感光性树脂组合物、光间隔物、保护膜、着色图案、显示装置及其基板的制作方法

专利名称：：感光性树脂组合物、光间隔物、保护膜、着色图案、显示装置及其基板的制作方法
技术领域：
：本发明涉及感光性树脂组合物、光间隔物(photospacer)及其形成方法、保护膜、着色图案、显示装置用基板以及显示装置。
背景技术：
：液晶显示装置被广泛用于显示高画质图像的显示装置中。液晶显示装置通常在一对基板(以下也称为"显示装置用基板")间配置通过规定的取向能进行图像显示的液晶层。均匀地维持该基板间隔、即液晶层的厚度是决定画质的要素之一。为了将液晶层的厚度保持一定而配设间隔物。该基板之间的厚度通常被称为"单元厚度"。单元厚度通常表示所述液晶层的厚度，换而言之，表示在显示区域的液晶中施加了电场的2张电极间的距离。显示装置用基板(例如滤色器基板、有源矩阵基板等)为下述构成，即在基板上形成有着色图案或保护膜等结构体的构成。在这些结构体中，作为着色图案或保护膜的形成方法，使用感光性树脂组合物通过光刻法来形成的方法成为主流。另外，以往通过散布珠子(beads)来形成间隔物，但近年，也使用感光性树脂组合物通过光刻法来形成间隔物，因此，能得到位置精度高的间隔物。使用这样的感光性树脂组合物形成的间隔物被称为光间隔物。
发明内容迄今为止对感光性树脂组合物进行了各种研究。例如，公开了使用烯键式不饱和羧酸等与烯键式不饱和化合物的共聚物及特定的光聚合引发剂得到的感光性树脂组合物(例如参见特开2007-86565号)。还公开了一种由含脂肪族环状烃基的共聚物构成的固化性树脂，所述含脂肪族环状烃基的共聚物具有下述的分子结构，即将具有特定结构的脂肪族环状烃基的4结构单元、具有酸性官能团的结构单元和具有自由基聚合性基的结构单元连结而成的分子结构(例如，参见特开2002-293837号公报)。上述现有的感光性树脂组合物中，作为光聚合性单体，通常使用二季戊四醇六丙烯酸酯或二季戊四醇五丙烯酸酯等具有烯键式不饱和键的单体。但是，使用现有的感光性树脂组合物在基板上形成图案结构体(例如光间隔物、着色图案等。以下词语"图案结构体"也包括上述例子)或保护膜时，如果仅用曝光的话，则感光性树脂组合物的聚合固化不充分，有时在曝光、显影后需要实施高温的加热处理。本发明是鉴于上述事实而得到的，提供下述方案。〈1〉一种感光性树脂组合物，其含有树脂、偶极矩为3.50德拜(Debye)以上的聚合性化合物和光聚合引发剂。<2〉根据<1>所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述聚合性化合物具有5元或6元的环状结构和烯键式不饱和双键，所述5元或6元的环状结构具有含C=0的连结部位和/或含P=0的连结部位。<3>根据<1〉所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述树脂在侧链具有支化和/或脂环结构、酸性基以及烯键式不饱和键。<4〉根据<1〉所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述聚合性化合物具有5元或6元的环状结构和烯键式不饱和双键，所述5元或6元的环状结构具有含C=0的连结部位和/或含P=0的连结部位，所述树脂在侧链上具有支化和/或脂环结构、酸性基以及烯键式不饱和键。<5〉一种感光性树脂组合物，其含有树脂、聚合性化合物和光聚合引发剂，其中，所述树脂是在侧链具有包含由C=0表示的部位和/或由P二0表示的部位的5元或6元的环状结构、酸性基以及烯键式不饱和键的树脂。<6〉根据<4〉所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述树脂在侧链上还具有支化和/或脂环结构。<7〉根据<4>或<5>所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述聚合性化合物的至少1种具有包含由C二O表示的部位和/或由P-O表示的部位的5元或6元的环状结构和烯键式不饱和双键。<8〉根据<5>所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述树脂在侧链上还具有支化和/或脂环结构，所述聚合性化合物的至少1种具有包含由C二O表示的部位和/或由P二O表示的部位的5元或6元的环状结构和烯键式不饱和双键。<9〉一种光间隔物，其是使用<1〉<8〉中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。<10>—种光间隔物的形成方法，其至少包括下述工序(1)(3):(1)在基板上形成<1〉<8>中任一项所述的感光性树脂组合物的被膜的工序；(2)将所述被膜的至少一部分曝光的工序；(3)将曝光后的所述被膜显影的工序。<11>根据<10〉所述的光间隔物的形成方法，其特征在于，所述形成方法还包括将显影后的所述被膜加热的工序，该加热的最高温度为40°C以上且145"C以下。<12>—种保护膜，其是使用<1><8>中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。<13>—种着色图案，其是使用<1><8〉中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。<14〉一种显示装置用基板，其具备<9>中所述的光间隔物、<12>中所述的保护膜及<13〉中所述的着色图案的至少一种。<15〉一种显示装置，其具备<14>所述的显示装置用基板。根据<1〉，能提供曝光时的聚合固化性优异、能在低加热温度或无加热处理下形成图案结构体和保护膜的感光性树脂组合物。根据<2〉，能提供曝光时的聚合固化性进一步提高了的感光性树脂组合物。根据<3>，能提供下述可能的感光性树脂组合物，其具有显影性、高聚合反应性、优异的液体保存性、干膜下的经时保存性、形成的图案结构体的形状及膜厚的控制性，并且形成的图案结构体受到外力时的压縮弹性模量和从压缩变形的弹性回复性高。根据<4〉，能提供下述感光性树脂组合物，其具有进一步提高了的显影性、高聚合反应性、优异的液体保存性、干膜下的经時保存性、形成的图案结构体的形状及膜厚的控制性，并且形成的图案结构体的压缩弹性模量和从压缩变形的弹性回复性高。根据<5〉，能提供曝光时的固化性优异、能在低加热温度或无加热处理下形成图案结构体和保护膜的感光性树脂组合物。根据<6〉，能提供形成的图案结构体的压縮弹性模量和从压縮变形的弹性回复性高的感光性树脂组合物。根据<7〉，能提供曝光时的固化性进一步提高了的感光性树脂组合物。根据<8〉，能提供曝光时的固化性进一步提高、并且形成的图案结构体的压縮弹性模量和从压縮变形的弹性回复性高的感光性树脂组合物。根据<9〉，即使在低加热温度或无加热处理下形成的情况中，也能提供截面形状的均匀性及高度均匀性优异的光间隔物。根据<10〉，即使在低加热温度或无加热处理下形成的情况中，也能提供截面形状的均匀性及高度均匀性优异的光间隔物的制造方法。根据<11〉，能提供更有效地抑制将要形成的光间隔物的劣化或已经形成的图案结构体(着色图案等)或保护膜的劣化的光间隔物的制造方法。根据<12>，即使在低加热温度或无加热处理下形成的情况中，也能提供膜厚均匀性优异的保护膜。根据<13>，即使在低加热温度或无加热处理下形成的情况中，也能提供截面形状的均匀性及膜厚均匀性优异的着色图案。根据<14>，能提供在用于显示装置时能抑制显示不均的显示装置用基板。另外，根据<15〉，能提供抑制了显示不均的显示装置。具体实施例方式以下，详细说明本发明的感光性树脂组合物，进而，也对使用该感光性树脂组合物得到的光间隔物及其形成方法、保护膜、着色图案、显示装置用基板以及显示装置进行说明。《感光性树脂组合物》7本发明的感光性树脂组合物含有树脂、偶极矩为3.50德拜以上的聚合性化合物和光聚合引发剂。通常，使用感光性树脂组合物在基板上形成图案结构体或保护膜时，如果仅用曝光的话，则固化不充分，所以为了进一步进行固化，需要在曝光、显影后实施高温的加热处理。但是，通过该高温的加热处理，有时将要形成的图案结构体或保护膜发生劣化或已经形成在基板上的图案结构体或保护膜发生劣化。例如，在具有着色图案的滤色器基板上形成光间隔物时，有时将要形成的光间隔物发生劣化、或已经形成在基板上的着色图案发生劣化。于是，通过将感光性树脂组合物设定为上述本发明的构成，能提高曝光时的固化性、在低加热温度或无加热处理下也能形成图案结构体和保护膜。因此，能有效抑制将要形成的图案结构体或保护膜的劣化、以及已经在基板上形成的图案结构体或保护膜的劣化。以下，对本发明的感光性树脂组合物中所含的聚合性化合物、树脂、光聚合弓I发剂以及其它成分进行说明。<聚合性化合物>本发明的感光性树脂组合物中所含的聚合性化合物的至少一种(以下也称为"特定聚合性化合物")优选是偶极矩为3.50德拜以上的聚合性化合物。聚合性化合物受到来自下述光聚合引发剂的自由基的作用发生聚合反应而形成固化膜，特别是该特定聚合性化合物聚合反应性高、曝光时的聚合固化性优异。此处，所谓特定聚合性化合物的偶极矩是指根据ScigressExplorerProfessionalVersion7.6.0.52(富士通株式会社制造)计算得到的值。从曝光时的聚合固化性的观点考虑，作为特定聚合性化合物的偶极矩，优选为3.80德拜以上，更优选为4.40德拜以上。从曝光时的聚合固化性的观点考虑，特定聚合性化合物优选具有5元或6元的环状结构(以下也称为"特定环状结构")和烯键式不饱和双键，所述5元或6元的环状结构具有含C二0的连结部位和/或含P二O的连结部位。作为所述含C二O的连结部位，可以举出下述式表示的部位。8)用*表示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>作为所述含P二O的连结部位，可以举出下述式表示的部位。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>另外，作为具有含C二O的连结部位和/或含有P二0的连结部位的5元或6元的环状结构的具体例，没有特别限制，例如可以举出下述式表示的结构。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>在具有含C二O的连结部位和/或含P-0的连结部位的5元或6元的环状结构中，从聚合固化性的观点考虑，更优选具有含C二0的连结部位的5元或6元的环状结构。特定聚合性化合物优选具有烯键式不饱和双键。此时，从聚合固化性的观点考虑，烯键式不饱和双键更优选作为(甲基)丙烯酰基的一部分含在特定聚合性化合物中。另外，本说明书中，(甲基)丙烯酰基表示丙烯酰基或甲基丙烯酰基，(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯，(甲基)丙烯基表示丙烯基或甲基丙烯基，(甲基)丙烯酰胺表示丙烯酰胺或甲基丙烯酰胺，(甲基)丙烯酰替苯胺表示丙烯酰替苯胺或甲基丙烯酰替苯胺。上述"聚合性化合物"例如可以通过macromolecules,Vo136、No.ll、2003的p3871中记载的方法等来合成，其中，所述"聚合性化合物"具有5元或6元的环状结构和烯键式不饱和双键，所述5元或6元的环状结构具有含0=0的连结部位和/或含P二O的连结部位。另外，特定聚合性化合物也可以含有多个烯键式不饱和双键。以下，列举出本发明的聚合性化合物的具体例(例示化合物M-1~M-30)，但本发明并不限定于这些化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>关于例示化合物M—1M—30，通过上述方法得到的偶极矩分别是M—l为3.87德拜，M—2为4.12德拜，M—3为4.54德拜，M—4为4.62德拜，M—5为5.30德拜，M—6为5.92德拜，M—7为6.50德拜，M—8为3.70德拜，M—9为5.50德拜，M—10为5.10德拜，M—ll为4.70德拜，M—12为3.90德拜，M—13为5.30德拜，M—14为4.30德拜，M—15为4.90德拜，M—16为3.87德拜，M—17为4.12德拜，M—18为4.54德拜，M—19为4.62德拜，M—20为5.30德拜，M—21为5.92德拜，M—22为6.50德拜，M—23为3.70德拜，M一24为5.50德拜，M—25为5.10德拜，M—26为4.70德拜，M—27为3.90德拜，M—28为5.30德拜，M—29为4.30德拜，M—30为4.卯德拜。本发明的感光性树脂组合物除含有上述特定聚合性化合物以外，还可以含有具有烯键式不饱和键的聚合性化合物。作为所述聚合性化合物，可以从构成公知的组合物的聚合性化合物中选择使用，例如可以举出特开2006—23696号公报的段落号中记载的成分或特开2006—64921号公报的段落号[OOW]中记载的成分。如上所述，本发明中，聚合性化合物优选含有上述特定聚合性化合物。但是，本发明的范围并不限定于含有上述特定聚合性化合物的范围。