显影液供应系统、方法和显影设备的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种显影液供应系统、方法和显影设备。该显影液供应系统包括显影液供应装置、湿润液供应装置、检测装置和控制装置；显影液供应装置，用于向喷头供应显影液；湿润液供应装置，用于向喷头供应湿润液；检测装置，用于在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置；控制装置，用于若检测装置在检测时间点检测出显示基板到达预定位置时，控制显影液供应装置向喷头供应显影液；若检测装置在检测时间点检测出显示基板未到达预定位置时，控制湿润液供应装置向喷头供应湿润液。本发明提供的技术方案中，显示基板未达到预定位置时喷头无需喷洒显影液而是喷洒湿润液，减少了显影液的使用量，从而避免了显影液的浪费。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本发明涉及显示【技术领域】，特别涉及一种显影液供应系统、方法和显影设备。 显影液供应系统、方法和显影设备
【背景技术】
[0002] 目前，在显示基板的制造过程中，可通过构图工艺形成显示基板上的各种图案化 结构，通常构图工艺可包括：光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀以及光刻胶剥离等工艺。其中，可 通过显影设备实现显影工艺，显影设备可包括显影液供应系统和喷头，显影液供应系统可 向喷头提供显影液，喷头向显示基板上喷涂显影液以显影曝光后的显示基板。
[0003] 在显影过程中，根据工艺要求，需要始终保持喷头的湿润性，为此显影液供应系统 会一直向显影液喷头供应显影液。而在实际的生产过程中，机台死机（Down机），产线在制 品（Work In Process,简称：WIP)不够以及曝光机更换掩膜板的过程中都会造成显影设备 处于空闲状态，即显影设备中未放置待显影的显示基板，但此时显影液喷头还会一直流出 显影液，从而造成显影液的浪费。
【发明内容】
[0004] 本发明提供一种显影液供应系统、方法和显影设备，用于减少显影液的使用量，从 而避免显影液的浪费。
[0005] 为实现上述目的，本发明提供了一种显影液供应系统，包括显影液供应装置、湿润 液供应装置、检测装置和控制装置；
[0006] 所述显影液供应装置，用于向喷头供应显影液；
[0007] 所述湿润液供应装置，用于向喷头供应湿润液；
[0008] 所述检测装置，用于在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置；
[0009] 所述控制装置，用于若所述检测装置在检测时间点检测出显示基板到达预定位置 时，控制所述显影液供应装置向喷头供应所述显影液，以供所述喷头喷洒所述显影液；若所 述检测装置在检测时间点检测出显示基板未到达预定位置时，控制所述湿润液供应装置向 所述喷头供应所述湿润液，以供所述喷头喷洒所述湿润液。
[0010] 可选地，所述检测时间点位于所述显影开始时间点之前。
[0011] 可选地，所述检测装置还用于在控制装置控制所述显影液供应装置向喷头供应所 述显影液之后继续执行所述在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置的步骤。
[0012] 可选地，所述检测装置还用于在控制装置控制所述湿润液供应装置向所述喷头供 应所述湿润液之后，检测曝光机中的显示基板是否曝光结束；
[0013] 所述控制装置还用于若检测装置检测出曝光机中的显示基板曝光结束时，控制所 述显影液供应装置向喷头供应显影液；若检测装置检测出曝光机中显示基板曝光未结束 时，由所述检测装置继续执行检测曝光机中的显示基板是否曝光结束的步骤。
[0014] 可选地，所述显影液供应系统还包括管道连接部件和公共管道，所述显影液供应 装置包括显影液存放装置、显影液管道和第一开关，所述湿润液供应装置包括湿润液存放 装置、湿润液管道和第二开关，所述第一开关设置于所述显影液管道上，所述第二开关设置 于所述湿润液管道上，所述显影液管道的一端连接于所述显影液存放装置，所述显影液管 道的另一端连接于所述管道连接部件，所述湿润液管道的一端连接于所述湿润液存放装 置，所述湿润液管道的另一端连接于所述管道连接部件，所述公共管道的一端连接于所述 管道连接部件，所述公共管道的另一端连接于所述喷头；
