专利名称：氢氧化四甲铵显影液的回收系统及其方法
技术领域：
本发明涉及半导体厂的回收系统，特别涉及氢氧化四甲铵(TMAH)显影液的回收系统与方法。
背景技术：
一般微影制程主要涉及光阻层的曝光与显影步骤。当光阻层经由光罩微影转移图案后，则利用碱性显影液与经曝光的有机酸性光阻层形成酸碱中和反应而溶解，留下未经曝光的光阻层结构。有机碱氢氧化四甲铵(tetra-methyl-ammonia hydroxide，TMAH)则为常见的碱性显影液之一。
而对于制造厂而言，由于显影步骤后，其排放液中仍以碱性显影剂为主，为了环保与成本等种种考虑，通常会设计适当的回收系统，将显影过程排放的显影剂氢氧化四甲铵(以下简称TMAH)回收再利用。已知的TMAH显影液的回收系统，通常利用导电度计(conductivity meter)或紫外光-可见光分光光度计(UV-visible spectrometer)测定显影回收液中的TMAH浓度，并根据所测定的浓度判断，以适当添加高浓度TMAH，校正溶液中的TMAH达到一定碱性浓度，作为下一批显影步骤中的显影液。若测定的TMAH浓度过低时，也可判定不进入显影液回收系统，而直接排放至厂务废液系统。
因此，对于显影液回收系统而言，TMAH的浓度测定是否准确，直接影响显影液的品质。然而TMAH的测定经常受到回收液中其它离子的干扰，例如光阻剂与显影剂酸碱中和后所形成的物质，它们仍会微量解离产生OR1-、OR2-或(CH3)4NOR+等离子，而制程残留的金属离子Al3+、Mo2+、K+或Na+等也可能在显影时，溶入显影液形成干扰。以已知的导电度计测定为例，当回收液中的TMAH的实际导电度为a％时，导电度计的测定值为b％。而由于回收液中有其它离子存在形成干扰，使得TMAH导电度测定值b％大于实际值a％。亦即，回收液中的TMAH浓度将被高估，使得后续校正TMAH浓度也随之发生偏差，使得校正后的显影液碱性低于默认值。
另外，以已知的紫外光-可见光分光光度计(UV-Vis spectrometer)为例，欲测定回收液的TMAH吸光值时，会受到回收液中的光阻剂的吸光值影响，使得测定吸光值较实际吸光值偏高。因此直接以回收液吸光度调整TMAH浓度时，也使调整后回收液中TMAH浓度偏低。
无论是已知的导电度计或紫外光-可见光分光光度计等测定方式，均无法排除回收液中其它离子的干扰，使得测定的TMAH浓度被高估，严重影响校正显影液浓度的可靠性，使得显影过程的品质降低。
因此，在已知技术中，亦有人尝试以精密度高的离子层析仪(IonChromatography，IC)，以离子层析管柱分离测定回收液中的TMAH，并测定其浓度。其优点在于通过离子层析管柱，可以排除回收液中其它离子的干扰，可测定得到TMAH浓度的实际值。然而，其缺点也由于离子层析仪(IC)属于实验室级分析仪器，仅供进行批次分析，对于显影液回收系统所需要的长时间连续性实时在线分析(in-line analysis)，仍无法适用。且离子层析仪价格高昂，耗材费用与维护成本均高昂，并不适用于一般厂务的显影液回收系统使用。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的一个目的在于提供一种快速、经济而准确的氢氧化四甲铵显影液的回收系统及其方法，以低成本而准确地估算出回收液中的氢氧化四甲铵(TMAH)的浓度，以控制回收显影液浓度的稳定性。
根据本发明所提供一种氢氧化四甲铵(TMAH)显影液的回收方法，可适用于显影过程之后的回收液中氢氧化四甲铵的回收使用，包含下列步骤在波长220nm至250nm间选择m个波长，其中m为大于或等于2的正整数；测定回收液在该m个既定波长的吸收度，分别为Y1至Ym，并测定回收液在波长210nm的吸收度A1；将该m个吸收度与其对应波长带入n次多项式，以求得对应波长-吸收曲线[Y＝C1Xn+...+Cn-1X+Cn]，其中X为波长、n为正整数C1～Cn为曲线系数；将波长210nm带入该波长-吸收曲线以得到吸收度Y210；计算A1与Y210的差值，得到回收液中的氢氧化四甲铵吸光值A3；以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵在吸光值A3对应的浓度；根据回收液中的氢氧化四甲铵浓度值添加适量的氢氧化四甲铵以达到标准氢氧化四甲铵的浓度值为止；以及，对校正后的该回收液进行显影过程。