例如，如果本发明的感光性树脂组合物中所含的树脂为在其侧链具有5元或6元的环状结构(即，所述特定环状结构)和烯键式不饱和键的树脂，且所述5元或6元的环状结构具有由C二0表示的部位、由P二O表示的部位、含C二O的连结部位和/或含P二O的连结部位，则即使使用受到来自下述光聚合引发剂的自由基的作用发生聚合反应从而能形成固化膜的聚合性化合物，也能得到本发明所期待的效果。作为上述聚合性化合物，可以举出能从构成公知的组合物的聚合性的化合物中选择的聚合性化合物，例如特开2006—23696号公报的段落号中记载的成分或特开2006—64921号公报的段落号中记载的成分。作为上述聚合性化合物的具体例，可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。本发明中，含有特定聚合性化合物的聚合性化合物的总量与下述树脂的总量的质量比率〔树脂的总量/聚合性化合物的总量)优选为0.52.0，更优选为0.61.8，特别优选为0.71.5。质量比率在上述范围内时，能得到具有良好的显影性、力学強度的图案结构体。<树脂>本发明的感光性树脂组合物含有至少l种树脂。作为上述树脂，没有特别限制，优选为对碱性水溶液显示溶胀性的化合物，更优选为对碱性水溶液显示溶解性的化合物。作为对碱性水溶液显示溶胀性或溶解性的树脂，例如可以优选举出具有酸性基的树脂，具体优选为在环氧化合物中导入了烯键式不饱和双键和酸性基的化合物(环氧丙烯酸酯化合物)、在侧链上具有(甲基)丙烯酰基及酸性基的乙烯基共聚物、环氧丙烯酸酯化合物与在侧链上具有(甲基)丙烯酰基及酸性基的乙烯基共聚物的混合物、马来酰胺酸系共聚物等。作为上述酸性基，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出羧基、磺酸基、磷酸基等，上述酸性基中，从原料的购得性等观点考虑，可以优选举出羧基。作为本发明的感光性树脂组合物中的树脂的含量，相对于感光性树脂组合物的总固体成分，优选为570质量％，更优选为1050质量％。该含量为5质量％以上时，能维持感光树脂层的膜強度，能良好地保持该感光树脂层的表面的粘性，该含量为70质量％以下时，曝光灵敏度良好。<树脂〔A〕>本发明中的树脂含有至少一种在侧链具有酸性基和烯键式不饱和键的树脂，优选还含有从由(i)支化结构、(ii)脂环结构、(iii)包含由C二O表示的部位和/或由P二0表示的部位的5元或6元的环状结构(即，上述特定环状结构)构成的组中选择的至少一种结构。以下，将具有含上述(i)、(ii)、(iii)中的至少一种结构的构成的树脂称为"树脂〔A〕"。所述树脂〔A)具有酸性基而具备显影性，并且由于具有烯键式不饱和键，所以具有高聚合反应性，而且具有优异的液体保存性和干膜状态下的经时保存性，所以可以赋予能够将图案结构体控制为所期望的形状和膜厚(高度等)的控制性。另外，所述树脂(A)具有支化和/或脂环结构时，可以提高所形成的图案结构体受到外力时的压縮弹性模量、从压縮变形的弹性回复性。由此，在构成例如显示装置用的光间隔物等图案结构体时是有用的。另外，所述树脂(A)具有特定环状结构时，曝光时的固化性提高。此处，支化结构、脂环结构、特定环状结构、酸性基以及烯键式不饱和键可以分别含有在不同的侧链中，也可以一部分组合而含有在相同的侧链中，也可以全部含有在相同的侧链中。(树脂〔A)的侧链中能含有的支化结构、脂环结构、特定环状结构)树脂〔A〕在与树脂的主链结合的侧链上能含有支化结构、脂环结构以及特定环状结构中的至少一种结构。支化结构、脂环结构和/或特定环状结构可以在树脂〔A〕的侧链中含有多个。此外，支化结构、脂环结构和/或特定环状结构也可以与酸性基和/或烯键式不饱和键一起含有在树脂〔A)的侧链中。另外，支化结构、脂环结构和/或特定环状结构可以与树脂〔A〕的主链直接结合而仅以支化结构、脂环结构和/或特定环状结构来构成树脂(A)的侧链，也可以通过二价有机连结基与树脂〔A)的主链结合，作为具有支化结构、脂环结构和/或特定环状结构的基团来构成树脂〔A)的侧链。作为上述二价有机连结基，优选选自亚烷基、亚芳基、酯基、酰胺基以及醚基中的一种或组合。作为上述亚烷基，优选总碳原子数为120的亚垸基，更优选总碳原子数为110的亚烷基。具体地可以列举出亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、亚戊基、亚己基、亚辛基、亚十二烷基、亚十八垸基等，它们可以具有支化/环状结构、官能团，更优选为亚甲基、亚乙基、亚辛基。作为上述亚芳基，优选总碳原子数为620的亚芳基，更优选总碳原子数为612的亚芳基。具体地可以列举出亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚蒽基等，它们可以具有支链、官能团，更优选为亚苯基、亚联苯基。从显影性、弹性回复率等的观点出发，支化结构和/或脂环结构优选至少通过酯基(-COO-)与树脂〔A)的主链结合。另外，从曝光时的固化性的观点出发，特定环状结构也优选至少通过酯基(-COO-)与树脂〔A)的主链结合。该结合形态不限于支化结构、脂环结构和/或特定环状结构仅通过酯基(-COO-)与树脂〔A〕的主链结合的形态，还可以是支化结构、脂环结构和/或特定环状结构通过含有酯基(-COO-)的二价连结基与树脂〔A〕的主链结合的形态。即，支化结构、脂环结构和/或特定环状结构与酯链之间可以含有其它原子或其它连结基，另外，在酯链与树脂〔A〕的主链之间可以含有其它原子或其它连结基。作为上述支化结构，可以列举出碳原子数为312个的分支状垸基，优选例如异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、异戊基、新戊基、2-甲基丁基、异己基、2-乙基己基、2-甲基己基、异戊基、叔戊基、3-辛基、叔辛基等。其中，更优选异丙基、仲丁基、叔丁基、异戊基等，特别优选异丙基、仲丁基、叔丁基等。作为上述脂环结构，可以列举出碳原子数为520个的脂环式烃基，优选例如环戊基、环己基、环庚基、环辛基、降冰片基、异冰片基、金刚烷基、三环癸基、二环戊烯基、二环戊基、三环戊烯基及三环戊基等以及具有它们的基团。其中，更优选二环戊烯基、环己基、降冰片基、异冰片基、金刚烷基、三环癸基、三环戊烯基、三环戊基等，进一步优选二环戊烯基、环己基、降冰片基、异冰片基、三环戊烯基等，特别优选二环戊烯基、三环戊烯基。作为具有支化结构和/或脂环结构的基团，优选具有下述通式(3)表示的基团而构成的形态。通式(3)通式(3)中，X表示二价有机连结基，可以无取代基也可以有取代基。y表示l或2，n表示015的整数。作为上述二价有机连结基，优选选自亚烷基、亚芳基、酯基、酰胺基以及醚基中的一种或组合，它们也可以具有取代基。作为上述亚烷基，优选总碳原子数为120的亚烷基，更优选总碳原子数为110的亚烷基。具体地可以列举出亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、亚戊基、亚己基、亚辛基、亚十二烷基、亚十八垸基等基团，它们可以具有支化/环状结构、官能团，更优选为亚甲基、亚乙基、亚辛基。作为上述亚芳基，优选总碳原子数为620的亚芳基，更优选总碳原子数为612的亚芳基。具体地可以列举出亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚蒽基等，它们可以具有支链、官能团，更优选为亚苯基、亚联苯基。作为上述基团被取代时的取代基，可以列举出烷基、羟基、氨基、卤素基、芳香环基、具有脂环结构的基团等。作为用于向树脂〔A)的侧链上导入支化结构和/或脂环结构的单体，可以列举出苯乙烯类、(甲基)丙烯酸酯类、乙烯基醚类、乙烯基酯类、(甲基)丙烯酰胺类等，优选(甲基)丙烯酸酯类、乙烯基酯类、(甲基)丙烯酰胺类，更优选(甲基)丙烯酸酯类。作为用于向树脂(A)的侧链上导入支化结构的具体的单体，可以出(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸异戊酯、(甲基)丙烯酸叔戊酯、(甲基)丙烯酸仲异戊酯、(甲基)丙烯酸2-辛酯、(甲基)丙烯酸3-辛酯、(甲基)丙烯酸叔辛酯等，其中优选(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯等，更优选甲基丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸叔丁酯等。作为用于向树脂〔A〕的侧链上导入脂环结构的单体，可以列举出具有碳原子数为520个的脂环式烃基的(甲基)丙烯酸酯。作为具体的例子，可以列举出(甲基)丙烯酸(二环[2.2.1]庚-2-醇)酯、(甲基)丙烯酸l-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸2-金刚垸酯、(甲基)丙烯酸3-甲基-l-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸3，5-二甲基-l-金刚垸酯、(甲基)丙烯酸3-乙基金刚垸酯、(甲基)丙烯酸3-甲基-5-乙基-l-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸3，5，S-三乙基-l-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸3，5-二甲基-8-乙基-l-金刚垸酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基-2-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸2-乙基-2-金刚垸酯、(甲基)丙烯酸3-羟基-l-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸八氢-4，7-薄荷醇茚(menthanoindene)-5-基酯、(甲基)丙烯酸八氢-4，7-薄荷醇茚-l-基甲酯、(甲基)丙烯酸l-薄荷酯、(甲基)丙烯酸三环癸酯、(甲基)丙烯酸3-羟基-2，6，6-三甲基-二环[3丄1]庚酯、(甲基)丙烯酸3，7,7-三甲基-4-羟基-二环[4丄0]庚酯、(甲基)丙烯酸(降)冰片酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸葑酯、(甲基)丙烯酸2，2，5-三甲基环己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、(甲基)丙烯酸三环戊烯酯等。上述(甲基)丙烯酸酯中，从通过体积大的官能团使压縮弹性模量、弹性回复性变得良好的观点出发，优选(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸(降)冰片酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸l-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸2-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸葑酯、(甲基)丙烯酸l-薄荷酯、(甲基)丙烯酸三环癸酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、(甲基)丙烯酸三环戊烯酯等，特别优选(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸(降)冰片酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸2-金刚烷酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、(甲基)丙烯酸三环戊烯酯。另夕卜，作为向树脂〔A)的侧链上导入脂环结构的单体，可以举出下述19通式(4)或(5)表示的化合物。此处，通式(4)、(5)中，X表示二价有机连结基，R表示氢原子或甲基。y表示l或2，n表示015。通式(4)、(5)中，也优选y二l或2，n=08，更优选y二l或2、n=04(进一步优选n二02)。作为通式(4)或(5)表示的化合物的优选具体例，可以举出下述化合物D—1D—11、T一1T—12。其中，从弹性回复率的观点出发，优选下述通式(4)表示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>在通式(4)(5)中，X表示的二价有机连结基可以无取代也可以有取代基，与上述通式(3)的X表示的二价有机连结基意义相同，优选的形态也相同。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>作为用于向树脂〔A)的侧链上导入脂环结构的单体，可以使用适当制造的单体，也可以使用市售品。