专利名称：掩膜板承座及曝光设备的制作方法
技术领域：
本实施方式涉及显示面板曝光设备技术领域，特别涉及适用于无源有机电致发光显示面板实验线用的曝光设备的相关技术。
背景技术：
有才几电致发光显示 (Organic Electroluminesence Display,简称"OELD")具有自发光性、广视角、高对比、低耗电、高反应速率、全彩化、制程简单等优点，被视为下一代最理想的显示技术，现已开始应用于MP3t1VTPEt^Audio Layer 3 ,简称"MP3" ) 、 -f机、个人数字^^fPersonalDigital Assistant,简称"PDA")、音响显示面板等小尺寸领域。OELD按照驱动方式分为有源矩阵(Acitive Matrix,简称"AM，，)和无源矩阵(PassiveMatrix,简称"PM")两种方式。无源有机电致发光显示(PMOLED)面板上的ITO (氧化铟锡)和金属电极通过光刻形成相互正交的平行电极，二者交叉处形成一个发光单元，通过扫描信号逐行点亮形成一帧图象。由于每一行的显示时间都非常短，要达到正常的图象亮度，每一行的亮度都要足够高。这需要很高的电流和电压进行驱动，因此PMOELD的产品多为2~5英寸的小尺寸面板。
无源有机电致发光显示面板已有部分厂家实现了商业上的批量生产，但作为一种新型的平板显示，无源有机电致发光器件仍需不断进行产品性能的改进，其实验线设备仍是量产厂家及研究机构配备的必须设备。其中曝光设备又是实验线的核心设备，由于新产品的研发需要设计不同的图形，因此会需要相应的各种曝光掩膜板，基板的规格也会用于实验需要而有所变化，因此对曝光机的兼容性会又较高的要求。 一般来说，实验线上通常会用大尺寸曝光机台，大尺寸的曝光机台可以通过调整基板承座上吸附孔的分布区域对不同尺寸的基板进行曝光，但曝光掩膜板的大小是不变的，必须是大尺寸的(比最大尺寸的基板面积还要大)。掩膜板越大，采购成本越高，且需要经常更换。为了节约成本，有的厂家会将不同掩膜图形做在一张大掩膜板上分别曝光，但由于图形偏离曝光的中心区域，可能导致曝光不均匀，且如果小尺寸基板长期使用基板承座的某一部分，会导致基板承座往一个方向倾斜，最终影响曝光的效果。
实施方式内容
本实施方式的目的在于提供一种掩膜板承座及曝光设备，使得用于小尺
寸PMOLED面板的曝光设备的结构得以优化、使用成本得以降低。
为解决上述技术问题，本实施方式的实施方式提供了 一种掩膜板承座，用于制作无源有机电致发光显示面板的曝光设备，承座包括掩膜板的支撑架(104);支撑架(104)的中间有一个开口(101),用于曝光掩膜板的图形；在支撑架(104)的内边缘上，有用于吸住掩膜板的吸附沟(103)，和用于固定掩膜板的固定装置，开口(101)的尺寸小于曝光设备所支持的最大基板尺寸。
本实施方式的实施方式还提供了一种曝光设备，用于制作无源有机电致发光显示面板，该设备中包括一个如上所述的掩膜板承座。
本实施方式实施方式与现有技术相比，主要区别及其效果在于
使用开口较小的掩膜板，可以在大尺寸曝光机上使用小尺寸的掩膜板，节约了掩膜板的采购成本。
进一步地，通过可拆卸卡座将掩膜板承座固定在曝光设备上，可以在同一个曝光设备上方便地更换不同的掩膜板承座，以适用不同大小的掩膜板。进一步地，掩膜板承座以铝合金材料制成，重量较轻，便于掩膜板承座 的拆卸和更换。
进一步地，开口设在曝光面积的中央区域，使曝光具有较好的均匀性。
进一步地，为同一个曝光设备配备多个不同开口大小的掩膜板承座，使 一个曝光设备可以适用于多种尺寸的掩膜板。
图1是本实施方式第一、二实施方式中掩膜板承座的结构示意图。
具体实施方式
在以下的叙述中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细 节。但是，本领域的普通技术人员可以理解，即使没有这些技术细节和基于 以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请各权利要求所要求保 护的技术方案。
为使本实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对 本实施方式的实施方式作进一步地详细描述。
本实施方式第一实施方式涉及一种掩膜板承座。该掩膜板承座用于制作 无源有机电致发光显示面板的曝光设备，该承座的结构参见图1。具体地说，
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掩膜板的支撑架(104)。
支撑架(104)的中间有一个开口(101)，用于曝光掩膜板的图形。开口(101) 的尺寸小于曝光设备所支持的最大基板尺寸。换句话说， 一般的曝光设备只 有一个固定的掩膜板承座，其开口大小也是固定的，对应于该曝光设备可用 的最大尺寸的掩膜板和基板，本实用新型中对掩膜板承座进行了改进，缩小了开口(101)的尺寸。使用开口较小的掩膜板，可以在大尺寸曝光机上使用小
尺寸的掩膜板，节约了掩膜板的采购成本。
开口 ( 101 )在曝光面积的中央区域，使曝光具有较好的均匀性。
在支撑架(104)的内边缘上，有用于吸住掩膜板的吸附沟(103),和用于 固定掩膜板的固定装置。在本实用新型的一个优选例子中，固定装置是弹簧 夹(102)。可以理解，除弹簧夹外，也可以用其它形式的固定装置，如螺丝等。 固定的方式也有多种，可以是两固定点的(如图1中的102)，也可以是四 固定点的(在开口 101的四个边上各有一个点)等等。