根据本发明，上述方法进一步可用于一种氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其适用于显影过程之后的回收液中氢氧化四甲铵的回收使用，包括回收槽，通过该回收管路回收显影机台排放的回收液；调节槽，用以盛装高浓度的氢氧化四甲铵显影液，并以调节管路连结于该回收槽；分光光度计，用以测定回收槽中回收液的吸光值；处理装置，连结该分光光度计，用以根据测定的吸光值计算该回收液中氢氧化四甲铵的浓度，并根据该浓度控制该调节槽的管路，以输送适量的高浓度氢氧化四甲铵显影液至该回收槽中，使该回收槽中的氢氧化四甲铵显影液浓度达到标准值。而该处理装置根据上述方法求得氢氧化四甲铵浓度先读取回收液在波长220nm至250nm间的m个波长的吸收度Y1至Ym，与读取回收液在波长210nm的吸收度A1；接着，将m个吸收度与其对应波长带入n次多项式，以求得波长-吸收曲线[Y＝C1Xn+...+Cn-1X+Cn]；接着将波长210nm带入该波长-吸收曲线以得到吸收度Y210；计算A1与Y210的差值，得到回收液中的氢氧化四甲铵吸光值A3；最后，以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度。
在显影液回收系统处于稳定状态时，本发明进一步提供一种简化的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，该方法适用于显影过程之后的回收液中氢氧化四甲铵的回收使用，包含下列步骤测定该回收液在波长210nm与220nm的吸收度分别为A1与A2；计算该回收液中的该显影剂吸收度(A3)＝A1-A2×Co，其中，Co＝(A1′-A3′)/A2′，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在210nm与220nm的吸光度，而A3′为该已知氢氧化四甲铵浓度在210nm的标准吸光度；以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度；根据该回收液中的氢氧化四甲铵浓度值添加适量的氢氧化四甲铵达到标准氢氧化四甲铵浓度值为止；以及，以该回收液进行显影过程。
根据上述该简化的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，上述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其处理装置亦可根据该方法计算氢氧化四甲铵浓度首先读取该回收液在波长210nm与220nm的吸收度，为A1与A2；接着计算该回收液中的该显影剂吸收度(A3)＝A1-A2×Co，其中，Co＝(A1′-A3′)/A2′，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在210nm与220nm的吸光度，而A3′为该已知氢氧化四甲铵浓度在210nm的标准吸光度；最后，以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度。
通过上述本发明的氢氧化四甲铵显影液的回收系统与方法，其优点在于利用价格低、稳定性高的分光光度计，与处理装置，如计算机主机，即可快速检测并计算回收槽中氢氧化四甲铵的正确浓度，可提高显影液回收使用的品质。
为了让本发明的上述目的、特征、及优点能更明显易懂，以下配合所附图式，详细说明如下
图1为氢氧化四甲铵显影液与回收液的吸光图谱。
图2为氢氧化四甲铵(TMAH)显影液与回收液在200nm至230nm间的吸光图谱。
图3为本发明的一实施例中的氢氧化四甲铵显影液的回收方法流程。
图4为氢氧化四甲铵显影液与回收液的吸收图谱。
图5为本发明的另一实施例中的氢氧化四甲铵显影液的回收方法流程。
图6为本发明的一实施例中的氢氧化四甲铵显影液的回收系统框架图。