[0015] 所述显影液存放装置用于存放所述显影液；
[0016] 所述湿润液存放装置用于存放所述湿润液；
[0017] 所述控制装置具体用于通过控制所述第一开关开启且所述第二开关关闭，以使所 述显影液存放装置中存放的显影液依次通过所述显影液管道、所述管道连接部件和所述公 共管道进入所述喷头中；或者通过控制所述第二开关开启且所述第一开关关闭，以使所述 湿润液存放装置中存放的湿润液依次通过所述湿润液管道、所述管道连接部件和所述公共 管道进入所述喷头中。
[0018] 可选地，所述管道连接部件上还设置有泵浦装置；
[0019] 所述泵浦装置，用于驱动所述显影液通过所述公共管道进入所述喷头中，或者驱 动所述湿润液通过所述公共管道进入所述喷头中。
[0020] 可选地，所述公共管道上还设置有流量计；
[0021] 所述流量计，用于测量流经所述公共管道的显影液或者湿润液的流量。
[0022] 为实现上述目的，本发明提供了一种显影设备，包括：喷头和上述显影液供应系 统。
[0023] 为实现上述目的，本发明提供了一种显影液供应方法，包括：
[0024] 检测装置在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置；
[0025] 若所述检测装置在检测时间点检测出显示基板到达预定位置时，控制装置控制显 影液供应装置向喷头供应显影液，以供所述喷头喷洒所述显影液；若所述检测装置在检测 时间点检测出显示基板未到达预定位置时，控制装置控制湿润液供应装置向所述喷头供应 所述湿润液，以供所述喷头喷洒所述湿润液。
[0026] 可选地，所述控制装置控制显影液供应装置向喷头供应显影液之后还包括：
[0027] 继续执行所述检测装置在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置的步骤。
[0028] 可选地，所述控制装置控制湿润液供应装置向所述喷头供应所述湿润液之后还包 括：
[0029] 所述检测装置检测曝光机中的显示基板是否曝光结束；
[0030] 若检测装置检测出曝光机中的显示基板曝光结束时，所述控制装置控制所述显影 液供应装置向喷头供应显影液；若检测装置检测出曝光机中显示基板曝光未结束时，所述 检测装置继续执行检测曝光机中的显示基板是否曝光结束的步骤。
[0031] 本发明具有以下有益效果：
[0032] 本发明提供的显影液供应系统、方法和显影设备的技术方案中，若检测装置在检 测时间点检测出显示基板到达预定位置时，由控制装置控制显影液供应装置向喷头供应显 影液以供喷头喷洒所述显影液，若检测装置在检测时间点检测出显示基板未到达预定位置 时，由控制装置控制湿润液供应装置向喷头供应湿润液以供喷头喷洒湿润液，本发明中显 示基板未达到预定位置时喷头无需喷洒显影液而是喷洒湿润液，减少了显影液的使用量， 从而避免了显影液的浪费。
【专利附图】
【附图说明】
[0033] 图1为本发明实施例一提供的一种显影液供应系统的结构示意图；
[0034] 图2为实施例一中连续流片的示意图；
[0035] 图3为本发明实施例三提供的一种显影液供应方法的流程图。
【具体实施方式】
[0036] 为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提 供的显影液供应系统、方法和显影设备进行详细描述。
[0037] 图1为本发明实施例一提供的一种显影液供应系统的结构示意图，如图1所示，该 显影液供应系统包括：显影液供应装置1、湿润液供应装置2、检测装置3和控制装置4。
[0038] 可选地，显影液供应装置1和湿润液供应装置2均连接至喷头5,检测装置3与控 制装置4连接，控制装置4与显影液供应装置1和湿润液供应装置2连接。
[0039] 显影液供应装置1用于向喷头5供应显影液。湿润液供应装置2用于向喷头5供 应湿润液。检测装置3用于在检测时间点检测显示基板6是否到达预定位置。控制装置4 用于若检测装置3在检测时间点检测出显示基板6到达预定位置时，控制显影液供应装置 1向喷头5供应显影液，以供喷头5喷洒显影液；控制装置4还用于若检测装置3在检测时 间点检测出显示基板6未到达预定位置时，控制湿润液供应装置2向喷头5供应湿润液，以 供喷头5喷洒湿润液。其中，预定位置为显影设备对显示基板6进行显影工艺的位置。例 如：若检测装置3在检测时间点检测出显示基板6未到达预定位置，可以表明显示基板6位 于曝光机中，显影设备中未放置任何显示基板，该显影设备处于空闲状态，此时仅需向喷头 5供应湿润液即可，无需向喷头供应显影液。喷头5喷洒显影液至显示基板6以使显示基板 6显影，而喷头6喷洒湿润液以保持喷头6的湿润。
