技术总结
本发明一种金属纳米线的制备方法,包括如下步骤:步骤A:制备多层胶结构,所述多层胶结构从下至上依次为衬底(1)、第一光刻胶层(2)、金属插层(3)和第二光刻胶层(4);步骤B:采用激光干涉曝光技术在所述第二光刻胶层(4)制备纳米光刻胶光栅图形;步骤C:将所述第二光刻胶层(4)的纳米光刻胶光栅图形反转至所述第一光刻胶层(2);步骤D:在所述第一光刻胶层(2)的纳米光刻胶光栅图形的基础上制备金属纳米线。该方法能够大面积制备大高宽比的精细金属纳米线,成本低、效率高。
技术研发人员:房育涛;戴隆贵;乐艮;贾海强;陈弘
受保护的技术使用者:中国科学院物理研究所
文档号码:201510169318
技术研发日:2015.04.10
技术公布日:2016.11.23