符号说明ATMAH吸光曲线、B回收液吸光曲线、A1回收液210nm的吸收度、A2回收液220nm吸收度、A3TMAH在210nm吸收度、S302～S310流程步骤、S502～S516流程步骤、600显影机台、602废液管路、604废液槽、606切换阀、610回收管路、612回收槽、620分光光度计、622稀释器、624计算机主机、630TMAH调节槽、632调节阀门、634调节管路、640TMAH新液槽、642新液管路、644新液阀门。
具体实施例方式
实施例1参见图1，其为氢氧化四甲铵(TMAH)显影液与回收液的光谱吸收。图1中，曲线A为TMAH标准溶液在190nm至300nm间的吸光图谱，而曲线B则为一般显影机台排放的显影回收液的吸收图谱，回收液中主要含有TMAH与其它干扰物质。由图1中可以看出，TMAH标准溶液约在波长225nm附近则已无吸收；而在波长225nm至200nm，两者的之间约成等幅上升。由于回收液中除了TMAH之外，仍包含其它干扰物质，如光阻离子或金属杂质，因此回收液曲线B的吸光值均大于曲线A。
接着参见图2，其为氢氧化四甲铵(TMAH)显影液与回收液在200nm至230nm间的吸光图谱。由图2中可以看出，在数个TMAH标准浓度2.08％、2.15％、2.24％与2.36％时，其吸收曲线A与回收液的吸收曲线B在此波长范围中成一定比例的等幅上升。而TMAH标准溶液在220nm左右已无吸收，但含有光阻等其它离子的回收液B则在波长大于220nm时仍有吸收曲线。
根据图1和图2中的TMAH标准溶液与回收液的吸光图谱特性，下面以图3为例详细说明本发明之一实施例中的氢氧化四甲铵显影液的回收方法。
从图2中可以看出，当显影回收系统稳定运作时，一般而言，回收液与标准TMAH溶液在波长210nm与220nm间的吸收图谱之间呈既定比例关系。因此，本发明则通过预先找出两者间的曲线比例Co，以推算回收液中的TMAH浓度。参见图3，首先进行步骤S302计算Co值。
Co＝(A1′-A3′)/(A2′-A4′)其中，参见图2，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在210nm与220nm的吸光度，而A3′与A4′为该已知氢氧化四甲铵浓度在210nm与220nm的标准吸光度。如图2所示，由于氢氧化四甲铵在220nm的吸收值为零或趋于零，所以A4′可省略。
为了求得Co，可预先建立氢氧化四甲铵在波长210nm时的TMAH210浓度-吸光曲线，作为检量线，亦即在不同TMAH浓度时，在波长210nm的对应吸收度。接着取一回收液样品，测定此样品在210nm与220nm的吸光度，分别为A1′与A2′，再用分析仪器，如离子层析仪(IC)，分析该样品中TMAH的实际含量，并将该含量对照预先建立的TMAH210浓度-吸收曲线，得到回收液样品中的TMAH的吸光值A3′。根据上述所得的A1′、A2′与A3′则可计算出Co值。
接着参见图3，在求出Co值后，进行步骤S304测定回收液在波长210nm与220nm的吸收度，分别为A1与A2。利用分光光度计测量回收槽中的回收液在此两个波长的吸收度，而若其吸收度大于1.2时，则先将回收液适当稀释，再重新进行测定吸收度。
接着进行步骤S306计算回收液中的TMAH吸收度A3＝A1-(A2×Co)。参见图2，由图中可以看出，当回收系统处于稳定状态时，在波长210nm时，回收液与TMAH标准液的吸收度差值(A1-A3)，与回收液220nm吸收度(A2)成稳定比例，即Co。因此，在A1、A2与Co均为已知的情况下，可推算出A3，即为回收液中TMAH的吸光值。
接着进行步骤S308以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度。可将A3代入步骤S302中求出Co时所建立的TMAH210浓度-吸收曲线即可求得对应浓度。若回收液的吸收度为稀释者，则需换算为稀释前的浓度。