作为上述市售品，可以列举出日立化成工业株式会社制造的FA-511A、FA-512A(S)、FA-512M、FA-513A、FA-513M、TCPD-A、TCPD-M、H-TCPD-A、H-TCPD-M、TOE-A、TOE-M、H-TOE-A、H-TOE-M等。其中，从显影性优异、变形回复率优异的观点出发，优选FA-512A(S)、FA-512M。树脂〔A)的侧链中能含有的特定环状结构的结构及其具体例与上述特定聚合性化合物中能含有的特定环状结构的结构及其具体例相同。作为用于向树脂〔A)的侧链上导入特定环状结构的单体，可以列举出苯乙烯类、(甲基)丙烯酸酯类、乙烯基醚类、乙烯基酯类、(甲基)丙烯酰胺类等，优选(甲基)丙烯酸酯类、乙烯基酯类、(甲基)丙烯酰胺类，更优选(甲基)丙烯酸酯类。作为用于向树脂〔A)的侧链上导入特定环状结构的具体的单体，可以列举出上述化合物M—1M—7、M—9、M—16M—22、M—24。但是，本发明并不限定于这些化合物。作为用于向树脂〔A)的侧链上导入特定环状结构的单体，可以使用适当合成的单体，也可以使用市售品。该单体例如可以通过macromolecules,Vol.36、No.ll(2003)的3871页中记载的方法等来合成。作为上述市售品，例如，作为化合物M—3，可以列举出小畑产业株式会社的l一AdA，作为化合物M—IO，可以举出小畑产业株式会社的GBLMA等。(酸性基)树脂〔A)在与主链连结的侧链上含有至少一种酸性基。酸性基可以在侧链中含有多个。此外，酸性基也可以与上述支化结构、上述脂环结构和/或上述特定环状结构、以及烯键式不饱和键一起含有在树脂(A〕的侧链中。另外，上述酸性基可以与树脂〔A〕的主链直接结合而仅以酸性基来构成上述树脂的侧链，也可以通过二价有机连结基与树脂〔A〕的主链结合，作为具有酸性基的基团来构成树脂〔A)的侧链。这里，二价有机连结基的例子及其优选例，与在上述支化结构、上述脂环结构以及上述特定环状结构的说明中列举的二价有机连结基的例子及其优选例相同。作为上述酸性基，没有特别限制，可以从公知的酸性基中适当选择，可以列举出例如羧基、磺酸基、磺酰胺基、磷酸基、酚性羟基等。其中，从显影性及固化膜的耐水性优异的观点出发，优选为羧基、酚性羟基。作为用于向树脂〔A)中导入上述酸性基的单体的具体例子，可以从公知的单体中适当选择，可以列举出例如(甲基)丙烯酸、乙烯基苯甲酸、马来酸、马来酸单烷基酯、富马酸、衣康酸、巴豆酸、肉桂酸、山梨酸、a-氰基肉桂酸、丙烯酸二聚体、具有羟基的单体与环状酸酐的加成产物、co-羧基-聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等。它们可以使用适当制造的单体，也可以使用市售品。作为在上述的具有羟基的单体与环状酸酐的加成产物中使用的具有羟基的单体，可以列举出例如(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯等。作为上述环状酸酐，可以列举出例如马来酸酐、邻苯二甲酸酐、环己二羧酸酐等。作为单体的市售品，可以列举出东亚合成化学工业株式会社制造的7口二y夕7M-5300、7口二、乂夕7M-5400、7口二、乂夕只M誦5500、7口二:y夕7M-5600，新中村化学工业株式会社制造的NK工7亍》CB-1、NK工7亍/PCBX-1，共荣社油脂化学工业株式会社制造的HOA-MP、HOA-MS，大阪有机化学工业株式会社制造的匕'7〕一卜#2100等。其中，从显影性优异、低成本的观点出发，优选(甲基)丙烯酸等。(烯键式不饱和键)树脂〔A〕在侧链上含有至少1种烯键式不饱和键。树脂〔A〕中，烯键式不饱和键优选与主链之间通过酯基来进行配置。该烯键式不饱和键可以在侧链中含有多个。另外，烯键式不饱和键可以与上述支化结构、上述脂环结构、上述特定环状结构和/或上述酸性基一起含有在树脂〔A〕的侧链中。另外，烯键式不饱和键与树脂(A)的主链之间通过至少l个酯基(-COO-)来进行结合，可以仅由烯键式不饱和键和酯基构成树脂(A〕的侧链。另外，树脂(A〕的主链与酯基之间和/或酯基与烯键式不饱和键之间还可以含有二价有机连结基，烯键式不饱和键可以作为"具有与主链之间通过酯基来进行配置的烯键式不饱和键的基团"来构成树脂(A〕的侧链。这里，二价有机连结基的例子及其优选例与在上述支化结构、脂环结构及上述特定环状结构的说明中例示的二价有机连结基的例子及其优选例相同。另外，烯键式不饱和键优选通过导入(甲基)丙烯酰基配置在树脂〔A〕的侧链中。在树脂〔A)的侧链中导入(甲基)丙烯酰基的方法可以从公知的方法中适当选择，例如可以举出在具有酸性基的重复单元中加成具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯的方法；在具有羟基的重复单元中加成具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯的方法；在具有异氰酸酯基的重复单元中加成具有羟基的(甲基)丙烯酸酯的方法等。其中，在具有酸性基的重复单元中加成具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯的方法最容易制造，从低成本的观点考虑而优选。作为具有上述环氧基的(甲基)丙烯酸酯，没有特别限制，例如优选下述结构式(1)表示的化合物及下述结构式(2)表示的化合物。结构式(i)24其中，上述结构式(1)中，W表示氢原子或甲基。！^表示有机基。R2结构式(2)其中，上述结构式(2)中，W表示氢原子或甲基。1^表示有机基。W表示47元环的脂肪族烃基。在上述结构式(1)表示的化合物及结构式(2)表示的化合物中，与结构式(2)相比，更优选结构式(1)表示的化合物。上述结构式(1)及(2)中，更优选i;及l/分别独立地是碳原子数为l4的亚烷基的化合物。作为上述结构式(1)表示的化合物或结构式(2)表示的化合物，没有特别限制，例如可以举出以下的例示化合物(1)(10)。25(其它单体)本发明中的树脂〔A)中，还可以使用其它单体来导入其它基团。作为上述其它单体，没有特别限制，可以列举出例如(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、乙烯基醚、具有二元酸酐基、乙烯基酯基、烃链烯基等的单体等。作为上述乙烯基醚基，没有特别限制，可以列举出例如丁基乙烯基醚基等。作为上述二元酸酐基，没有特别限制，可以列举出例如马来酸酐基、衣康酸酐基等。作为上述乙烯基酯基，没有特别限制，可以列举出例如乙酸乙烯酯基等。作为上述烃链烯基，没有特别限制，可以列举出例如丁二烯基、异戊二烯基等。作为上述树脂(A〕中的其它单体的含有率，组成比优选为140质量%，更优选为230质量％。作为树脂〔A)的具体例子，可以列举出例如用下述结构表示的化合物(例示化合物P-lP-56、Q-1Q-15及Q-39)。另外，例示化合物中的x、y和z表示各个重复单元的组成比(质量比)，优选为在后述的优选范围内构成的形态。此外，各个例示化合物的重均分子量也优选为在后述的优选范围内构成的形态。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage29</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>xc〇〇.槐MC〇〇HO〇HP-18x:y:z=40:25:35CO、乂Xc〇〇1C。XyC〇〇HC〇〇HCO〇H〇P—19Ox:y:z=45:20:35zcooH〇，v、〇〇P—20x:y:z=40:30:30OC〇〇HC〇〇z>^、0〇HP-21x:y:z=45:20:35掉WCOOHCOOHO〇P-22'〇x:y:z=35:25:40GOOHCOOH〇OP-23x:y:z=40:20:403XCOOo,yCOOHcocr丫、oOHP-24x:y:z=44:16:40綠伟WMXcoo〇COOMeCOOHCOO^^^Y^OOHP-25x:l:y:z=46:2:20:32OOHx:l:y:z=45.5:2:19:33.5coo稀cooCOOHzGOOOHP—2x:y:z=48:22:30德OHx:y:z=51.5:18.5:3032<formula>formulaseeoriginaldocumentpage33</formula>COOoCOOHCOO""^Y^QOHP-34x:y:z:37:28:COOHOCOOp-35OHx:y:z=39:26:3534<formula>formulaseeoriginaldocumentpage35</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>Xcooo们coohcocr丫、o〇hP-46x:y:z:St:30:24:38:8錄錄coocoohP-47x:y:z:St:34:24:36:6掉錄H^A6oogoohcoo^y^ooP-48x:y:z:St=40:23:35:2coohx:y:z=32:25:43^hft^ttgoo_coohtooMOx:y:z:St=25:25:40:iO<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage39</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage41</formula>德摊<formula>formulaseeoriginaldocumentpage42</formula>(树脂〔A〕的合成法)树脂〔A)可以由单体的(共)聚合反应的工序和导入烯键式不饱和基的工序这种二阶段工序来合成。首先，(共)聚合反应通过各种单体的(共)聚合反应来进行。(共)聚合反应的材料及方法没有特别限制，可以从公知的材料和方法中适当选择。例如，作为基于活性种分类的聚合方式，可以从自由基聚合、阳离子聚合、阴离子聚合、配位聚合等中适当选择。其中，从合成容易、低成本的观点出发，优选自由基聚合。此外，对于聚合方法，也没有特别限制，可以从公知的方法中适当选择。可以适当选择例如本体聚合法、悬浮聚合法、乳液聚合法、溶液聚合法等。其中，更优选溶液聚合法。(树脂(A)的碳原子数)考虑到弹性系数(硬度)，作为树脂〔A〕的总碳原子数，优选为10以上。其中，总碳原子数更优选为1030，特别优选为1015。(树脂(A〕的分子量)树脂〔A〕的分子量以重均分子量计优选为10，00010万，更优选为12，00060,000，特别优选为15,00045,000。如果重均分子量在上述范围内，则在树脂(优选为共聚物)的制造适应性、显影性方面是优选的。另外，在不易因熔融粘度的下降而引起所形成的形状坍塌的方面、以及在不易成为交联不良的方面、在显影时没有间隔物形状的残渣的方面是优选的。重均分子量用凝胶渗透色谱法(GPC)测定。有关GPC，后述的实施例中详细描述。(树脂(A)的玻璃化转变温度)树脂〔A)的玻璃化转变温度(Tg)优选为40180'C，更优选为4542140°C，特别优选为50130°C。如果玻璃化转变温度(Tg)在上述优选的范围内，则可以得到具有良好的显影性、力学强度的间隔物。(树脂〔A〕的酸值)树脂〔A〕的酸值根据所得到的分子结构的不同，其优选的范围会发生变化，但一般优选为20mgKOH/g以上，更优选为40mgKOH/g以上，特别优选为50130mgKOH/g。如果酸值为上述优选的范围内，则可以得到具有良好的显影性、力学强度的间隔物。从能得到具有良好的显影性、力学强度的间隔物的观点出发，上述树脂〔A)的玻璃化转变温度(Tg)优选为4018(TC，并且重均分子量优选为10，000100,000，更优选Tg为45140°C(进一步优选为50130。C)，并且重均分子量为12,00060,000(进一步优选为15，00045,000)。进而，更优选上述树脂(A〕具有组合上述优选的上述分子量、上述优选的玻璃化转变温度(Tg)以及上述优选的酸值的各个条件。从形成图案结构体(例如滤色器用的间隔物)时的变形回复率、显影残渣、细铍纹(reticulation)的观点出发，本发明中的树脂〔A〕优选是将(1)支化结构、脂环结构和/或特定环状结构、(2)酸性基、(3)与主链之间通过酯基配置的烯键式不饱和键含有在各自不同的重复单元(共聚单元)中的三元共聚以上的共聚物。具体而言，上述树脂〔A)优选为至少具有下述重复单元的三元共聚以上的共聚物具有支化结构、脂环结构和/或特定环状结构的重复单元X(X摩尔％);具有酸性基的重复单元Y(y摩尔％);具有与主链之间通过酯基配置的烯键式不饱和键的重复单元Z(Z摩尔M)。进而，根据需要还可以具有其它重复单元K(k摩尔e/。)。上述共聚物例如可以通过使具有支化结构、脂环结构和/或特定环状结构的单体、具有酸性基的单体、具有与主链之间通过酯基配置的烯键式不饱和键的单体、以及根据需要添加的其它单体发生共聚而得到。