专利名称：放置玻璃基板用的框架的制作方法
技术领域：
本发明涉及放置玻璃基板用的框架，更详细地讲，涉及可以防止由于玻璃基板间的间隔变窄而产生的不良情况的放置玻璃基板用的框架。
背景技术：
放置玻璃基板用的框架用于半导体制造工序及平板显示装置(FlatPanel Display)制造工序等，其中在包括液晶显示装置的平板显示装置的制造工序中使用的放置玻璃基板用的框架在向装备内部装载玻璃基板及从装备向外卸载时，在内部装载数十块玻璃基板而作为装载的玻璃基板的移动装置使用。
图1是表示现有的放置玻璃基板用的框架的立体图。如图所示，放置玻璃基板用的框架10是四边形的下板12和上板14夹着数个支持用杆16组成的结构。所述下板12和上板14分别是整体的四边形，同时，在框的内部具有十字形的框架。所述支持用杆16介于下板12和上板14之间的各角和与玻璃基板1的长边对应的一侧边及另一侧边各自的中心。特别是所述支持用杆16在其表面具有用于维持玻璃基板1之间的间隔的、等间隔配置的数个间隔(gap)维持环18。
在此，所述间隔维持环18的厚度大约是2mm，环18和环18间的间隔大约是1cm。
另一方面，在制造薄膜晶体管液晶显示装置时，在制造阵列基板及滤色片基板，特别是所述阵列基板时，使用了众所周知的光刻法工序。即在制造所述阵列基板时，在被蚀刻层上进行涂布保护层、曝光及显影，形成保护层型板后，在该保护层图形蚀刻被蚀刻层上形成规定的图形，之后，进行一系列除掉所述保护层图形的工序。
在此，在所述被蚀刻层进行湿式蚀刻时，及之后清除保护层图形时，在框架内放置数十张，如24张玻璃基板后，把这样的框架在加入了化学剂或洗净液的槽(bath)内浸渍规定时间，对全部24张玻璃基板一起完成蚀刻或保护层型板的清除。
但是，工程装备的尺寸缩小，即减少化学槽的尺寸时，与其相应，也必须减小放置玻璃基板的框架的尺寸。这时，为了减小所述框架的大小，必须使基板间的间隔变窄进行放置，这样，虽然具有能减小框架大小的优点，但如图2所示，在湿式蚀刻时，由于玻璃基板1间的间隔变小防碍化学剂22和洗净液的流动，所以不能达到最优的工程条件。另外，如图3所示，由于具有0.5T以下厚度的玻璃基板1发生弯曲，连接的玻璃基板1相互触接，当然会导致擦伤(scratch)及干燥不良，在工序进行后搬运玻璃基板1的过程中，与返回的自动装置30冲突，可以引发玻璃基板1破裂的现象(broken)。
在图2中未说明的图面符号20表示化学槽。
因而，本发明是为了解决上述问题而提出的，目的是提供一种可以防止由于玻璃基板间的间隔变窄而产生的不良情况的放置玻璃基板用的框架。
发明内容
为了达到所述目的，本发明提供一种放置玻璃基板用的框架，其包括四边形的下板和上板；支持用杆，其分别垂直设在所述下板和上板之间的各角和一侧边及另一侧边的中心，在表面上具有多个等间隔配置的第一间隔维持环；玻璃基板限制器，其分别垂直设置在所述上下板之间的一侧边及另一侧边，利用弹簧的张力可直线往复运动，在表面上具有多个等间隔设置的第二间隔维持环，用所述第二间隔维持环按压装载在所述支持用杆的第一间隔维持环上的玻璃基板以防止其流动。
在此，所述玻璃基板限制器向下板的下面突出规定长度，在向所述下板的下面突出的玻璃基板限制器的一部分上设置用于提供弹簧张力的压缩弹簧。该玻璃基板限制器在玻璃基板的装载及回送时上升，在框架移动时下降，按压玻璃基板并使其固定。
根据本发明，通过进一步设置固定装载在支持用杆的第一间隔维持环上的玻璃基板的玻璃基板限制器，可以通过维持玻璃基板间的间隔，使化学剂和洗净液的流动稳定，由于防止了玻璃基板的触接，可以防止产生擦痕及干燥不良，当然也可以防止在送回玻璃基板时与回送自动装置冲突而割裂玻璃基板的现象。
与上述的本发明的目的不同的特征及长处，对下面参照的本发明的实施方式的说明可以明确。
图1是表示现有的放置玻璃基板用的框架的立体图；图2是说明现有问题的图；图3是说明现有问题的图；图4是说明根据本发明的实施例的放置玻璃基板用的框架的立体图；图5A及图5B是说明根据本发明的放置玻璃基板用的框架的玻璃基板限制器的动作的图；图6是表示根据本发明的放置玻璃基板用的框架浸渍在槽内的状态的图。
符号说明40 放置玻璃基板用的框架 46 第二间隔维持环41 下板 47 压缩弹簧42 上板 50 玻璃基板43 支持用杆 51 浴槽44 第一间隔维持环 52 化学剂45 玻璃基板限制器 60 托架具体实施方式
下面根据附图，详细说明本发明所希望的实施例。图4至图6是用于说明根据本发明的实施例的放置玻璃基板用的框架的图。图4是说明根据本发明的实施例的放置玻璃基板用的框架的立体图，图5A及图5B是说明根据本发明的放置玻璃基板用的框架上的玻璃基板限制器的动作的图；图6是表示在根据本发明的放置玻璃基板用的框架浸渍在槽内的状态的图。