接着进行步骤S310根据回收液中的氢氧化四甲铵浓度值添加适量的氢氧化四甲铵以达到标准氢氧化四甲铵浓度值为止。通过上述步骤，可以推算回收液中实际的TMAH浓度。由于显影过程的消耗，回收液中的TMAH浓度通常低于标准值，因此，可精确地调整回收液中的TMAH浓度，通过加入适量高浓度TMAH溶液，将回收液中的TMAH调整至显影过程所需的标准浓度，一般约为2.36％。
最后，进行步骤S312以调整后的回收液进行显影过程。
当TMAH显影液回收系统处于稳定状态时，可通过上述方式，先建立不同浓度的TMAH在210nm对应的吸光度作为检量线，并取一回收液检测品预先算出Co值，之后仅需在每次回收时，以分光光度计测量回收液在210nm与220nm时的吸光度，即可推算出回收液中的TMAH浓度，以其调整TMAH浓度。
实施例2为了更精确地估算回收液中的TMAH浓度，下面以图5说明本发明的另一实施例中氢氧化四甲铵显影液的回收方法流程。
首先参见图4，TMAH标准液的吸收曲线A在波长220nm之后则无吸收值，因此可以看出回收液的吸收曲线B在波长大于220nm之后的吸收值，系来自于回收液中的其它干扰物质，如光阻剂。因此，本发明的方法通过建立回收液大于220nm的吸收曲线，而以外插方式，推算不含TMAH时回收液的吸收度，再以此反推算出回收液中TMAH的吸收度，进而求出其浓度。
详细步骤参见图5，首先进行步骤S502在波长220nm至250nm间选择m个波长，其中m为大于或等于2的正整数。优选在220至250nm的间以间隔5nm或10nm选取m个波长，如，选择220nm、225nm、230nm、235nm、240nm、245nm、250nm等七个波长。根据本发明，由于TMAH在波长220nm后无吸收，并同时考虑在波长大于250nm时，回收液中的干扰成分吸收度已无显著变化，因此以波长220nm至250nm的吸收曲线最能代表回收液中的干扰成分吸光曲线的趋势。
接着，进行步骤S504测定回收液在m个既定波长的吸收度，以及在波长210nm的吸收度，分别为Y1至Ym与A1。若其210nm测定的吸收度大于1.2时，则可经适当稀释，再重新测量其吸收度。
其次，进行步骤S506将m个吸收度与其对应波长带入n次多项式，以求得波长-吸收曲线[Y＝C1Xn+...+Cn-1X+Cn]。n次多项式的选择可根据m个既定波长而定，优选采用3次多项式Y＝C1X3+C2X2+C3X+C4。可将上述220nm、225nm、230nm、235nm、240nm、245nm与250nm等七个波长与其对应的吸收度带入3次多项式中，求出系数C1至C4，得到回收液中干扰物质的波长-吸收曲线。
接着，进行步骤S508将波长210nm带入该波长-吸收曲线以得到吸收度Y210。由于上述波长-吸收曲线代表回收液中除TMAH外的干扰物质的吸收曲线，因此将X＝210nm带入该式Y＝C1X3+C2X2+C3X+C4中，即可求得回收液中干扰物质的吸收度Y210。
接着，进行步骤S510计算A1与Y210的差值，得到该回收液中的氢氧化四甲铵的吸光值A3。
其次，进行步骤S512以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度。若回收液的吸收度为稀释者，则需换算为稀释前的浓度。
接着，进行步骤S514根据回收液中的氢氧化四甲铵浓度添加适量的氢氧化四甲铵达到标准氢氧化四甲铵浓度值为止。
最后，进行步骤S516对校正后的回收液进行显影过程。
根据上述方法，其回收液的TMAH浓度调整，仅需通过测定回收液在波长210nm、220nm、225nm、230nm、235nm、240nm、245nm与250nm的吸收度后，根据上述步骤即可推得回收液中的TMAH含量，以加入适量的高浓度TMAH将回收液调整至标准TMAH浓度，即可再进行显影过程，维持显影品质。
上述方法的优点在于，每次测定回收液的吸收度后，即可重新算出220nm至250nm之间的干扰物质曲线，因此即使回收系统处于动态改变状态，仍可通过上述方式，逐次精确估出回收液中的TMAH含量，作为显影液浓度调整依据。
实施例3根据上述实施例1的TMAH的回收方法，下面以图6详细说明本发明的一实施例中的氢氧化四甲铵显影液的回收系统。
