专利名称：一种涂覆方法
技术领域：
本发明属于硅基液晶(LCoS)微显示器件制造的技术领域，具体涉及一种应用于 LCoS液晶盒制作的涂覆方法。
背景技术：
硅基液晶(LCoS)微显示是一种新型的反射式液晶微显示技术。它利用CMOS技术将有源矩阵制作在硅衬底上，而顶面被用作反射层。显示面板通过在LCoS晶圆顶面盖装 ITO玻璃，灌装液晶制成。在LCoS液晶盒的制作过程中，为了精确控制盒厚以及起到支撑作用，要用到衬垫带或者衬垫珠(Spacer)，而盒厚在10 μ m以下多用衬垫珠(Spacer)。由于盒厚度较小，为了得到均勻的间隙尺寸，需要采用尺寸很小的玻璃球作为衬垫珠。一般通用的LCoS液晶盒衬垫珠(Spacer)的涂覆方法为溶液喷洒的方法，由于衬垫珠尺寸较小，在LCoS晶圆表面涂覆时，易出现衬垫珠分布不均勻以及若干个衬垫珠堆叠现象。显示器件的彩色800X600分辨率使得每个像素点大小也为微米量级，因此会影响器件发光性能，严重时会导致液晶盒厚度不均勻，并由此产生真空气泡等更严重的问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种涂覆方法，使衬垫珠可以均勻的涂覆在LCoS 晶圆的表面。为了达到上述目的，本发明采用的技术方案为 一种涂覆方法，包括如下步骤
(1)将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；
(2)将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；
(3)使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；
(4)使用勻胶机旋转表面滴定悬浊液的LCoS晶圆，在LCoS晶圆表面形成一层溶液膜；
(5)LCoS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。上述方案中，所述有机溶剂为二氯甲烷或异丙醇。与现有技术相比，本发明采用的技术方案所产生的有益效果如下
本发明采用的涂覆方法使衬垫珠分散的更均勻，同时密度更低，使器件发光性能得到
显者提尚。
具体实施例方式下面通过实施例对本发明技术方案进行详细描述。实施例1
本发明实施例提供一种涂覆方法，步骤如下采用3. 00士0. 02 μ m的玻璃球作为衬垫珠(Spacer)，将衬垫珠放入二氯甲烷溶液中， 形成悬浊液；然后将悬浊液放入超声波清洗机中片刻，利用超声波使衬垫珠一一分散开，接着再将悬浊液放在磁力搅拌机上进行充分搅拌；将用丙酮清洗后的LCoS晶圆置于勻胶机旋转台上，开启气泵固定后，用橡胶吸管吸取适量的衬垫珠悬浊液滴在LCoS晶圆表面，在勻胶机旋转台面带动LCoS晶圆高速旋转下，将在LCoS晶圆表面形成一层极薄的溶液膜，衬垫珠(Spacer)得到了较理想的散布，待LCoS晶圆表面的溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。实施例2:
本发明实施例提供一种涂覆方法，步骤如下
采用3. 00士0. 02 μ m的玻璃球作为衬垫珠(Spacer)，衬垫珠放入异丙醇溶液中，形成悬浊液；然后将悬浊液放入超声波清洗机中片刻，利用超声波使衬垫珠一一分散开，接着再将悬浊液放在磁力搅拌机上进行充分搅拌；将用丙酮清洗后的LCoS晶圆置于勻胶机旋转台上，开启气泵固定后，用橡胶吸管吸取适量的衬垫珠悬浊液滴在LCoS晶圆表面，在勻胶机旋转台面带动LCoS晶圆高速旋转下，将在LCoS晶圆表面形成一层极薄的溶液膜，衬垫珠 (Spacer)得到了较理想的散布，待LCoS晶圆表面的溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。使用本发明提供的涂覆方法，可以使得衬垫珠均勻的涂覆在LCoS晶圆表面，粘连现象大幅度减少，衬垫珠密度的控制也较为理想，约为360个/mm2。因此，使用此涂覆方法制备的器件，发光性能得到显著提高。以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种涂覆方法，其特征在于，包括如下步骤(1)将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；(2)将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；(3)使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；(4)使用勻胶机旋转表面滴定悬浊液的LCoS晶圆，在LCoS晶圆表面形成一层溶液膜；(5)LCoS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。
2.如权利要求1所述的涂覆方法，其特征在于所述有机溶剂为二氯甲烷或异丙醇。
全文摘要
本发明属于硅基液晶(LCoS)微显示器件制造的技术领域，具体涉及一种应用于LCoS液晶盒制作的涂覆方法，包括如下步骤将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；使用匀胶机旋转表面滴定悬浊液的LCoS晶圆，在LCoS晶圆表面形成一层溶液膜；LCoS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。本发明采用的涂覆方法使衬垫珠分散的更均匀，同时密度更低，使器件发光性能得到显著提高。
文档编号G02F1/1339GK102476092SQ201010563738
公开日2012年5月30日 申请日期2010年11月29日 优先权日2010年11月29日
发明者杜寰, 林斌, 胡明玮, 韩郑生, 黄苒 申请人:中国科学院微电子研究所