一种激光打标机的制作方法

文档序号:12754655阅读:412来源:国知局
一种激光打标机的制作方法与工艺

本实用新型具体涉及一种激光打标机。



背景技术:

许多半导体设备供应商都开始研制生产适用于集成电路的激光打标设备,一般来讲,这些设备供应商都是购买标准的激光打标装置集成到集成电路输送装置上构成集机、电、气、光于一体的高度自动化设备。目前这种设备的技术在国外已经比较成熟,在国内由于我国半导体制造装备起步较晚,只有少数单位有开发,但还存在着许多缺陷。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为解决上述不足,提供一种激光打标机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的:

一种激光打标机,包括上料抓取机构、上料结构、视觉定位机构、物料固定机构、下料机构、下料抓取机构、物料输送机构、真空吸尘机构、打标机构、方向检测机构和和废料盒,上料抓取机构和下料抓取机构分别安装在打标机的两侧,上料结构安装在上料抓取机构内侧,下料机构安装在下料抓取机构内侧,视觉定位机构安装在物料固定机构上部,物料输送机构连接物料固定机构,真空吸尘机构分别安装在打标机构下部和视觉定位机构内侧,方向检测机构安装在物料输送机构上,废料盒设置在上料抓取机构上部。

上料结构和下料机构为相同结构,上料结构和下料机构包括位置检测传感器、直线轴承、同步带及带轮、零位传感器、步进电机、丝杆螺母、滚珠丝杆、料盒固定支架、推料板、料条和料盒,位置检测传感器安装在料盒顶部,同步带及带轮安装在机构的下部,零位传感器安装在机构的侧面,步进电机通过丝杆螺母连接滚珠丝杆,料盒固定支架连接料盒,推料板连接料条。

上料抓取机构和下料抓取机构为相同结构,上料抓取机构和下料抓取机构包括同步带轮、同步带、抓取电机、直线气缸、机械手、抓取料条、直线导轨和抓取零位传感器,同步带轮安装在同步带的左端,抓取电机安装在抓取机构的外侧,直线气缸安装在同步带上,机械手连接直线气缸,抓取料条连接机械手,直线导轨安装在同步带下方,抓取零位传感器安装在直线导轨的最左方。

物料输送机构包括输送电机、载料台、输送导轨、输送带、输送零位传感器和输送料条,输送电机连接在输送导轨的最右侧,载料台滑动安装在输送导轨上,输送带安装在输送导轨下侧,输送零位传感器安装在输送导轨的最左侧,输送料条设置在载料台下方。

方向检测机构包括直线导轨、检测同步带、照相机、检测电机、物料运载机构、光源和镜头,检测同步带安装在直线导轨上部,照相机、检测电机和镜头都安装在直线导轨上,物料运载机构设置在方向检测机构下部。

物料固定机构包括固定料条、压板、直线导轨、固定气缸和载料台,固定料条设置在载料台上,固定气缸设置在物料固定机构的右侧,直线导轨设置在固定气缸的左侧,压板设置在载料台上部。

本实用新型具有如下有益的效果:

本实用新型设计合理,使用方便,大大节省了人力、物力并降低了成本,精度高,有很好的应用前景。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型的上料结构和下料机构示意图;

图3为本实用新型的上料抓取机构和下料抓取机构示意图;

图4为本实用新型的物料输送机构示意图;

图5为本实用新型的方向检测机构示意图;

图6为本实用新型的物料固定机构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明:

如图1所示,一种激光打标机,包括上料抓取机构1、上料结构2、视觉定位机构3、物料固定机构4、下料机构5、下料抓取机构6、物料输送机构7、真空吸尘机构8、打标机构9、方向检测机构10和和废料盒11,上料抓取机构1和下料抓取机构6分别安装在打标机的两侧,上料结构2安装在上料抓取机构1内侧,下料机构5安装在下料抓取机构6内侧,视觉定位机构3安装在物料固定机构4上部,物料输送机构7连接物料固定机构4,真空吸尘机构8分别安装在打标机构下部和视觉定位机构3内侧,方向检测机构10安装在物料输送机构7上,废料盒11设置在上料抓取机构1上部。

上料结构和下料机构为相同结构,上料结构和下料机构包括位置检测传感器12、直线轴承13、同步带及带轮14、零位传感器15、步进电机16、丝杆螺母17、滚珠丝杆18、料盒固定支架19、推料板20、料条21和料盒22,位置检测传感器12安装在料盒22顶部,同步带及带轮14安装在机构的下部,零位传感器15安装在机构的侧面,步进电机16通过丝杆螺母17连接滚珠丝杆18,料盒固定支架19连接料盒22,推料板20连接料条21。

上料抓取机构和下料抓取机构为相同结构,上料抓取机构和下料抓取机构包括同步带轮23、同步带24、抓取电机25、直线气缸26、机械手27、抓取料条28、直线导轨29和抓取零位传感器30,同步带轮23安装在同步带24的左端,抓取电机25安装在抓取机构的外侧,直线气缸26安装在同步带24上,机械手27连接直线气缸26,抓取料条28连接机械手27,直线导轨29安装在同步带24下方,抓取零位传感器30安装在直线导轨29的最左方。

物料输送机构包括输送电机31、载料台32、输送导轨33、输送带34、输送零位传感器35和输送料条36,输送电机31连接在输送导轨33的最右侧,载料台32滑动安装在输送导轨33上,输送带安34装在输送导轨33下侧,输送零位传感器35安装在输送导轨33的最左侧,输送料条36设置在载料台32下方。

方向检测机构包括直线导轨37、检测同步带38、照相机39、检测电机40、物料运载机构41、光源42和镜头43,检测同步带38安装在直线导轨37上部,照相机39、检测电机40和镜头43都安装在直线导轨37上,物料运载机构41设置在方向检测机构下部。

物料固定机构包括固定料条44、压板45、直线导轨46、固定气缸47和载料台48,固定料条44设置在载料台48上,固定气缸47设置在物料固定机构的右侧,直线导轨46设置在固定气缸47的左侧,压板45设置在载料台48上部。

电机旋转带动同步带轮转动经梯形丝杆后转变为直线运动,由梯形螺母带动推料板作上下运动,当上料时,芯片料条到达设定位置后,会触发该位置的一对光电传感器,传感器发讯号给控制器,控制电机停止转动,当芯片料条被物料抓取机构拿走后,又控制电机旋转继续给料,当料盒中的芯片料条打完后,电机反向旋转,推料板下降,直到触发零位传感器后停止动作,等待下一周期动作。

工作过程:操作工人把装满芯片料条的料盒放置在如图2所示的左边上料机构上,同时把空的料盒放置在右边的下料机构上,启动机器。上料机构会把料盒中的芯片料条逐条向上推动到特定的位置,上料抓取机构会到该位置取芯片料条并放到物料输送机构的载料台上,首先物料输送机构会把芯片料条运至方向检测机构处,并对芯片料条进行方向检测,如方向不正确则返回放到废料盒,如正确则运送至打标工位,中途经过真空吸尘机构,通过毛刷和真空管路去除芯片料条表面的灰尘及异物确保打标质量,到打标工位后首先由芯片料条固定机构固定芯片料条,然后由机器视觉检测机构检测芯片料条位置,并把位置反馈给激光控制系统,然后进行打标,打标过程中真空吸尘机构同时工作吸走打标产生的烟雾,打标结束后,由物料输送机构运至出料抓取机构,经出料抓取机构放置到料盒中。

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