参见图6，根据本发明的回收系统，可连接于显影机台600，以回收管路610输送显影机台600所排放的显影液至回收槽612中。显影机台600排放的显影液，亦可经由废液管路602排放至废液槽604中，而不回收。回收管路与废液管路间的切换可经由阀门606控制。
根据本发明的回收系统，包含调节槽630，储存高浓度的TMAH显影液，如25％的TMAH显影液，并经由调节管路634与回收槽612连结。调节管路634则通过控制阀门632控制，以输送高浓度的显影液调整回收槽612中的回收液浓度。另外，回收槽612可进一步连接新液槽640，经由管路642输送标准浓度的TMAH显影液，如2.36％TMAH至回收槽612中。若显影机台600排放的显影液由废液管路602排空后，则可由新液槽640补充新的标准浓度TMAH显影液至回收槽612中。
通过可见光-紫外光分光光度计(UV-Vis spectrometer)620，可测定回收槽612中的回收液在既定波长的吸收度。优选分光光度计620可连结一稀释器622，当吸收度大于1.2时，则适当稀释待测样品后，再重新测量其吸收度。
分光光度计620的测定值则传送至处理装置，如计算机主机624进行处理，以计算回收液中TMAH浓度。计算机主机624可采用实施例1中的回收方法，预先设定Co值与TMAH在波长210nm时的吸光度检量线。当计算机主机324取得根据分光光度计620在波长210nm与220nm的回收液吸收度，A1与A2，则计算根据实施例1的方法，得到回收液中TMAH吸收度A3＝A1-(A2×Co)。接着计算机主机324将TMAH吸收度A3带入TMAH在波长210nm的吸光度检量线，以求出回收液中的TMAH浓度。若回收液的吸收度为稀释者，则需换算为稀释前的浓度。
计算机主机624在求出回收液中的TMAH浓度后，则根据回收液总量，依调节槽的TMAH浓度与TMAH显影液标准浓度，计算需补充至回收槽中的TMAH溶液体积(V)。而计算机主机324在求得调节体积V后，则开启调节阀门632，以输送体积V的高浓度TMAH至回收槽612中，使回收液中的TMAH浓度达到显影过程所需的标准值，一般为2.36％。
每批调整后的回收液可输送至显影液供应槽650中储存，供显影机台600使用。
实施例4根据上述实施例2的TMAH的回收方法，本发明可提供另一TMAH显影液的回收系统。
参见图6的显影液回收系统的框架图，计算机主机624可根据实施例2中的方法计算回收液中的TMAH浓度。计算机主机624根据分光光度计620对回收液在220nm～250nm的m个既定波长的吸收度读值，如220nm、225nm、230nm、235nm、240nm、245nm与250nm等七个波长读值，带入n次多项式，如3次多项式中，求得波长-吸收曲线[Y＝C1Xn+...+Cn-1X+Cn]。
计算机主机624将波长210nm带入该波长-吸收曲线可得到回收液中干扰物质的吸收度Y210。接着计算A1与Y210的差值，得到回收液中的TMAH吸光值A3。接着将吸光值A3带入计算机主机624中预设的TMAH在波长210nm的吸光度检量线，以求出回收液中的TMAH浓度。若回收液的吸收度为稀释者，则需换算为稀释前的浓度。
计算机主机624求出回收液中的TMAH浓度后，则根据回收液总量，依调节槽的TMAH浓度与TMAH显影液标准浓度，计算需补充至回收槽中的TMAH溶液体积(V)。而计算机主机324在求得调节体积V后，则开启调节阀门632，以输送体积V的高浓度TMAH至回收槽612中，使回收液中的TMAH浓度达到显影过程所需的标准值，一般为2.36％。
通过上述本发明的氢氧化四甲铵显影液回收系统与方法，其优点在于较已知的单纯分光光度计或导电度计的测定，可以更精确地推出得到回收液中的TMAH浓度，以添加正确量的TMAH至回收液中，使其TMAH含量达到标准值。而本发明的系统与方法，仅需通过在一般TMAH回收系统中加装一分光光度计与一处理装置，如计算机主机，即可以通过低成本而稳定性高的系统与方法回收TMAH显影液。
虽然本发明以优选实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，对于本领域普通技术人员来讲，在不脱离本发明的精神和范围时，应可做些许更动与润饰，因此本发明的保护范围视所附权利要求书所界定者为准。
