技术特征：
技术总结
作为干膜抗蚀剂用保护膜，提供一种脱模性、防静电性、密合性、卷绕特性良好的保护膜、以及叠层有该保护膜的感光性树脂叠层体。该干膜抗蚀剂用保护膜在聚酯膜的单面具有由含有含长链烷基的化合物和防静电剂、以及丙烯酸树脂或聚乙烯醇的涂布液形成的涂布层，该涂布层表面的最大突起高度(Rt)为0.1～1.0μm。感光性树脂叠层体具有在形成于基膜上的感光性树脂层表面叠层有上述保护膜的结构。
技术研发人员：栋泰人;森井秀和;舟津良亮;井崎公裕
受保护的技术使用者：三菱化学株式会社
技术研发日：2015.11.26
技术公布日：2017.08.29