本发明的树脂(A)是具有支化结构和/或脂环结构作为重复单元(共聚单元)的共聚物时，从通过体积大的官能团使压縮弹性模量、弹性回复性变得良好的观点出发，树脂(A)优选为下述共聚物该共聚物至少使作为上述具有支化结构和/或脂环结构的单体的上述通式(4)表示的单体共43聚，从而导入了具有支化结构和/或脂环结构的基团。此时，树脂〔A)在主链上具有来自上述通式(4)表示的单体的结构单元。有关上述树脂〔A)为共聚物时的共聚组成比，可以考虑玻璃化转变温度和酸值后确定。虽然不能一概而言，但可以设定为下述范围。树脂〔A)中的具有支化结构、脂环结构和/或特定环状结构的重复单元的组成比(x)优选为1070摩尔％，更优选为1565摩尔％，特别优选为2060摩尔％。如果组成比(x)为上述范围内，则可以得到良好的显影性，并且图像部的显影液耐性也良好。树脂〔A)中的具有酸性基的重复单元的组成比(y)优选为570摩尔％，更优选为1060摩尔％，特别优选为2050摩尔％。如果组成比(y)为上述范围内，则可以得到良好的固化性、显影性。树脂〔A)中的具有"烯键式不饱和键"的重复单元的组成比(z)优选为1070摩尔％，更优选为2070摩尔％，特别优选为3070摩尔％。如果组成比(z)为上述范围内，则颜料分散性优良，并且灵敏度和聚合固化性良好，调液后的液体保存性及在涂布后的干膜状态下长期保存时的经时稳定性良好。进而，作为树脂(A〕，优选下述情况组成比(x)为1070摩尔％(更优选为1565摩尔％，特别优选为2050摩尔％)，组成比(y)为570摩尔％(更优选为1060摩尔％，特别优选为3070摩尔％)，组成比(z)为1070摩尔％(更优选为2070摩尔％，特别优选为3070摩尔%)。另外，树脂〔A)具有"支化结构和/或脂环结构"与"特定环状结构"两者时，"支化结构和/或脂环结构"的组成比(1)优选为1060摩尔％，更优选为1550摩尔％。特别是，树脂〔A)为至少包含具有特定环状结构的重复单元X(x摩尔。zO、具有酸性基的重复单元Y(y摩尔X)、具有与主链之间通过酯基配置的烯键式不饱和键的重复单元Z"摩尔％)、具有支化结构和/或脂环结构的重复单元L(1摩尔％)的共聚物时，具有特定环状结构的重复单元的组成比(x)优选为1070摩尔％，更优选为1065摩尔％;具有酸性基的重复单元的组成比(y)优选为570摩尔％，更优选为1060摩尔％，特别优选为1050摩尔％;具有烯键式不饱和键的重复单元的组成比(z)优选为1070摩尔％，更优选为2070摩尔％，特别优选为3060摩尔％;另外，具有支化结构和/或脂环结构的重复单元的组成比(1)优选为1060摩尔％，更优选为1050摩尔％，特别优选为1550摩尔％。作为上述树脂〔A〕的具体例，可以举出下述结构表示的化合物(例示化合物Q—16Q—38及Q—40)。例示化合物中的x、y、z及1表示各重复单元的组成比(质量比)，优选各组成比在上述优选范围内的形态。另外，各例示化合物的重均分子量也优选在上述优选范围内的形态。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage46</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>COO,xCOO4掉COOHCOOH〇.:x:y:z=28Oo17:20:35Q-26COO1<c〇〇.邱coo.c〇〇.COOHN。,。co。HO'OO:x:y:z=25:15:25:35^^<W掉c〇〇-V〇COOHCOOHO:x:y:O■o=25:15:20:40W掉COOHCOO.OooHO:x:yO=25:15:20:40Q—27Q-28QQ-29MW4S^Whocoocoo、coo^^coo,coooQ-30〇COOH:x:y:z=15:25:20:4048<formula>formulaseeoriginaldocumentpage49</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage50</formula>以上，说明了树脂(A)的优选形态，但作为本发明的感光性树脂组合物的优选形态，可以举出下述形态作为树脂，使用上述树脂(A〕的优选形态，作为特定聚合性化合物，使用上述例示化合物M—1M—7。如上所述构成本发明的感光性树脂组合物时，能更有效地发挥本发明的效果。本发明的感光性树脂组合物含有上述树脂〔A)时，感光性树脂组合物中的含量相对于组合物的总固体成分优选为570质量％,更优选为1050质量％。树脂(A)能与下述其它树脂并用，但本发明的感光性树脂组合物中所含的树脂优选仅由上述树脂〔A)构成。<光聚合引发剂〉本发明的感光性树脂组合物含有至少一种光聚合引发剂。作为本发明中的光聚合引发剂，没有特别限制，可以使用公知的光聚合引发剂。作为公知的光聚合引发剂，可以列举出例如特开2006-23696号公报的段落号或特开2006-64921号公报的段落号中记载的引发剂。作为公知的光聚合引发剂的例子，从灵敏度的观点出发，优选上述以外的氨基乙酰苯系化合物、酰基膦氧化物系化合物、肟酯系化合物。作为氨基乙酰苯系化合物的具体例子，可以列举出IRGACURE(Irg)907(CibaSpecialtyChemicals株式会社制造)等。作为酰基膦氧化物系化合物的具体例子，可以列举出DAROCURTPO、Irgacure(Irg)819(以上为CibaSpecialtyChemicals株式会社制造)等。另外，作为肟酯系化合物的具体例子，可以列举出IRGACURE(Irg)OXE01或CGI242等(以上为CibaSpecialtyChemicals株式会社制造)。以下表示出上述引发剂的结构。〈氨基乙酰苯系化合物〉<formula>formulaseeoriginaldocumentpage51</formula>光聚合引发剂在感光性树脂组合物中的总量相对于感光性树脂组合物的总固体成分优选为0.525质量％，更优选为120质量％。<微粒>从力学强度的观点出发，本发明的感光性树脂组合物优选含有树脂、聚合性化合物、光聚合引发剂的同时还含有至少一种微粒。作为微粒，没有特别限制，可以根据目的适当选择，但优选例如特开2003-302639号公报中记载的体质颜料，其中，从得到具有良好的显影性、力学强度的光间隔物的观点出发，优选为胶体二氧化硅。从在形成光间隔物等容易受到外力的结构时可以得到高力学强度的观点出发，上述微粒的平均粒径优选为550nm，更优选为1040nm，特别优选为1530nm。作为上述微粒在感光性树脂组合物(在形成光间隔物时是光间隔物或构成它的感光性树脂层)中的含量，从得到具有高力学强度的光间隔物的观点出发，相对于感光性树脂组合物中的总固体成分(质量)优选为550质量％，更优选为1040质量％,特别优选为1530质量％。<其它>本发明的感光性树脂组合物中，除了树脂、特定聚合性化合物、光聚合引发剂以及根据需要含有的微粒以外，还可以根据需要含有光聚合引发助剂等其它成分。感光性树脂组合物还可以并用光聚合引发助剂作为其它添加成分。光聚合引发助剂是用于促进被光聚合引发剂引发了聚合的聚合性化合物的聚合，可以与光聚合引发剂组合使用。作为光聚合引发助剂，优选使用胺系化合物的至少一种。作为上述胺系化合物，可以列举出例如三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、N，N-二甲基对甲苯胺、4，4'-双(二甲基氨基)二苯甲酮(俗称米蚩酮)、4，4'-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4，4'-双(乙基甲基氨基)二苯甲酮等，其中，优选4，4'-双(二乙基氨基)二苯甲酮。此外，也可以组合使用多种胺系或其它光聚合引发助剂。作为上述以外的其它光聚合引发助剂，可以列举出例如烷氧基蒽系化合物、噻吨酮系化合物、香豆素系化合物等。作为上述烷氧基蒽系化合物，可以列举出例如9，10-二甲氧基蒽、2-乙基-9，10-二甲氧基蒽、9，10-二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽等。作为上述噻吨酮系化合物，可以列举出例如2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2，4-二氯噻吨酮、l-氯-4-丙氧基噻吨酮等。另外，作为光聚合引发助剂，也可以使用市售品。作为市售的光聚合引发助剂，可以列举出例如商品名"EAB-F，(保土谷化学工业株式会社制造)等。作为光聚合引发助剂在感光性树脂组合物中的含量，相对于1质量份上述的光聚合引发剂，优选为0.6质量份20质量份，更优选为1质量份15质量份，尤其优选1.5质量份15质量份。此外，作为其它成分，可以从构成公知的组合物的成分中选择使用，可以列举出例如特开2006-23696号公报的段落号或特开2006-64921号公报的段落号中记载的成分。本发明的感光性树脂组合物除了可以适合用于形成后述的光间隔物、着色图案、保护膜以外，还可以适合用于形成隔离壁(例如黑色矩阵等)、取向控制用突起等其它的图案结构体或被膜。《光间隔物及其形成方法》本发明的光间隔物是使用上述本发明的感光性树脂组合物形成的。对于感光性树脂组合物的详细情况及其优选形态，如上所述。由于本发明的光间隔物是使用本发明的感光性树脂组合物构成的，所以截面形状的均匀性和高度的均匀性优异(即截面形状的不均或高度的不均)。进而，本发明的感光性树脂组合物含有树脂〔A)时，可以得到具有作为光间隔物所必需的高压縮弹性模量、变形回复性的光间隔物。本发明中，作为光间隔物等图案结构体"截面形状均匀性优异"的状态，优选为在基板内的多个部位(优选为3个部位以上)中、图案结构体的截面形状成为近似于矩形的形状的状态。作为上述近似于矩形的形状，更优选为以下形状在图案结构体的截53面上，相当于图案结构体侧面的线与相当于图案结构体下表面的线所成的角度(以下也称作"锥角度")为40°100°。这里，上述图案结构体的下表面是指在图案结构体的表面中与形成了该图案结构体的基底接触的接触面。另外，上述图案结构体的侧面是指，在图案结构体的表面中，既不是上述图案结构体的下表面也不是图案结构体的上表面(与上述图案结构体下表面平行的面，并且是与上述基底不接触的面)的表面。只要是使用了本发明的感光性树脂组合物的方法，就可以用任何方法形成本发明的光间隔物，但是通过使用包括以下工序(1)(3)的方法(本发明的光间隔物的形成方法)可以最适宜地形成。本发明的光间隔物的形成方法设置了以下工序来构成(1)在基板上形成上述本发明的感光性树脂组合物的被膜的工序(以下也称作"被膜形成工序")；(2)将所述被膜的至少一部分曝光的工序(以下也称作"曝光工序")；(3)将曝光后的所述被膜显影的工序(以下也称作"显影工序")，根据需要还可以设置(4)将显影后的所述被膜加热的工序(以下也称作"被膜加热工序")以及其它工序。(1)被膜形成工序被膜形成工序是在基板上形成上述本发明的感光性树脂组合物的被膜。可以形成感光性树脂层作为被膜，该感光性树脂层经过后述的曝光工序及显影工序等其它工序便构成能均匀地保持单元厚度的光间隔物。通过使用本发明的光间隔物，可以有效消除特别是容易因单元厚度变动而产生显示不均的显示装置(特别是液晶显示装置)中的图像中的显示不均。作为在基板上形成感光性树脂层的方法，可以优选列举出(a)对至少含有上述树脂、聚合性化合物以及光聚合引发剂的感光性树脂组合物进行涂布的涂布法；以及(b)使用具有上述感光性树脂层的感光性转印材料，通过加热和/或加压将感光性树脂层进行层压、转印的转印法。(a)涂布法感光性组合物的涂布可以使用公知的涂布法例如旋涂法、幕式淋涂法、狭缝涂布法、浸渍涂布法、气刀涂布法、辊涂法、绕线棒涂布法、凹版涂布法或美国专利第2681294号说明书中记载的使用料斗的挤出涂布法等来进行。其中，特开2004-89851号公报、特开2004-17043号公报、特开2003-170098号公报、特开2003-164787号公报、特开2003-10767号公报、特开2002-79163号公报、特开2001-310147号公报等中记载的利用狭缝喷嘴或狭缝涂布器的方法是优选的。(b)转印法转印是使用感光性转印材料，将在临时支撑体上形成为膜状的感光性树脂层使用例如加热和/或加压后的辊或平板通过压粘或加热压粘与所期望的基板面粘贴后，通过剥离临时支撑体从而将感光性树脂层转印到基板上。具体地可以列举出特开平7-110575号公报、特开平11-77942号公报、特开2000-334836号公报、特开2002-148794号公报中记载的层压物以及层压方法，从异物少的观点出发，优选使用特开平7-110575号公报中记载的方法。形成感光性树脂层时，可以在感光性树脂层和临时支撑体之间进一步设置氧隔断层(以下也称作"氧隔断膜"或"中间层")。由此可以提高曝光灵敏度。此外，为了提高转印性，还可以设置具有缓冲性的热塑性树脂层。