[0040] 本实施例中，优选地，湿润液为去离子水。
[0041] 显影设备对显示基板6进行显影工艺的过程包括如下两种情况：连续流片和非连 续流片。
[0042] 其中，连续流片指的是：构图工艺中各个工艺正常运行，且多个显示基板6依次按 预定工艺时间进入显影设备中。图2为实施例一中连续流片的示意图，如图2所示，每张显 示基板6在曝光机中曝光后再进入显影设备进行显影，由于在显影工艺开始之前需要将显 示基板6从曝光机中移动到显影设备中的预定位置，因此曝光和显影之间存在一工艺间隔 时间tl。以第η张显示基板6和第n+1张显示基板6为例进行说明，第η张显示基板6和 第η+1张显示基板6依次进入显影设备，第η张显示基板6的显影开始时间点为Α(η)，第 n+1张显示基板6的显影开始时间点为Α(η+1)。本实施例中，检测装置3设定第η张显示 基板6的显影开始时间点与第η+1张显示基板6的显影开始时间点之间的间隔为t，此时若 第η张显示基板6的显影开始时间点为A (η)，则检测装置3设定A (n)+t为检测时间点，也 就是说检测装置3认定在A (n) +t第n+1张显示基板开始显影并在A (n) +t开始对显示基板 6是否达到预定位置进行检测。
[0043] 其中，非连续流片指的是：在实际的生产过程中，机台死机，产线WIP不够以及曝 光机更换掩膜板的过程都会造成显影设备处于空闲状态，显示基板6无法依次按预定工艺 时间进入显影设备中。例如：在检测时间点A(n)+t，第η张显示基板6未到达显影设备中 的预定位置，而是停留在曝光机中进行曝光工艺。
[0044] 为保证在显影工艺开始之前，喷头5已经开始喷洒显影液，则优选地，检测时间点 位于显影开始时间点之前。也即是说，检测装置3会在显影开始时间点之前检测显示基板 6是否到达预定位置。
[0045] 进一步地，检测装置3还用于在控制装置4控制显影液供应装置1向喷头5供应 显影液之后继续执行在检测时间点检测显示基板6是否到达预定位置的步骤。
[0046] 进一步地，检测装置3还用于在控制装置4控制湿润液供应装置2向喷头5供应 湿润液之后，检测曝光机中的显示基板6是否曝光结束。控制装置4还用于若检测装置3 检测出曝光机中的显示基板6曝光结束时，控制显影液供应装置1向喷头5供应显影液；控 制装置4还用于若检测装置3检测出曝光机中显示基板曝光未结束时，由检测装置3继续 执行检测曝光机中的显示基板6是否曝光结束的步骤。其中，当检测装置3检测出曝光机 中的显示基板6曝光结束，表明显示基板6即将进入显影设备进行显影工艺；当检测装置3 检测出曝光机中显示基板曝光未结束时，继续进行检测，直至检测出曝光机中的显示基板6 曝光结束为止。
[0047] 本实施例中，显影液供应系统还包括管道连接部件7和公共管道8,显影液供应装 置1包括显影液存放装置11、显影液管道12和第一开关Κ1，湿润液供应装置2包括湿润液 存放装置21、湿润液管道22和第二开关Κ2,第一开关Κ1设置于显影液管道12上，第二开 关Κ2设置于湿润液管道22上，显影液管道12的一端连接于显影液存放装置11，显影液管 道12的另一端连接于管道连接部件7,湿润液管道22的一端连接于湿润液存放装置21，湿 润液管道22的另一端连接于管道连接部件7,公共管道8的一端连接于管道连接部件7,公 共管道8的另一端连接于喷头5。显影液存放装置11用于存放显影液。湿润液存放装置21 用于存放湿润液。控制装置14具体用于通过控制第一开关Κ1开启且第二开关Κ2关闭，以 使显影液存放装置11中存放的显影液依次通过显影液管道11、管道连接部件7和公共管道 8进入喷头5中；或者通过控制第二开关Κ2开启且第一开关Κ1关闭，以使湿润液存放装置 21中存放的湿润液依次通过湿润液管道22、管道连接部件7和公共管道8进入喷头5中。
[0048] 可选地，管道连接部件7上还设置有泵浦装置9。泵浦装置9用于驱动显影液通过 公共管道8进入喷头5中，或者驱动湿润液通过公共管道8进入喷头5中。具体地，当显影 液进入管道连接部件7中时，泵浦装置9将进入管道连接部件7中的显影液通过公共管道 8驱动至喷头5中；当湿润液进入管道连接部件7中时，泵浦装置9将进入管道连接部件7 中的湿润液液通过公共管道8驱动至喷头5中。