权利要求
1.一种氢氧化四甲铵显影液的回收方法，包含下列步骤在波长220nm至250nm间选择m个波长，其中m为大于或等于2的正整数；测定该回收液在该m个既定波长的吸收度，分别为Y1至Ym，并测定该回收液在波长210nm的吸收度A1；将该m个吸收度与其对应波长带入n次多项式，以求得一波长-吸收曲线[Y＝C1Xn+...+Cn-1X+Cn]，其中X为波长、n为正整数、C1～Cn为该曲线系数；将波长210nm带入该波长-吸收曲线以得到吸收度Y210；计算A1与Y210的差值，得到该回收液中的氢氧化四甲铵吸光值A3；以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵在吸光值A3对应的浓度；以及根据该回收液中的氢氧化四甲铵浓度值添加适量的氢氧化四甲铵以达到标准氢氧化四甲铵浓度值为止。
2.根据权利要求1所述的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，其中该m个波长为间隔5nm或10nm的波长。
3.根据权利要求2所述的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，其中该m个波长为220nm、225nm、230nm、235nm、240nm、245nm与250nm等7个波长。
4.根据权利要求1所述的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，其中该n次多项式为2至5次多项式之一。
5.根据权利要求4所述的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，其中该n次多项式为3次多项式，且该吸收曲线为Y＝C1X3+C2X2+C3X+C4。
6.根据权利要求1所述的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，其中进一步包含步骤当该回收液在波长210nm的吸收度A1大于1.2时，则先将该回收液样品适当稀释；重新测定稀释后的该回收液样品在该m个波长与210nm的吸收度。
7.一种氢氧化四甲铵显影液的回收系统，包含回收槽，通过回收管路回收显影机台排放的回收液；调节槽，用以盛装高浓度的氢氧化四甲铵显影液，并以调节管路连结于该回收槽；分光光度计，用以测定该回收槽中该回收液的吸光值；处理装置，连结该分光光度计，根据测定的吸光值计算该回收液中氢氧化四甲铵的浓度，并根据该浓度控制该调节槽的管路，以输送适量的高浓度氢氧化四甲铵显影液至该回收槽中，使该回收槽中的氢氧化四甲铵显影液浓度达到标准值；其中，该处理装置用以下方法计算该回收槽中氢氧化四甲铵的浓度读取该回收液在波长220nm至250nm间的m个波长的吸收度Y1至Ym，其中m为大于或等于2的正整数，并读取该回收液在波长210nm的吸收度A1；将该m个吸收度与其对应波长带入n次多项式，以求得波长-吸收曲线[Y＝C1Xn+...+Cn-1X+Cn]，其中X为波长、n为正整数、C1～Cn为该曲线系数；将波长210nm带入该波长-吸收曲线以得到吸收度Y210；计算A1与Y210的差值，得到该回收液中的氢氧化四甲铵吸光值A3；以及以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵在吸光值A3对应的浓度。
8.根据权利要求7所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中该处理装置为计算机主机。
9.根据权利要求7所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中该m个波长为间隔5nm或10nm的波长。
10.根据权利要求9所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中该m个波长为220nm、225nm、230nm、235nm、240nm、245nm与250nm等7个波长。