有关构成感光性转印材料的临时支撑体、氧隔断层、热塑性树脂层、其它层以及该感光性转印材料的制作方法，可以适用特开2006-23696号公报的段落号中记载的构成、制作方法。在通过(a)涂布法和(b)转印法形成感光性树脂层时，均优选其层厚为0.510.0|im，更优选为16pm。如果层厚为上述范围，则可防止制造中涂布形成时的针孔的发生，不需花费长时间就能进行未曝光部的显影除去。作为形成感光性树脂层的基板，可以列举出例如透明基板(例如玻璃基板或塑料基板)、带有透明导电膜(例如ITO膜)的基板、带有滤色器的基板(也称作滤色器基板)、带有驱动元件(例如薄膜晶体管(TFT))的驱动基板等。作为基板的厚度，一般优选为700120(^m。(2)曝光工序和(3)显影工序在曝光工序中，将在上述被膜形成工序中形成的被膜的至少一部分曝光，形成潜像。在其后的显影工序中，将在上述曝光工序中曝光的被膜显影，可以形成所期望形状的间隔物图案。55作为上述工序的具体例子，可以列举出特开2006-64921号公报的段落号中记载的形成例、特开2006-23696号公报的段落号中记载的工序等作为本发明中优选的例子。本发明的光间隔物的形成方法可以设置下述(4)被膜加热工序，但通过使上述曝光的曝光量增加等，可以不设置被膜加热工序(以下也称作"无加热工序")形成具有优异的截面形状均匀性及优异的高度均匀性的光间隔物。通过设定为"无加热工序"，能更有效地抑制将要形成的光间隔物的劣化、或已经形成的图案结构体(着色图案等)或保护膜的劣化。作为设定为"无加热工序"时的曝光量，优选为l500mJ/cm2，更优选为10300mJ/cm2。(4)被膜加热工序本发明的光间隔物的形成方法也可以设置将上述显影工序的显影后的被膜加热的被膜加热工序。通过加热，进一步促进被膜的固化，能得到具有高強度的光间隔物。另外，感光性树脂组合物含有上述树脂(A〕时，能得到压缩弹性模量、弹性回复性良好的光间隔物。这里，加热的最高温度根据加热时间而不同，但优选为4(TC145'C，更优选为40。C140'C，特别优选为8(TC14(TC。最高温度为40'C145'C的范围内时，能更有效地抑制将要形成的光间隔物的劣化、或已经形成的图案结构体(着色图案等)或保护膜的劣化。其中，更优选加热的最高温度为8(TC14(rC、加热时间为0.1小时3.0小时(进一步优选为0.2小时1小时)。如上所述地可以制作在基板上具备光间隔物的显示装置用基板。光间隔物优选形成在形成于基板上的黑色矩阵等黑色遮光部的上或TFT等驱动元件上。另外，在黑色矩阵等黑色遮光部或TFT等驱动元件与光间隔物之间也可以存在ITO等透明导电层(透明电极)或聚酰亚胺等取向膜。例如，当光间隔物设置在黑色遮光部或驱动元件上时，可以通过如下方法来制作显示装置用基板覆盖预先配设在该基板上的黑色遮光部(黑色矩阵等)或驱动元件，例如将感光性转印材料的感光性树脂层层压在支撑体面上，剥离转印而形成感光性树脂层后，对其实施曝光、显影、加热处理等以形成光间隔物。在上述显示装置用基板上还可以根据需要进一步设置红色(R)、蓝色(B)、绿色(G)三色等的着色像素。本发明的光间隔物可以在形成含有黑色矩阵等黑色遮蔽部以及着色像素等着色部的滤色器之后形成。上述黑色遮蔽部以及着色部和光间隔物可以通过将涂布法和转印法任意组合来形成，其中所述涂布法是涂布感光性树脂组合物的方法，所述转印法中使用具有由感光性树脂组合物形成的感光性树脂层的转印材料。上述黑色遮蔽部以及着色部和上述光间隔物可以分别由感光性树脂组合物形成，具体而言，例如在基板上直接涂布液体的上述感光性树脂组合物以形成感光性树脂层后，进行曝光和显影，将上述黑色遮蔽部和着色部形成为图案状，然后在与上述基板不同的另外的基板(临时支撑体)上设置另外的液体的上述感光性树脂组合物以形成感光性树脂层，由此制作得到转印材料，使用该转印材料，使该转印材料与形成有上述黑色遮蔽部和着色部的上述基板粘附从而转印感光性树脂层，然后进行曝光和显影，由此可以将光间隔物形成为图案状。如上所述可以制作设置有光间隔物的滤色器。《保护膜》本发明的保护膜是使用上述本发明的感光性树脂组合物而形成的。由于本发明的保护膜使用本发明的感光性树脂组合物来构成，所以即使在低加热温度或无加热处理下来形成的情况下膜厚均匀性也优良。只要是使用了本发明的感光性树脂组合物的方法，就可以用任意方法来形成本发明的保护膜，可以用与上述的本发明的光间隔物的形成方法相同的方法来形成。这里，当不对保护膜实施图案化时，即、将保护膜作为所谓整面膜来形成时，在上述(2)曝光工序中，优选将被膜进行整面曝光的方法。《着色图案》本发明的着色图案是使用上述本发明的感光性树脂组合物而形成的。这里，感光性树脂组合物优选为除含有上述各成分以外还迸一步含有至少一种着色剂的形态。作为上述着色剂，没有特别限制，可以从公知的着色剂中适当选择。作为公知的着色剂，具体地可以列举出特开2005-17716号公报中记载的颜料及染料、特开2004-361447号公报中记载的颜料、特开2005-17521号公报中记载的着色剂等。由于本发明的着色图案使用本发明的感光性树脂组合物来构成，所以即使在低加热温度或无加热处理下来形成的情况下，截面形状的均匀性及膜厚均匀性也优良。另外，当本发明的着色图案用作具有多种颜色的着色图案的滤色器的一个要素时，只要至少一种颜色的着色图案使用本发明的感光性树脂组合物来形成即可。只要是使用了本发明的感光性树脂组合物的方法，就可以用任意方法来形成本发明的着色图案，例如，可以用与上述本发明的光间隔物的形成方法相同的方法来形成。《显示装置用基板》本发明的显示装置用基板具备本发明的光间隔物、本发明的保护膜以及本发明的着色图案中的至少一种来构成。本发明的显示装置用基板由于具备使用本发明的感光性树脂组合物而形成的、截面形状和膜厚(高度)均匀性良好的结构体(本发明的光间隔物、本发明的保护膜以及本发明的着色图案中的至少一种，以下简单记载为"结构体"的用语含义相同)，所以用于显示装置中时可以抑制显示不均。这里所谓显示装置用基板，是指用于构成显示装置的一对支撑体中的至少一个。作为显示装置用基板的具体例子，根据显示元件或显示装置的构成的不同而不同，可以列举出例如具备着色图案(以下也称作"着色像素")的滤色器基板、具备驱动手段的带驱动手段基板(例如，单纯矩阵基板、有源矩阵基板等)、具备隔离壁的带隔离壁基板(例如，具备黑色矩阵的带黑色矩阵基板等)、具备着色图案和驱动手段这两者的滤色器阵列(colorfilteronarray)基板、未设置图案结构体或被膜的玻璃基板等。上述滤色器基板的上述着色图案组(着色像素组)可以由彼此呈现不同颜色的二色的像素构成，也可以由三色的像素、四色以上的像素构成。58例如在三色的情况下，由红(R)、绿(G)和蓝(B)这三种色调构成。在配置RGB三色的像素组的情况下，优选嵌镶(mosaic)型、三角形型等的配置，在配置四色以上的像素组的情况下，什么样的配置都可以。滤色器基板的制作例如可以在形成了二色以上的像素组后如上所述地形成黑色矩阵，也可以反过来在形成黑色矩阵后形成像素组。有关RGB像素的形成，可以参考特开2004-347831号公报等。《显示元件》使用本发明的显示装置用基板可以形成显示元件。作为显示元件的一种，可以列举出在至少一个是光透射性的一对支撑体(包括显示装置用基板)之间至少具备液晶层和液晶驱动手段(包括单纯矩阵驱动方式以及有源矩阵驱动方式)的液晶显示元件。在该液晶显示元件的情况下，显示装置用基板可以作为具有多个RGB像素组、构成该像素组的各个像素彼此被黑色矩阵划分的滤色器基板来使用。在该滤色器基板上，由于设置有截面形状和膜厚(高度)均匀性良好的结构体，所以具备该滤色器基板的液晶显示元件能够有效防止由于滤色器基板和对置基板之间的单元间隙(单元厚度)变动而引起的液晶材料分布不均匀、低温发泡等造成的色斑等显示不均的发生。由此，所制作的液晶显示元件能够显示出鲜明的图像。另外，作为液晶显示元件的更详细的形态，可以列举出如下构成的形态在至少一个是光透射性的一对支撑体(包括液晶显示装置用基板)之间至少具备液晶层和液晶驱动手段，上述液晶驱动手段具有有源元件(例如TFT)，并且通过光间隔物将一对基板之间限制为规定宽度。《显示装置》本发明的显示装置具备上述显示装置用基板。本发明的显示装置由于具备设置有截面形状和膜厚(高度)均匀性良好的结构体的本发明的显示装置用基板，所以可以抑制显示不均。作为显示装置，可以列举出液晶显示装置、等离子体显示装置、EL显示装置、CRT显示装置等显示装置等。有关显示装置的定义和各显示装置的说明，记载在例如"电子显示设备(佐々木昭夫著、株式会社工业调査会19卯年发行)"、"显示设备(伊吹顺章著、产业图书株式会社1989年发59行)"等中。在显示装置中，优选为液晶显示装置。液晶显示装置例如如下构成用光间隔物将彼此对向地配置的一对基板之间限制为规定宽度，在限制的间隙中封入液晶材料(将封入部位称为液晶层)。液晶层的厚度(单元厚度)被保持为所期望的均匀厚度。作为液晶显示装置的液晶显示模式，可以优选列举出STN型、TN型、GH型、ECB型、铁电液晶、反铁电液晶、VA型、IPS型、OCB型、ASM型、其它各种模式。其中，在本发明的液晶显示装置中，从最有效地发挥本发明的效果的观点出发，优选为容易因液晶单元的单元厚度变动而引起显示不均的显示模式，优选构成为元件厚度为24nm的VA型显示模式、IPS型显示模式、OCB型显示模式。此外，作为本发明中可使用的液晶，可以列举出向列型液晶、胆甾醇型液晶、近晶型液晶、铁电液晶。作为液晶显示装置的基本构成形态，可以列举出如下构成的形态等(a)将由薄膜晶体管(TFT)等驱动元件和像素电极(导电层)排列形成的驱动侧基板与具备对置电极(导电层)的对置基板夹着光间隔物而相对地配置，在其间隙部中封入液晶材料；(b)将驱动基板与具备对置电极(导电层)的对置基板夹着光间隔物而相对地配置，在其间隙部中封入液晶材料。本发明的液晶显示装置可以适合用于各种液晶显示设备。有关液晶显示装置，在例如"下一代液晶显示技术(内田龙男编集、侧工业调査会、1994年发行)"中有记载。对于本发明的液晶显示装置，除了具备本发明的液晶显示元件以外，没有特别限制，可以构成为例如上述"下一代液晶显示技术"中记载的各种方式的液晶显示装置。其中特别是对于构成彩色TFT方式的液晶显示装置有效。有关彩色TFT方式的液晶显示装置，在例如"彩色TFT液晶显示(共立出版株式会社、1996年发行)"中有记载。液晶显示装置除了具备上述光间隔物、着色图案、保护膜、液晶显示装置用基板、液晶显示元件以外，一般还可以使用电极基板、偏振薄膜、相位差薄膜、背光、光间隔物、视野角补偿薄膜、防反射薄膜、光扩散薄膜、防眩薄膜等各种构件来构成。有关这些构件，记载在例如"'94液晶显示周边材料.化学品的市场(岛健太郎、株式会社CMC、1994年发行)"、60"2003液晶关联市场的现状和将来展望(下巻)(表良吉、株式会社富士年^，总研、2003年发行)"中。实施例以下，通过实施例更具体地说明本发明，但只要不超出其主旨，本发明就不限于以下的实施例。另外，只要没有特别指出，贝lj"份"是以质量为基准。另外，重均分子量是使用凝胶渗透色谱法(GPC)测定的。GPC中，使用HLC-8020GPC(TOSOH株式会社制造)，作为柱子，使用3根TSKgel、SuperMultiporeHZ-H(TOSOH株式会社制造、4.6mmlDxl5cm)，使用THF(四氢呋喃)作为洗脱液。此外，作为条件，试样浓度设定为0.35质量％，流速设定为0.35ml/min，试样注入量设定为10^1，测定温度设定为4(TC，使用IR检测器进行测定。此外，校正曲线由TOSOH株式会社制造的"标准试样TSK标准，聚苯乙烯""F-40"、"F-20"、"F-4"、"F-1"、"A-5000"、"A-2500"、"A-1000"、"正丙基苯"这8个试样来制作。<树脂〔A〕的合成〉首先，作为感光性树脂组合物中的树脂，进行树脂〔A)(例示化合物P—52、P—53、P—54、P—46、P—48、P—3)的合成。(例示化合物P—52的合成)在反应容器中预先加入l-甲氧基-2-丙醇(MFG、日本乳化剂株式会社帝ij造)7.48份，升温至9(TC，在氮气气氛下用2小时向9(TC的反应容器中滴加由苯乙烯(St)3.1份、甲基丙烯酸三环戊烯酯(日立化成工业株式会社制造的TCPD-M;x)4.28份、甲基丙烯酸(MAA;y)11.7份、偶氮系聚合引发剂(和光纯药株式会社制造、V-601)2.08份以及l-甲氧基-2-丙醇55.2份构成的混合溶液。滴加后，使其反应4小时，得到丙烯酸树脂溶液。接着，在上述丙烯酸树脂溶液中加入氢醌单甲基醚0.15份以及四乙基溴化铵0.34份，然后用2小时滴加甲基丙烯酸縮水甘油酯(GLM，东京化成工业株式会社制造)26.4份(GLM-MAA;z)。滴加后，一边注入空气一边在90。