[0049] 可选地，公共管道8上还设置有流量计10。流量计10用于测量流经公共管道8的 显影液或者湿润液的流量。
[0050] 本实施例提供的显影液供应系统的技术方案中，若检测装置在检测时间点检测出 显示基板到达预定位置时，由控制装置控制显影液供应装置向喷头供应显影液以供喷头喷 洒所述显影液，若检测装置在检测时间点检测出显示基板未到达预定位置时，由控制装置 控制湿润液供应装置向喷头供应湿润液以供喷头喷洒湿润液，本实施例中显示基板未达到 预定位置时喷头无需喷洒显影液而是喷洒湿润液，减少了显影液的使用量，从而避免了显 影液的浪费。本实施例通过检测装置和控制装置可实现喷头喷洒显影液或者湿润液的自动 转换，并且本通过检测装置可实现实时检测，通过控制装置可实现实时调节工艺，从而使得 本实施例工艺简单且易于实现。
[0051] 本发明实施例二提供了一种显影设备，该显影设备包括：喷头和显影液供应系统。 显影液供应系统可采用上述实施例一提供的显影液供应系统，具体描述可参见上述实施例 一的描述，此处不再赘述。
[0052] 本实施例提供的显影设备的技术方案中，若检测装置在检测时间点检测出显示基 板到达预定位置时，由控制装置控制显影液供应装置向喷头供应显影液以供喷头喷洒所述 显影液，若检测装置在检测时间点检测出显示基板未到达预定位置时，由控制装置控制湿 润液供应装置向喷头供应湿润液以供喷头喷洒湿润液，本实施例中显示基板未达到预定位 置时喷头无需喷洒显影液而是喷洒湿润液，减少了显影液的使用量，从而避免了显影液的 浪费。本实施例通过检测装置和控制装置可实现喷头喷洒显影液或者湿润液的自动转换， 并且本通过检测装置可实现实时检测，通过控制装置可实现实时调节工艺，从而使得本实 施例工艺简单且易于实现。
[0053] 图3为本发明实施例三提供的一种显影液供应方法的流程图，如图3所示，该方法 包括：
[0054] 步骤101、检测装置在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置，若是，则执行 步骤102 ;若否，则执行步骤103。
[0055] 优选地，检测时间点位于显影开始时间点之前。
[0056] 步骤102、控制装置控制显影液供应装置向喷头供应显影液，以供喷头喷洒显影 液，并继续执行步骤101。
[0057] 步骤103、控制装置控制湿润液供应装置向喷头供应湿润液，以供喷头喷洒湿润 液。
[0058] 可选地，该方法还包括：
[0059] 步骤104、检测装置检测曝光机中的显示基板是否曝光结束，若是，则执行步骤 102 ;若否，则继续执行步骤104。
[0060] 本实施例提供的显影液供应方法的技术方案中，若检测装置在检测时间点检测出 显示基板到达预定位置时，由控制装置控制显影液供应装置向喷头供应显影液以供喷头喷 洒所述显影液，若检测装置在检测时间点检测出显示基板未到达预定位置时，由控制装置 控制湿润液供应装置向喷头供应湿润液以供喷头喷洒湿润液，本实施例中显示基板未达到 预定位置时喷头无需喷洒显影液而是喷洒湿润液，减少了显影液的使用量，从而避免了显 影液的浪费。本实施例通过检测装置和控制装置可实现喷头喷洒显影液或者湿润液的自动 转换，并且本通过检测装置可实现实时检测，通过控制装置可实现实时调节工艺，从而使得 本实施例工艺简单且易于实现。
[0061] 可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施 方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精 神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1. 一种显影液供应系统，其特征在于，包括显影液供应装置、湿润液供应装置、检测装 置和控制装置； 所述显影液供应装置，用于向喷头供应显影液； 所述湿润液供应装置，用于向喷头供应湿润液； 所述检测装置，用于在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置； 所述控制装置，用于若所述检测装置在检测时间点检测出显示基板到达预定位置时， 控制所述显影液供应装置向喷头供应所述显影液，以供所述喷头喷洒所述显影液；若所述 检测装置在检测时间点检测出显示基板未到达预定位置时，控制所述湿润液供应装置向所 述喷头供应所述湿润液，以供所述喷头喷洒所述湿润液。
