配经检查合格的头片(2)。
文档编号B41J2/045GK103223778SQ2013100278
公开日2013年7月31日 申请日期2013年1月25日 优先权日2012年1月25日
发明者小关修 申请人:精工电子打印科技有限公司