11.根据权利要求9所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中该n次多项式为2至5次多项式之一。
12.根据权利要求11所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中该n次多项式为3次多项式，且该吸收曲线为Y＝C1X3+C2X2+C3X+C4。
13.根据权利要求11所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中进一步包含稀释器，用以当该回收液在波长210nm的吸收度A1大于1.2时，则先将该回收液样品适当稀释，然后再进行测定。
14.一种氢氧化四甲铵显影液的回收方法，包含下列步骤测定该回收液在波长210nm与220nm的吸收度分别为A1与A2；计算该回收液中的该显影剂吸收度(A3)＝A1-A2×Co，其中，Co＝(A1′-A3′)/A2′，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在210nm与220nm的吸光度，而A3′为该已知氢氧化四甲铵浓度在210nm的标准吸光度；以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度；以及根据该回收液中的氢氧化四甲铵浓度值添加适量的氢氧化四甲铵以达到标准氢氧化四甲铵浓度值为止。
15.根据权利要求14所述的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，其中进一步包含步骤当该回收液在波长210nm的吸收度A1大于1.2时，则先将该回收液样品适当稀释；重新测定该回收液在210nm与220nm的吸收度。
16.一种氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其适用于显影过程之后的回收液中氢氧化四甲铵的回收使用，包括回收槽，通过回收管路回收显影机台排放的回收液；调节槽，用以盛装高浓度的氢氧化四甲铵显影液，并以调节管路连结于该回收槽；分光光度计，用以测定该回收槽中该回收液的吸光值；处理装置，连结该分光光度计，根据测定的吸光值计算该回收液中氢氧化四甲铵的浓度，并根据该浓度控制该调节槽的管路，以输送适量的高浓度氢氧化四甲铵显影液至该回收槽中，使该回收槽中的氢氧化四甲铵显影液浓度达到标准值；其中，该处理装置用以下方法计算该回收槽中氢氧化四甲铵的浓度读取该回收液在波长210nm与220nm的吸收度，为A1与A2；计算该回收液中的该显影剂吸收度(A3)＝A1-A2×Co，其中，Co＝(A1′-A3′)/A2′，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在210nm与220nm的吸光度，而A3′为该已知氢氧化四甲铵浓度在210nm的标准吸光度；以及以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度。
17.根据权利要求16所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中该处理装置为计算机主机。
18.根据权利要求16所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中进一步包含稀释器，用以当该回收液在波长210nm的吸收度A1大于1.2时，则先将该回收液样品适当稀释，然后再进行测定。
全文摘要
本发明提供一种氢氧化四甲铵(TMAH)显影液的回收方法，用于显影后的回收液中TMAH的浓度调整，包含下列步骤在220nm至250nm间选择m个波长；测定回收液在该m个波长的吸收度，分别为Y1至Ym，并测定回收液在210nm吸收度A1；将该m个吸收度与其对应波长带入n次多项式，以求得对应的波长－吸收曲线[Y＝C
文档编号G03F7/004GK1567090SQ0314841
公开日2005年1月19日 申请日期2003年6月27日 优先权日2003年6月27日
发明者黄教忠 申请人:友达光电股份有限公司