2. 根据权利要求1所述的显影液供应系统，其特征在于，所述检测时间点位于所述显 影开始时间点之前。
3. 根据权利要求1所述的显影液供应系统，其特征在于，所述检测装置还用于在控制 装置控制所述显影液供应装置向喷头供应所述显影液之后继续执行所述在检测时间点检 测显示基板是否到达预定位置的步骤。
4. 根据权利要求1所述的显影液供应系统，其特征在于，所述检测装置还用于在控制 装置控制所述湿润液供应装置向所述喷头供应所述湿润液之后，检测曝光机中的显示基板 是否曝光结束； 所述控制装置还用于若检测装置检测出曝光机中的显示基板曝光结束时，控制所述显 影液供应装置向喷头供应显影液；若检测装置检测出曝光机中显示基板曝光未结束时，由 所述检测装置继续执行检测曝光机中的显示基板是否曝光结束的步骤。
5. 根据权利要求1所述的显影液供应系统，其特征在于，所述显影液供应系统还包括 管道连接部件和公共管道，所述显影液供应装置包括显影液存放装置、显影液管道和第一 开关，所述湿润液供应装置包括湿润液存放装置、湿润液管道和第二开关，所述第一开关设 置于所述显影液管道上，所述第二开关设置于所述湿润液管道上，所述显影液管道的一端 连接于所述显影液存放装置，所述显影液管道的另一端连接于所述管道连接部件，所述湿 润液管道的一端连接于所述湿润液存放装置，所述湿润液管道的另一端连接于所述管道连 接部件，所述公共管道的一端连接于所述管道连接部件，所述公共管道的另一端连接于所 述喷头； 所述显影液存放装置用于存放所述显影液； 所述湿润液存放装置用于存放所述湿润液； 所述控制装置具体用于通过控制所述第一开关开启且所述第二开关关闭，以使所述显 影液存放装置中存放的显影液依次通过所述显影液管道、所述管道连接部件和所述公共管 道进入所述喷头中；或者通过控制所述第二开关开启且所述第一开关关闭，以使所述湿润 液存放装置中存放的湿润液依次通过所述湿润液管道、所述管道连接部件和所述公共管道 进入所述喷头中。
6. 根据权利要求5所述的显影液供应系统，其特征在于，所述管道连接部件上还设置 有泵浦装置； 所述泵浦装置，用于驱动所述显影液通过所述公共管道进入所述喷头中，或者驱动所 述湿润液通过所述公共管道进入所述喷头中。
7. 根据权利要求5所述的显影液供应系统，其特征在于，所述公共管道上还设置有流 量计； 所述流量计，用于测量流经所述公共管道的显影液或者湿润液的流量。
8. -种显影设备，其特征在于，包括：喷头和权利要求1至7任一所述的显影液供应系 统。
9. 一种显影液供应方法，其特征在于，包括： 检测装置在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置； 若所述检测装置在检测时间点检测出显示基板到达预定位置时，控制装置控制显影液 供应装置向喷头供应显影液，以供所述喷头喷洒所述显影液；若所述检测装置在检测时间 点检测出显示基板未到达预定位置时，控制装置控制湿润液供应装置向所述喷头供应所述 湿润液，以供所述喷头喷洒所述湿润液。
10. 根据权利要求9所述的显影液供应方法，其特征在于，所述控制装置控制显影液供 应装置向喷头供应显影液之后还包括： 继续执行所述检测装置在检测时间点检测显示基板是否到达预定位置的步骤。
11. 根据权利要求9所述的显影液供应方法，其特征在于，所述控制装置控制湿润液供 应装置向所述喷头供应所述湿润液之后还包括： 所述检测装置检测曝光机中的显示基板是否曝光结束； 若检测装置检测出曝光机中的显示基板曝光结束时，所述控制装置控制所述显影液供 应装置向喷头供应显影液；若检测装置检测出曝光机中显示基板曝光未结束时，所述检测 装置继续执行检测曝光机中的显示基板是否曝光结束的步骤。
【文档编号】G03F7/32GK104102096SQ201410246973
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年6月5日 优先权日:2014年6月5日
【发明者】张小祥, 郭总杰, 刘正, 张治超, 王守坤, 刘明悬 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司