C使其反应4小时，然后通过添加溶剂乙酸l-甲氧基-2-丙酯(MMPGAc、DAICEL化学工业株式会社制造)来进行调制，使得固体成61分浓度达到45%，得到在具有不饱和基的下述例示化合物P—51中加入了来自苯乙烯的结构单元而成的例示化合物P_52(树脂(A))的树脂溶液(固体成分酸值76.0mgKOH/g、Mw:25000、l-甲氧基-2-丙醇/乙酸1-甲氧基-2-丙酯的45。/。溶液)(x:y:z:St=30mol%:27mol%:37mol%:6mol%)。这里，GLM-MAA表示在甲基丙烯酸上结合了甲基丙烯酸縮水甘油酯而得到的物质(以下相同)。另外，例示化合物P-52的分子量Mw表示重均分子量，重均分子量的测定是使用凝胶渗透色谱法(GPC法)来进行的(以下相同)。(例示化合物P—53的合成)除了在上述例示化合物P—52的合成中不使用苯乙烯、将甲基丙烯酸三环戊烯酯替换为丙烯酸二环戊烯基氧化乙酯(日立化成工业株式会社制造的FANCRYLFA—512A)，变更FA—512A(x)、甲基丙烯酸(y)、GLM—MAA(z)的添加量，使得例示化合物P—53中的x:y:z为46.2molX:24.3mol%:29.5rnol^以外，用与上述例示化合物P—52的合成相同的方法来合成，得到具有不饱和基的例示化合物P—53(树脂〔A〕)的树脂溶液(固体成分酸值71.2mgKOH/g、Mw:25,500、1一甲氧基一2—丙醇/乙酸l一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。(例示化合物P—54的合成)除了在例示化合物P—52的合成中将甲基丙烯酸三环戊烯酯替换为丙烯酸二环戊烯酯(日立化成工业株式会社制造的FANCRYLFA—511A)，变更FA—511A(x)、甲基丙烯酸(y)、GLM—MAA(z)、苯乙烯(St)的添加量，使得例示化合物P—54中的x:y:z:St为25mol^:25mol%:40mol%:10mol5^以外，用与上述例示化合物P—52的合成相同的方法来合成，得到具有不饱和基的例示化合物P—54(树脂(A))的树脂溶液(固体成分酸值78.7mgKOH/g、Mw:28,000、1—甲氧基一2—丙醇/乙酸l一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。(例示化合物P—46的合成)除在上述例示化合物P—52的合成中，将甲基丙烯酸三环戊烯酯替换为ADMA(出光兴产株式会社制造)，变更ADMA(x)、甲基丙烯酸(y)、GLM一MAA(z)及苯乙烯的添加量，使得化合物P—1中加入了来自苯乙烯的结构单元后的组成x:y:z:St为30mol^:24mol%:38mol%:8mol^以夕卜，用与上述例示化合物P—52的合成相同的方法来合成，得到在具有不饱和基的例示化合物P—1中加入了来自苯乙烯的结构单元而成的例示化合物P—46(树脂〔A〕)的树脂溶液(固体成分酸值:74.1mgKOH/g、Mw:29,000、l一甲氧基一2—丙醇/乙酸1一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。(例示化合物P—48的合成)除在上述例示化合物P—52的合成中，将甲基丙烯酸三环戊烯酯替换为甲基丙烯酸降冰片酯，变更甲基丙烯酸降冰片酯(x)、甲基丙烯酸(y)、GLM—MAA(z)及苯乙烯的添加量，使得在化合物P—2中加入来自苯乙烯的结构单元的组成x:y:z:St为40mol^:23mol%:35mol%:2mol%以外，用与例示化合物P—52的合成相同的方法来合成，得到在具有不饱和基的化合物P—2中加入了来自苯乙烯的结构单元而成的例示化合物P—48(树脂(A))的树脂溶液(固体成分酸值67.7m沐OH/g、Mw:12,000、1一甲氧基一2—丙醇/乙酸1一甲氧基一2—丙酯的45^溶液)。(例示化合物P—3的合成)除在上述例示化合物P—52的合成中，不使用苯乙烯，将甲基丙烯酸三环戊烯酯替换为甲基丙烯酸环己酯，变更甲基丙烯酸环己酯(x)、甲基丙烯酸(y)、GLM—MAA(z)的添加量，使得例示化合物P—3中的x:y:z为45mol^:20mol%:35mol^以外，用与上述例示化合物P—52的合成相同的方法来合成，得到具有不饱和基的例示化合物P—3(树脂(A〕)的树脂溶液(固体成分酸值74.0mgKOH/g、Mw:30,700、l一甲氧基一2—丙醇/乙酸1一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。(例示化合物Q—1的合成)预先在反应容器中加入1一甲氧基—2—丙醇(MFG、日本乳化剂株式会社制造)7.48份，升温至90'C，在氮气气氛下，用2小时在9(TC的反应容器中滴加由作为用于在树脂的侧链中导入特定环状结构的单体的上述化合物M—1(x)4.28份、甲基丙烯酸(MAA;y)11.7份、偶氮系聚合引发剂(和光纯药株式会社制造、V—601)2.08份及1一甲氧基一2—丙醇55.2份形成的混合溶液。滴加后，使其反应4小时，得到丙烯酸树脂溶液。接着，在上述丙烯酸树脂溶液中加入氢醌单甲基醚0.15份以及四乙基溴化铵0.34份，然后用2小时滴加甲基丙烯酸縮水甘油酯(GLM，东京化成工业株式会社制造)26.4份(GLM-MAA;z)。滴加后，一边注入空气一边在90'C使其反应4小时，然后通过添加溶剂乙酸l-甲氧基-2-丙酯(MMPGAc、DAICEL化学工业株式会社制造)来进行调制，使得固体成分浓度达到45%，得到例示化合物Q—l(树脂〔A))的树脂溶液(固体成分酸值76.0mgKOH/g、Mw:28,000、l-甲氧基-2-丙醇/乙酸1-甲氧基-2-丙酯的45%溶液)(x:y:z=41mol%:24mol%:35mol%)。这里，GLM-MAA表示在甲基丙烯酸上结合了甲基丙烯酸縮水甘油酯而得到的物质(以下相同)。另外，例示化合物Q—1的分子量Mw表示重均分子量，重均分子量的测定是使用凝胶渗透色谱法(GPC法)来进行的(以下相同)。(例示化合物Q—2的合成)除在上述例示化合物Q—1的合成中，将上述化合物M—1替换为上述化合物M—2以外，与上述例示化合物Q—1的合成相同，得到例示化合物P—2(树脂〔A〕)的树脂溶液(固体成分酸值74.0m沐OH/g、Mw:31，000、l一甲氧基一2—丙醇/乙酸l一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。其中，化合物M—2、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸縮水甘油酯的添加量为使例示化合物P—2的共聚比x:y:z为48摩尔X:22摩尔％:30摩尔％的量。(例示化合物Q—3的合成)除在上述例示化合物Q—1的合成中，将上述化合物M—1替换为上述化合物M—3以外，与上述例示化合物Q—1的合成相同，得到例示化合物Q—3(树脂(A))的树脂溶液(固体成分酸值73.0mgKOH/g、Mw:28,000、1—甲氧基一2—丙醇/乙酸1一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。其中，化合物M—3、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸縮水甘油酯的添加量为使例示化合物Q—3的共聚比x:y:z为45摩尔X:20摩尔％:35摩尔％的量。(例示化合物Q—4的合成)除在上述例示化合物Q—1的合成中，将上述化合物M—l替换为上述化合物M—4以外，与上述例示化合物Q—1的合成相同，得到例示化合物Q—4(树脂(A〕)的树脂溶液(固体成分酸值76.5mgKOH/g、Mw:25,500、l一甲氧基一2—丙醇/乙酸l一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。64其中，化合物M—4、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸縮水甘油酯的添加量为使例示化合物Q—4的共聚比x:y:z为40摩尔X:25摩尔％:35摩尔％的量。(例示化合物Q—5的合成)除在上述例示化合物Q—l的合成中，将上述化合物M—l替换为上述化合物M—5以外，与上述例示化合物Q—1的合成相同，得到例示化合物Q—5(树脂〔A〕)的树脂溶液(固体成分酸值:77.0mgKOH/g、Mw:29,000、l一甲氧基一2—丙醇/乙酸1一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。其中，化合物M—5、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸縮水甘油酯的添加量为使例示化合物Q—5的共聚比x:y:z为42摩尔X:26摩尔％.*32摩尔％的量。(例示化合物Q—6的合成)除在上述例示化合物Q—1的合成中，将上述化合物M—1替换为上述化合物M—6以外，与上述例示化合物Q—1的合成相同，得到例示化合物Q—6(树脂(A〕)的树脂溶液(固体成分酸值:76.0mgKOH/g、Mw:27,800、1一甲氧基一2—丙醇/乙酸1一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。其中，化合物M—6、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸缩水甘油酯的添加量为使例示化合物Q—6的共聚比x:y:z为41摩尔X:24摩尔％:35摩尔％的量。(例示化合物Q—7的合成)除在上述例示化合物Q—1的合成中，将上述化合物M—l替换为上述化合物M—7以外，与上述例示化合物Q—1的合成相同，得到例示化合物Q—7(树脂〔A))的树脂溶液(固体成分酸值:76.0mgKOH/g、Mw:25,800、l一甲氧基一2—丙醇/乙酸1一甲氧基一2_丙酯的45%溶液)。其中，化合物M—7、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸縮水甘油酯的添加量为使例示化合物Q—7的共聚比x:y:z为48摩尔X:22摩尔％:30摩尔％的量。(例示化合物Q—36的合成)除在上述例示化合物Q—1的合成中，将上述化合物M—1(x)替换为上述化合物M—3(x)，在添加上述化合物M—3(x)及上述甲基丙烯酸(MAA;y)的阶段中，进一步添加甲基丙烯酸二环戊烯基氧化乙酯(日立化成工业株式会社制造的FANCRYLFA—512M;1)以外，与上述例示化合物Q—1的合成相同，得到例示化合物Q—36(树脂〔A〕)的树脂溶液(固体成分酸值76.0mgKOH/g、Mw:28,800、l一甲氧基一2—丙醇/乙酸l65_甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。其中，FA—512M、化合物M—3、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸縮水甘油酯的添加量为使例示化合物Q—36的共聚比1:x:y:z为23.2摩尔X:23摩尔％:24.3摩尔％:29.5摩尔％的量。(例示化合物Q—37的合成)除在上述例示化合物Q—1的合成中，将上述化合物M—1(x)变更为上述化合物M—3(x)，在添加上述化合物M—3(x)及上述甲基丙烯酸(MAA;y)的阶段中进一步添加甲基丙烯酸异丙酯(i一PrMAA;1)以夕卜，与上述例示化合物Q—1的合成相同，得到例示化合物Q—37(树脂〔A〕)的树脂溶液(固体成分酸值79.0mgKOH/g、Mw:23,900、l一甲氧基一2—丙醇/乙酸l一甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。其中，i一PrMAA、化合物M—3、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸縮水甘油酯的添加量为使例示化合物Q—37的共聚比1:X:y:Z为25摩尔X:15摩尔％:30摩尔％:30摩尔％的量。(例示化合物Q—31的合成)除在上述例示化合物Q—1的合成中，在添加上述化合物M—1(x)及上述甲基丙烯酸(MAA;y)的阶段中进一步添加甲基丙烯酸二环戊酯(日立化成工业株式会社制造的FA—513M;1)以外，与上述例示化合物P—1的合成相同，得到例示化合物Q—31(树脂〔A))的树脂溶液(固体成分酸值76.0mgKOH/g、Mw:25,500、1—甲氧基一2—丙醇/乙酸1—甲氧基一2—丙酯的45%溶液)。其中，FA—513M、化合物M—1、甲基丙烯酸及甲基丙烯酸縮水甘油酯的添加量为使例示化合物Q—31的共聚比1:X:y:2为35摩尔％:15摩尔%:24摩尔％:26摩尔％的量。<滤色器基板的制作>用特开2005-3861号公报的段落号中记载的方法制作具有黑色矩阵、R(红色)像素、G(绿色)像素、B(蓝色)像素的滤色器(以下将其称作滤色器基板)。这里，滤色器基板的基板尺寸是66550mmx650mm。