参照图4，根据本发明的放置玻璃基板用的框架40是四边形的下板41和上板42将数个支持用杆43夹在中间组合成的结构，所述下板41和上板42各自整体为四边形，同时在框的内部具有十字形的框，所述支持用杆43分别设置在按规定间隔隔开的下板41和上板42之间的各个角和一侧边及另一侧边的中心，而在其表面上具有用于维持玻璃基板50间的间隔的第一间隔维持环44。
本发明的放置玻璃基板用的框架40与现有的框架相比，进一步在所述下板41和上板42间的一侧边及另一侧边分别设置有玻璃基板限制器45。
所述玻璃基板限制器45与支持用杆43类似，在其表面上具有第二间隔维持环46。特别是玻璃基板限制器45设置成可在下板41和上板42之间直线往复运动。为此，所述玻璃基板限制器45向下板41的下方突出规定长度，在这样突出的部分和下板41之间，设置能提供张力(tension)的部件，最好设置压缩弹簧47。因此，所述玻璃基板限制器45就能利用压缩弹簧47上升、下降。
这样的根据本发明的放置玻璃基板用的框架中的玻璃基板限制器的动作如下所述。
参照图5A，在装载玻璃基板前的状态下，玻璃基板限制器45就会用压缩弹簧47向下降，在该状态下，若框架40配置在用于装载玻璃基板的位置上，所述玻璃基板限制器45就会与预先设置的托架(bracket)60触接，同时向上升规定的高度。
参照图5B，在该状态下，在支持用杆43的第一间隔维持环44上夹住并装载玻璃基板50后，若使所述框架40移动，所述玻璃基板限制器45就会受到由压缩弹簧47的张力产生的向下下降的力，因此，装载的玻璃基板50由按压所述玻璃基板限制器45的第二间隔维持环46的力固定。
因此，如图6所示，在将装载多张玻璃基板50的框架40浸渍在加入了化学剂52的浴槽51中时，由于用支持用杆43的第一间隔维持环44和玻璃基板限制器45的第二间隔维持环46，特别是所述玻璃基板限制器45的第二间隔维持环46维持玻璃基板50间的间隔，可以稳定地完成化学剂流动。另外，在后续的干燥过程中也不产生干燥不良。
之后，没有图示，在取出玻璃基板时，把框架配置在规定的位置，所述玻璃基板限制器就会与预先设置的托架触接，同时向上升，因此，可以很容易地取出玻璃基板，特别是所述玻璃基板间的间隔现在是2mm，通过确保其最大8mm，使玻璃基板在送回的过程中不会发生由于与送回的自动装置冲突产生的破碎缺陷。
如上所述，本发明通过进一步设置能使装在现有的框架上的玻璃基板固定的玻璃基板限制器，可以维持玻璃基板间的间隔，稳定地进行化学剂和洗净液的流动；并可以防止发生擦痕和干燥不良，特别是可以防止玻璃基板在送回时与回送自动装置冲突、割裂玻璃基板的现象，可以改善薄膜晶体管液晶显示装置的制造效率。
另外，本发明可以在不脱离其主要宗旨的范围内进行多种变化。
权利要求
1.一种放置玻璃基板用的框架，其特征在于，包括四边形的上板和下板，其按规定间隔分隔开；支持用杆，其分别垂直设在所述下板和上板之间的各角和一侧边及另一侧边的中心，在表面上具有多个等间隔配置的第一间隔维持环；玻璃基板限制器，其分别垂直设置在所述上下板之间的一侧边及另一侧边，利用弹簧的张力可直线往复运动，在表面上具有多个等间隔设置的第二间隔维持环，用所述第二间隔维持环按压装载在所述支持用杆的第一间隔维持环上的玻璃基板以防止其流动。
2.如权利要求1所述的放置玻璃基板用的框架，其特征在于，所述玻璃基板限制器向下板的下方突出规定长度。
3.如权利要求2所述的放置玻璃基板用的框架，其特征在于，在所述向下板下方突出的玻璃基板限制器的部分上设置用于提供弹簧张力的压缩弹簧。
4.如权利要求1所述的放置玻璃基板用的框架，其特征在于，所述玻璃基板限制器在装载及送回玻璃基板时上升，在框架移动时下降，按压玻璃基板并使其固定。
全文摘要
本发明提供一种放置玻璃基板用的框架。其包括四边形的上板和下板，其按规定间隔分隔开；支持用杆，其分别垂直设在所述下板和上板之间的各角和一侧边及另一侧边的中心，在表面上具有多个等间隔配置的第一间隔维持环；玻璃基板限制器，其分别垂直设置在所述上下板之间的一侧边及另一侧边，利用弹簧的张力可直线往复运动，在表面上具有多个等间隔设置的第二间隔维持环，用所述第二间隔维持环按压装载在所述支持用杆的第一间隔维持环上的玻璃基板以防止其流动。在此，所述玻璃基板限制器向下板下方突出规定长度，在向下板下方突出的玻璃基板限制器的部分上设置提供弹簧张力的压缩弹簧。
文档编号G02F1/13GK1577012SQ20041004784
公开日2005年2月9日 申请日期2004年5月31日 优先权日2003年7月4日
发明者孙兴锡, 崔泰城 申请人:京东方显示器科技公司