可拆卸卡座(对应于105的位置)，用于将掩膜板承座固定在曝光设备 上。通过可拆卸卡座将掩膜板承座固定在曝光设备上，可以在同一个曝光设 备上方便地更换不同的掩膜板承座，以适用不同大小的掩膜板。
在一个优选的例子中，掩膜板承座以铝合金材料制成，重量较轻，便于 掩膜板承座的拆卸和更换。除铝合金材料外，掩膜板承座也可以用其它的材 料制做，例如铜合金、钛合金等等。
下面举一个实际的例子。
曝光设备最大可适用于400 x 400mm的玻璃基板，则原来对应适用的曝 光掩膜板的尺寸为450mmx450mm。更换这种大尺寸的掩膜板价格相当昂 贵。现在使用本例子的掩膜板承座，其开口为210mmx210mm，适用于 200mm x 200mm的玻璃基4反，对应可4吏用的曝光掩膜4反为250mm x 250mm，
只要将该尺寸的掩膜板安放在掩膜板支撑架104上，掩膜板通过掩膜板支撑 架边缘的吸附沟103进行真空吸附并由弹簧夹102固定后，就会牢牢的吸附 在承座上，且掩膜图形通过掩膜板承座的开口 101暴露在曝光区域的正中心， 完全符合曝光均匀性的需要，可以获得良好的曝光效果，也不会影响曝光设 备的长期使用。本例子中，掩膜板承座结构简单，维修方便，便于曝光设备 的兼容。通过更换掩膜板承架，该大尺寸曝光设备可以使用小尺寸的曝光掩膜板，也可以使小尺寸的玻璃基板正常使用该台曝光设备。
本实施方式第二实施方式涉及一种掩膜板承座。第二实施方式与第一实
施方式基本相同，区别主要在于，第二实施方式中以固定轴(105)取代第一实 施方式中的可拆卸卡座，用于将承座固定在曝光设备上。此外第二实施方式 的掩膜板承座还包括配合固定轴(105)使用的把手，以方便掀起掩膜板承座。 本实施方式较为适合不太经常更换掩膜板承座的情况。
本实施方式第三实施方式涉及一种曝光i殳备。该曝光"i殳备用于制作无源 有机电致发光显示面板。
该设备中包括一个掩膜板承座，该掩膜板承座可以是第一实施方式或第 二实施方式中所描述的掩膜板承座。
同一个曝光设备配有多个掩膜板承座，各承座上开口(101)的尺寸均不相 同，从而使一个曝光设备可以适用于多种尺寸的掩膜板。
每个掩膜板承座上都有相同的可拆卸卡座或固定轴(105),用于将该掩膜 板承座固定在曝光设备上。
虽然通过参照本实施方式的某些优选实施方式，已经对本实施方式进行 了图示和描述，但本领域的普通技术人员应该明白，可以在形式上和细节上 对其作各种改变，而不偏离本实施方式的精神和范围。
权利要求1.一种掩膜板承座，用于制作无源有机电致发光显示面板的曝光设备，所述承座包括掩膜板的支撑架(104)；支撑架(104)的中间有一个开口(101)，用于曝光掩膜板的图形；在支撑架(104)的内边缘上，有用于吸住掩膜板的吸附沟(103)，和用于固定掩膜板的固定装置，其特征在于，开口(101)的尺寸小于所述曝光设备所支持的最大基板尺寸。
2. 根据权利要求1所述的掩膜板承座，其特征在于，还包括可拆卸卡 座，用于将所述承座固定在所述曝光设备上。
3. 根据权利要求2所述的掩膜板承座，其特征在于，所述承座以铝合 金材料制成。
4. 根据权利要求1所述的掩膜板承座，其特征在于，还包括固定轴， 用于将所述承座固定在所述曝光设备上。
5. 根据权利要求1所述的掩膜板承座，其特征在于，用于固定掩膜板 的固定装置是弹簧夹(102)。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的掩膜板承座，其特征在于，开 口(101)在曝光面积的中央区域。
7. —种曝光设备，用于制作无源有机电致发光显示面板，其特征在于， 该设备中包括一个掩膜板承座，该承座包括掩膜板的支撑架(104);支撑 架(104)的中间有一个开口(101)，用于曝光掩膜板的图形；在支撑架(104) 的内边缘上，有用于吸住掩膜板的吸附沟(103),和用于固定掩膜板的固定 装置，其中，开口(101)的尺寸小于所述曝光设备所支持的最大基板尺寸。
8. 根据权利要求7所述的曝光设备，其特征在于，该设备配有多个所 述掩膜板承座，各承座上开口(101)的尺寸均不相同。
9. 根据权利要求8所述的曝光设备，其特征在于，每个所述掩膜板承座上都有相同的可拆卸卡座，用于将该掩膜板承座固定在所述曝光设备上。
10.根据权利要求8所述的曝光设备，其特征在于，各所述掩膜板承 座上的开口(101)均在曝光面积的中央区域。
专利摘要本实施方式涉及显示面板曝光设备技术领域，公开了一种掩膜板承座及曝光设备。本实施方式中，使用开口较小的掩膜板，可以在大尺寸曝光机上使用小尺寸的掩膜板，节约了掩膜板的采购成本。通过可拆卸卡座将掩膜板承座固定在曝光设备上，可以在同一个曝光设备上方便地更换不同的掩膜板承座，以适用不同大小的掩膜板。承座以铝合金材料制成，重量较轻，便于承座的拆卸和更换。开口设在曝光面积的中央区域，使曝光具有较好的均匀性。
文档编号G03F7/20GK201402364SQ20092006698
公开日2010年2月10日 申请日期2009年1月15日 优先权日2009年1月15日
发明者吴玉琦, 进 徐 申请人:上海广电电子股份有限公司