接着，在得到的滤色器基板的R像素、G像素、B像素以及黑色矩阵上通过溅射进一步形成ITO(氧化铟锡)的透明电极。<光间隔物的形成>在上述制作的通过溅射形成了ITO透明电极的滤色器基板的ITO透明电极上，使用旋涂器将由下述表1所示配方(实施例1中是配方1)构成的感光性树脂层用涂布液进行狭缝涂布。接着，使用真空干燥机VCD(东京应化公司制造)在30秒钟内使溶剂的一部分干燥，使涂布膜失去流动性后，在90'C的热板上预烘烤3分钟，形成膜厚为5.2pm的感光性树脂层(被膜形成工序)。然后，使用具有超高压水银灯的接近型曝光机(日立八^X夕電子工y、^二7]Jy夕、'株式会社制造)，在使掩模(具有直径为15pm的圆形图案的石英曝光掩模)和以使得该掩模和感光性树脂层相对的方式配置的滤色器基板大致平行地垂直竖立的状态下，将掩模面和感光性树脂层的表面之间的距离设定为100pm，隔着该掩模照射紫外线，所述紫外线是在365nm以250W/it^的强度透过紫外透射过滤器(UV-35、东芝玻璃株式会社制造)的紫外线(曝光工序、曝光量为200mJ/cm2)。接着，使用碳酸钠系显影液(含有0.38摩尔/升的碳酸氢钠、0.47摩尔/升的碳酸钠、5%的二丁基萘磺酸钠、阴离子表面活性剂、消泡剂以及稳定剂，将商品名为T-CD1(富士胶片株式会社制造)的产品用纯水稀释至IO倍而得到的溶液)，在29'C、圆锥形喷嘴压力为0.15MPa的条件下进行淋洗显影30秒钟，形成图案像(显影工序)。然后，使用洗涤剂(含有磷酸盐、硅酸盐、非离子表面活性剂、消泡剂、稳定剂，将商品名为T-SD3(富士胶片株式会社制造)用纯水稀释至10倍而得到的溶液)，在33'C、圆锥形喷嘴压力为0.02MPa的条件下用淋浴来喷洒20秒钟，除去所形成的图案像周边的残渣，以在300pmx300^im上间隔1根间隔物的方式形成圆柱状的间隔物图案。然后，将设置了间隔物图案的滤色器基板在13(TC下加热处理60分钟(加热工序)，由此在滤色器基板上制作光间隔物。这里，对于1000个所得到的光间隔物，使用三维表面结构分析显微镜67(制造商ZYGO公司、型号NewView5022)测定从ITO透明电极上表面(平行于基板的2个面中，远离基板侧的面)至光间隔物的最高的位置为止的距离(以下，也将该距离称为"光间隔物的高度")，将对于iooo个光间隔物测定的平均值作为光间隔物的平均高度。此外，所得到的光间隔物的底面积的测量利用SEM照片进行。其结果是直径为15.1pm，平均高度为4.7pm的圆柱形状。<table>tableseeoriginaldocumentpage69</column></row><table>[表l]续<table>tableseeoriginaldocumentpage70</column></row><table><液晶显示装置的制作>另外，准备玻璃基板作为对置基板，在上述得到的滤色器基板的透明电极上以及对置基板上分别实施PVA模式用的布图，在其上进一步设置由聚酰亚胺构成的取向膜。然后，在相当于以包围滤色器的像素组的方式设置于周围的黑色矩阵外框的位置上，通过分配器方式涂布紫外线固化树脂的密封剂，滴加PVA模式用液晶，与对置基板粘贴后，对粘贴的基板进行uv照射，然后热处理使密封剂固化。在这样得到的液晶单元的两面上粘贴廿y!i:y，株式会社制的偏振片HLC2-2518。接着，使用FR1112H(Stanleyelectric株式会社制造的芯片型LED)作为红色(R)LED、DG1112H(Stanleyelectric株式会社制造的芯片型LED)作为绿色(G)LED、DB1112H(Stanleyelectric株式会社制造的芯片型LED)作为蓝色(B)LED来构成侧灯方式的背光，配置于上述设置有偏振片的液晶单元的背面一侧，制成液晶显示装置。<评价>对于所得到的光间隔物、液晶显示装置，进行下述评价。测定评价的结果示于下述表2中。(光间隔物的截面形状)用扫描型电子显微镜观察在上述<光间隔物的形成〉中得到的加热处理后的光间隔物的截面形状。对基板周边部4处(4个角)及基板中央部l处的共计5处进行观察。并且，根据下述基准评价光间隔物的截面形状。评价基准A:5处全部形成具有锥角度为45。90。的截面形状的光间隔物。B:虽然5处全部形成具有锥角度为45。95。的截面形状的光间隔物，但不符合上述A。C:虽然5处全部形成具有锥角度为40。100。的截面形状的光间隔物，但不符合上述A及B中的任一种。D:5处中的14处形成锥角度偏离40。100。的范围的光间隔物。E:5处全部形成锥角度偏离40°100°的范围的光间隔物。(光间隔物的高度均匀性)从上述<光间隔物的形成>中测定的1000个光间隔物的高度的结果，计算最大值和最小值之差，根据下述基准进行评价。差越小，均匀性越优异。评价基准A-光间隔物的高度的最大值和最小值之差小于0.2jLim。B:光间隔物的高度的最大值和最小值之差为0.2Hm以上且小于0.3pm。C:光间隔物的高度的最大值和最小值之差为0.3Hm以上且小于0.4pm。D:光间隔物的高度的最大值和最小值之差为0.4nm以上且小于0.5pm。E:光间隔物的高度的最大值和最小值之差为0.5)am以上。(加热处理条件的评价)根据以下的顺序进行加热处理条件的评价。首先，除将曝光量变更为250mJ/cr^进行曝光以外，与上述<光间隔物的形成〉相同地进行残渣处理后、加热处理前为止的操作，制作具有间隔物图案的评价用试样。对于所得的评价用试样，对设定为无加热处理时以及改变各个加热温度进行加热处理(加热处理时间固定为60分钟)时的光间隔物的截面形状及光间隔物的高度均匀性进行评价。光间隔物的截面形状及光间隔物的高度均匀性的评价方法如上所述。基于光间隔物的截面形状及光间隔物的高度均匀性的评价结果，根据下述基准进行加热处理条件的评价。另外，在下述基准中，所谓"截面形状的均匀性优异"的状态是指在上述光间隔物的截面形状的评价基准中为A、B或C的状态。此外，在下述基准中，所谓"高度的均匀性优异"的状态是指在上述光间隔物的高度均匀性的评价基准中为A、B或C的状态。评价基准A:无加热处理，得到截面形状的均匀性及高度的均匀性优异的间隔物图案。B:加热温度小于8(TC，得到截面形状的均匀性及高度的均匀性优异的间隔物图案。72C:加热温度为80。C以上且小于15(TC，得到截面形状的均匀性及高度的均匀性优异的间隔物图案。D:加热温度为15(TC以上且小于20(TC，得到截面形状的均匀性及高度的均匀性优异的间隔物图案。E:加热温度为20(TC以上，得到截面形状的均匀性及高度的均匀性优异的间隔物图案。(变形回复率)对所得到的光间隔物用微小硬度计(DUH-W201、株式会社岛津制作所制造)如下进行测定，并进行评价。测定中，采用5(Him4)的圆锥台压头，最大负荷设为50mN、保持时间设为5秒，用负荷-除荷试验法进行。由该测定值通过下述式求出变形回复率〔％)，按照下述评价基准进行评价。测定在22士rC、50c/。RH的环境下进行。变形回复率(％)=(负荷释放后的回复量&ni],/施加负荷时的变形量[MmpxlOO评价基准A:变形回复率为90°/。以上。B:变形回复率为87%以上但低于90%。C:变形回复率为85%以上但低于87%。D:变形回复率为80%以上但低于85%。E:变形回复率为75%以上但低于80%。F:变形回复率低于75%。(液晶显示装置的显示不均)在上述制作的液晶显示装置中，肉眼观察输入灰色测试信号时的灰色显示，根据下述评价基准评价有无发生显示不均。评价结果示于下述表2。评价基准A:没有显示不均，能得到非常良好的显示图像。B:虽然在玻璃基板的边缘部分有微小的不均，但对显示部没有影响，显示图像良好。C:在显示部看到微小的不均，但在实用上允许的范围内。D:在显示部上看见不均。73(实施例212、19):涂布法除将聚合性化合物的种类按照下述表2所示地进行变更以外，与实施例l相同，制作光间隔物及液晶显示装置。另外，感光性树脂组合物的配方在实施例212中为上述配方1，在实施例19中为上述配方4。对于所得的光间隔物及液晶显示装置，与实施例l相同地进行评价。评价结果示于表2。〔实施例1317〕涂布法除将树脂的种类按照下述表2所示进行变更以外，与实施例l相同，制作光间隔物及液晶显示装置。另外，感光性树脂组合物的配方在实施例1316中为上述配方1，在实施例17中为上述配方2。对于所得的光间隔物及液晶显示装置，与实施例l相同地进行评价。评价结果示于表2。〔实施例18):转印法将感光性树脂组合物的配方变更为表1中的配方3，进行使用了以下所示的间隔物用感光性转印薄膜的转印，形成感光性树脂层，除此以外，与实施例1相同，制作光间隔物及液晶显示装置。所得的光间隔物为圆柱形状。对于所得的光间隔物及液晶显示装置，与实施例l相同地进行评价。评价结果示于表2。<间隔物用感光性转印薄膜的制作>在厚度为75^im的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜临时支撑体(PET临时支撑体)上涂布由下述配方A构成的热塑性树脂层用涂布液，使其干燥，形成干燥层厚为15.0pm的热塑性树脂层。热塑性树脂层用涂布液的配方A甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸2-乙基己酯/甲基丙烯酸节酯/甲基丙烯酸共聚物…25.0份(=55/11.7/4.5/28.8[摩尔比]、重均分子量为90,000)苯乙烯/丙烯酸共聚物…58.4份(=63/37[摩尔比]、重均分子量为8，000)742,2-双[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷…39.0份下述表面活性剂l…10.0份甲醇…90.0份l-甲氧基-2-丙醇…51.0份甲乙酮…700份*表面活性剂1下述高分子1甲乙酮高分子l~<CH2"<pH)40-OCH2CH2CnF2n+i30%70%0)7Hi(EO>7H(n=6、x=55、y=5、Mw=33940、Mw/Mn=2.55PO:环氧丙烷EO:环氧乙烷接着，在形成的热塑性树脂层上涂布由下述配方B构成的中间层用涂布液，使其干燥，从而层叠了干燥层厚为1.5pm的中间层。中间层用涂布液的配方B聚乙烯醇(PVA-205(皂化率80%)、株式会社夕，k制造)聚乙烯基吡咯烷酮(PVPK-30、ISPJAPAN株式会社制造)甲醇蒸馏水3.22份1.49份42.3份.524份接着，在形成的中间层上进一步涂布由上述表1所示的配方3构成的感光性树脂层用涂布液，使其干燥，从而层叠了干燥层厚为5.0pm的感光性树脂层。如上所述地构成PET临时支撑体/热塑性树脂层/中间层/感光性树脂层的层叠构造(3层的总层厚21.5pm)后，在感光性树脂层的表面上进一步通过加热加压来粘贴厚度为12pm的聚丙烯制薄膜作为覆盖薄膜，得到间隔物用感光性转印薄膜。<光间隔物的制作〉剥离所得到的间隔物用感光性转印薄膜的覆盖薄膜，将露出的感光性树脂层的表面重叠在与实施例1同样地制作的溅射形成有ITO透明电极的滤色器基板的ITO透明电极上，使用层压机LamicII型(株式会社日立一y夕、'7卜U^X制造)，在线压100N/cm、130。C的加压加热条件下以2m/分钟的运送速度使它们粘贴在一起。然后，将PET临时支撑体在与热塑性树脂层的界面处剥离除去，从而将感光性树脂层与热塑性树脂层及中间层一起转印(被膜形成工序)。接着，使用具有超高压水银灯的接近型曝光机(日立八^r夕電子工y-二7yy夕、'株式会社制造)，在使掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)和以使该掩模与热塑性树脂层相对的方式而配置的滤色器基板大致平行地垂直竖立的状态下，将掩模面和与感光性树脂层的中间层接触一侧的表面之间的距离设定为100pm，隔着该掩模从热塑性树脂层侧以150mJ/cr^的曝光量进行接近曝光(曝光工序)。接着，用三乙醇胺系显影液(含有30%三乙醇胺，将商品名为T-PD2(富士胶片株式会社制造)的产品用纯水稀释至12倍(以1份T-PD2与ll份纯水的比例混合)而得到的溶液)在30'C、扁平喷嘴压力为0.04MPa的条件下进行淋洗显影50秒钟，除去热塑性树脂层和中间层。然后，对该玻璃基板的上表面吹送空气以除去液体后，用淋浴喷洒纯水10秒钟，进行纯水淋洗，吹送空气以减少基板上的液体积存。然后，使用碳酸钠系显影液(含有0.38摩尔/升的碳酸氢钠、0.47摩尔/升的碳酸钠、5%的二丁基萘磺酸钠、阴离子表面活性剂、消泡剂以及稳定剂，将商品名为T-CD1(富士胶片株式会社制造)的产品用纯水稀释至IO倍而得到的溶液)，在29。C、圆锥形喷嘴压力为0.15MPa的条件下进行淋洗显影30秒钟，形成图案像(显影工序)。接着，使用洗涤剂(含有磷酸盐、硅酸盐、非离子表面活性剂、消泡剂、稳定剂，将商品名T-SD3(富士胶片株式会社制造)用纯水稀释至IO倍而得到的溶液)，在33。