一种掩膜及包含该掩膜的设备的制作方法

文档序号:12660964阅读:来源:国知局
技术总结
本发明针对现有的封框胶固化技术中使用的掩膜种类繁多且需要手动更换的问题,提出了一种掩膜。本发明提出的掩膜采用偏振方向相互垂直的X偏光片和Y偏光片交叠设置,得到交叠区域,交叠区域不允许光线透过,交叠区域之外的区域允许光线透过。通过合理设置X偏光片的数量和/或Y偏光片的数量,得到与液晶区向匹配的交叠区域,交叠区域将液晶区完全遮盖,使得曝光光线只对液晶区外的封框胶进行固化。该掩膜可以适用于不同尺寸的封框胶固化,不再需要另外制作封框胶固化掩膜,减少了制程中掩膜的种类和数量,本发明同时提出了包含该掩膜的设备,替代了手工操作,提高了生产效率。

技术研发人员:王松;张瑞军;李培宏
受保护的技术使用者:深圳市华星光电技术有限公司
文档号码:201611241237
技术研发日:2016.12.29
技术公布日:2017.06.13

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