C、圆锥形喷嘴压力为0.02MPa的条件下用淋浴进行喷洒20秒钟，除去所形成的图案像周边的残渣，以在300pmx30(Him上间隔1根间隔物的方式形成圆柱状的间隔物图案。然后，将设置了间隔物图案的滤色器基板在130'C下加热处理60分钟(被膜加热工序)，由此在滤色器基板上制作光间隔物。所得到的光间隔物是直径为15.1pim、平均高度为4.7(im的圆柱形状。然后，使用制作了光间隔物的滤色器基板，与实施例1同样地制作PVA模式液晶显示装置。(比较例l)除将聚合性化合物变更为下述比较化合物Z—1以外，与实施例l相同，制作光间隔物及液晶显示装置。对于光间隔物及液晶显示装置，与实施例l相同地进行评价。评价结果示于表2。〔比较例2)除通过将感光性树脂组合物的组成变更为配方5，由此将聚合性化合物变更为DPHA(二季戊四醇六丙烯酸酯)以外，与实施例l相同，制作光间隔物及液晶显示装置。对于光间隔物及液晶显示装置，与实施例l相同地进行评价。评价结果示于表2。〔实施例2029)除在光间隔物的形成中，将感光性树脂层用涂布液的配方变更为上述表1所示的配方6，并且将树脂(A)的种类如上述表2所示地变更以外，与实施例1相同，制作光间隔物及液晶显示装置。对于所得的光间隔物及液晶显示装置，与实施例l相同地进行评价。评价结果示于表2。〔实施例30):涂布法除在实施例20中，将感光性树脂层用涂布液的配方从表l中的配方6变更为配方7以外，与实施例20相同，制作光间隔物及液晶显示装置。对所得的间隔物及液晶显示装置，与实施例20相同地进行评价。评价结果示于表2。〔实施例31):转印法除在实施例20中，代替感光性树脂层用涂布液(配方6)的涂布，进行使用与实施例18中同样的间隔物用感光性转印薄膜的转印，由此形成感光性树脂层以外，与实施例20相同，制作光间隔物及液晶显示装置。所得的77光间隔物为圆柱形状。对于所得的光间隔物及液晶显示装置，与实施例20相同地进行评价。评价结果示于表2。〔比较例3)除在实施例20中，将树脂〔A)变更为如下所述合成的比较化合物Z—2以外，与实施例20相同，制作光间隔物及液晶显示装置。对所得的光间隔物及液晶显示装置，与实施例20相同地进行评价。评价结果示于表2。(比较化合物Z—2的合成)预先在反应容器中加入l一甲氧基一2—丙醇25g和乙酸l一甲氧基一2一丙酯25g的混合溶剂，升温至9(TC，在氮气气氛下，在90'C的反应容器中用2小时滴加由苯乙烯(1)32.1g、甲基丙烯酸(MAA;y)36.5g、偶氮系聚合引发剂(和光纯药株式会社制、V—601)6.73g、l一甲氧基一2—丙醇25g及乙酸l一甲氧基一2—丙酯25g构成的混合溶液。滴加后使其反应4小时，得到丙烯酸树脂溶液。然后，在上述丙烯酸树脂溶液中加入氢醌单甲基醚0.5g以及四乙基溴化铵0.015g，然后用2小时滴加甲基丙烯酸縮水甘油酯31.3g(GLM-MAA;z)。滴加后，一边注入空气一边在卯'C使其反应4小时，得到比较化合物Z—2(y:z:l=45mol%:23mol%:32mol%、Mw:12000)的溶液。该比较化合物Z—2的溶液中的固体成分为50X。比较化合物Z—2(比较例4〕涂布法除在实施例20中，将感光性树脂层用涂布液的配方从表l中的配方6变更为配方9以外，与实施例20相同，制作光间隔物及液晶显示装置。对于所得的光间隔物及液晶显示装置，与实施例20相同地进行评价。评价结果示于表2。l:y:z二32:45:23表2<table>tableseeoriginaldocumentpage79</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage80</column></row><table>表2中，聚合性化合物栏及树脂栏的M—1、P—52、Z—l等符号表示例示化合物编号或比较化合物编号。另外，聚合性化合物栏的偶极矩是根据ScigressExplorerProfessionalVersion7.6.0.52(富士通株式会社制造)得到的值。如表2所示，实施例的光间隔物具有优异的截面形状的均匀性及高度的均匀性。另外，在具备光间隔物的液晶显示装置中抑制了显示不均。(实施例32)<保护膜的形成>实施例10中，在滤色器基板的制作中，形成黑色矩阵、R像素、G像素以及B像素后，在黑色矩阵及各个像素上进一步涂布由上述配方l构成的感光性树脂组合物，在不介入掩模的情况下进行曝光(整面曝光)，加热处理后形成保护膜。这里，涂布、曝光、加热处理的条件是，除了在不介入掩模的情况下进行曝光以外，与实施例10的光间隔物形成中的涂布、曝光、加热处理的条件相同。然后，在所得到的保护层上通过溅射进一步形成ITO(氧化铟锡)的透明电极。<光间隔物的形成>除了在上述形成的ITO透明电极上，使用实施例10中使用的感光性树脂组合物作为感光性树脂组合物以外，用与实施例10同样的方法形成光间隔物。<液晶显示装置的制作和评价>接着，使用形成有上述光间隔物的滤色器基板，用与实施例10同样的方法制作液晶显示装置。对于所得到的保护膜和液晶显示装置，用与实施例1同样的方法进行评价。评价结果示于表3中。〔实施例33)<保护膜的形成>实施例27中，在滤色器基板的制作中，形成黑色矩阵、R像素、G像素以及B像素后，在黑色矩阵及各个像素上进一步涂布由上述配方6构成的感光性树脂组合物，在不介入掩模的情况下进行曝光(整面曝光)，加热处理81后形成保护膜。这里，涂布、曝光、加热处理的条件是，除了在不介入掩模的情况下进行曝光以外，与实施例27的光间隔物形成中的涂布、曝光、加热处理的条件相同。然后，在所得到的保护层上通过溅射进一步形成ITO(氧化铟锡)的透明电极。<光间隔物的形成>除了在上述形成的ITO透明电极上，使用比较例4中使用的感光性树脂组合物作为感光性树脂组合物以外，用与实施例20同样的方法形成光间隔物。<液晶显示装置的制作和评价>接着，使用形成有上述光间隔物的滤色器基板，用与实施例l同样的方法制作液晶显示装置。对于所得到的保护膜和液晶显示装置，用与实施例l同样的方法进行评价。保护膜的膜厚均匀性的测定通过与实施例l的光间隔物的高度测定相同的方法来测定。评价结果示于表3中。〔实施例34〕<着色图案的形成>除了在实施例ll中，在滤色器基板的制作中用下述方法形成R像素以外，与实施例ll同样地制作滤色器基板。艮口，在上述配方1中进一步添加颜料红254(19.4份)和颜料红177(4.83份)，调制R像素用感光性树脂组合物。除了使用所调制的R像素用感光性树脂组合物以及作为光掩模使用R像素用光掩模以外，用与实施例11的光间隔物的形成方法同样的方法形成R像素。在所制作的滤色器基板的R像素、G像素以及B像素形成后，在各个像素上通过溅射进一步形成ITO(氧化铟锡)的透明电极。<光间隔物的形成>除了在上述形成的ITO透明电极上，使用在实施例11中使用的感光性树脂组合物作为感光性树脂组合物以外，用与实施例11同样的方法形成光间隔物。<液晶显示装置的制作和评价>接着，使用形成有上述光间隔物的滤色器基板，用与实施例ll同样的方法制作液晶显示装置。对于所得到的保护膜和液晶显示装置，用与实施例l同样的方法进行评价。评价结果示于表3中。〔实施例35〕<着色图案的形成>除了在实施例20中，在滤色器基板的制作中用下述方法形成R像素以外，与实施例20同样地制作滤色器基板。艮口，在上述配方6中进一步添加颜料红254(19.4份)和颜料红177(4.83份)，调制R像素用感光性树脂组合物。除了使用所调制的R像素用感光性树脂组合物以及作为光掩模使用R像素用光掩模以外，用与实施例20的光间隔物的形成方法同样的方法形成R像素。在所制作的滤色器基板的R像素、G像素以及B像素形成后，在各个像素上通过溅射进一步形成ITO(氧化铟锡)的透明电极。<光间隔物的形成>除了在上述形成的ITO透明电极上，使用在比较例4中使用的感光性树脂组合物作为感光性树脂组合物以外，用与实施例20同样的方法形成光间隔物。<液晶显示装置的制作和评价>接着，使用形成有上述光间隔物的滤色器基板，用与实施例l同样的方法制作液晶显示装置。对于所得到的保护膜和液晶显示装置，用与实施例l同样的方法进行评价。评价结果示于表3中。[比较例5、6]比较例5中，除使用聚合性化合物Z—1代替实施例10的聚合性化合物M一10以外，另外，比较例6中，除使用DPHA代替实施例11的聚合性化合物M—13以外，分别与实施例10及11相同地制作保护膜、着色材料，得到着色图案及液晶显示装置，相同地进行评价。[比较例7、8]比较例7及8中，除使用配方9代替实施例33及35中的配方6以外，分别与实施例33及35相同地分别制作保护膜、着色材料，得到着色图案及液晶显示装置，相同地进行评价。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage84</column></row><table>如表3所示，在使用本发明的感光性树脂组合物形成保护膜及着色图案的情况下，也能得到与形成光间隔物时同样良好的结果。权利要求1、一种感光性树脂组合物，其含有树脂、偶极矩为3.50德拜以上的聚合性化合物和光聚合引发剂。2、根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚合性化合物具有5元或6元的环状结构和烯键式不饱和双键，所述5元或6元的环状结构具有含C=0的连结部位和/或含P=0的连结部位。3、根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述树脂在侧链上具有支化结构和/或脂环结构、酸性基以及烯键式不饱和键。4、根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚合性化合物具有5元或6元的环状结构和烯键式不饱和双键，所述5元或6元的环状结构具有含C二O的连结部位和/或含P=0的连结部位；所述树脂在侧链上具有支化结构和/或脂环结构、酸性基以及烯键式不饱和键。5、一种感光性树脂组合物，其含有树脂、聚合性化合物和光聚合引发剂，所述树脂在侧链上具有包含由C=0表示的部位和/或由P=0表示的部位的5元或6元的环状结构、酸性基以及烯键式不饱和键。6、根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，所述树脂在侧链上还具有支化和/或脂环结构。7、根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚合性化合物的至少1种具有包含由C二O表示的部位和/或由P=0表示的部位的5元或6元的环状结构、和烯键式不饱和双键。8、根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，所述树脂在侧链上还具有支化和/或脂环结构；所述聚合性化合物的至少1种具有包含由C=O表示的部位和/或由P=0表示的部位的5元或6元的环状结构、和烯键式不饱和双键。9、一种光间隔物，其是使用权利要求18中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。10、一种光间隔物的形成方法，其至少包括下述工序(1)(3):(1)在基板上形成权利要求18中任一项所述的感光性树脂组合物的被膜的工序；(2)将所述被膜的至少一部分曝光的工序；(3)将曝光后的所述被膜显影的工序。11、根据权利要求10所述的光间隔物的形成方法，其中，所述形成方法还包括将显影后的所述被膜加热的工序，该加热的最高温度为40°C145°C。12、一种保护膜，其是使用权利要求18中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。13、一种着色图案，其是使用权利要求18中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。14、一种显示装置用基板，其具备光间隔物、保护膜及着色图案中的至少一种，所述光间隔物、所述保护膜及所述着色图案是使用权利要求18中任一项所述的感光性组合物而形成的。15、一种显示装置，其具备权利要求14所述的显示装置用基板。全文摘要本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有树脂、聚合性化合物和光聚合引发剂。所述聚合性化合物的偶极矩优选为3.50德拜以上。另外，所述树脂优选在其侧链上具有包含由C＝O表示的部位和/或由P＝O表示的部位的5元或6元的环状结构、酸性基和烯键式不饱和键。本发明还提供使用所述感光性树脂组合物形成的光间隔物、使用所述感光性树脂组合物形成的保护膜、使用所述感光性树脂组合物形成的着色图案以及具备它们中的至少一种的显示装置用基板。另外，本发明还提供具备所述显示装置用基板的显示装置。本发明进一步提供所述光间隔物的形成方法。文档编号G03F7/00GK101498894SQ200910009618公开日2009年8月5日申请日期2009年1月23日优先权日2008年1月28日发明者宫宅一仁,山崎健太,福重裕一申请人:富士胶片株式会社