一种热盘及烘干装置的制作方法

本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种热盘及烘干装置。

背景技术：

玻璃基板上的光刻技术为显示面板加工过程中的关键技术，在光刻工艺过程中，玻璃基板在涂覆光刻胶前清洗完成后、涂覆光刻胶后或显影并清洗完成后均需用到烘干装置，此烘干装置可干燥玻璃基板上的水分，固化光刻胶，以利于曝光和显影过程的进行。为了保证光刻图形的宽度和关键尺寸的均一性，光刻工艺对烘干装置的烘干均匀性有较高的要求。

现有技术中的一种烘干装置如图1所示，参见图1，烘干装置包括壳体(图中未示出)，壳体内设有热盘01，热盘包括热盘本体011以及铺设于热盘本体011下表面的加热丝012，热盘本体011的上表面用于承载玻璃基板，加热丝012发出的热量可通过热盘本体011传递至热盘本体011上的玻璃基板，以干燥玻璃基板，或固化玻璃基板上的光刻胶。

但是，由于加热丝012与热盘本体011下表面为线接触，加热丝012发出的热量通常不能均匀地传递至热盘本体011上，从而不能对热盘本体011上的玻璃基板进行均匀加热，进而难以保证光刻图形宽度和关键尺寸的均一性。为了提高加热丝012加热温度的均匀性，可以在热盘本体011下表面均匀铺设多个加热丝单元，通过多个加热丝单元同时加热以提高加热均匀性，但是，随着加热丝单元的数量增多，加热丝012的制作成本以及设置难度也相应增加。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供一种热盘及烘干装置，能够提高热盘加热温度的均一性，保证光刻图形宽度和关键尺寸的均一性，而且能够减小加热元件的制作成本，降低加热元件的制作难度。

为达到上述目的，本实用新型的实施例提供了一种热盘，包括热盘本体以及设置于所述热盘本体下方的加热元件，所述热盘本体与所述加热元件之间设有热传递材料，所述热传递材料可将所述加热元件发出的热量沿横向均匀分散后传递至所述热盘本体。

可选的，所述热传递材料为固体，且所述热传递材料包括上下层叠设置的多个热传导层，多个所述热传导层中的至少一个所述热传导层的热传导率小于相邻下方所述热传导层的热传导率。

可选的，所述热传递材料包括密闭容器，所述密闭容器内填充有液体材料。

可选的，所述密闭容器由玻璃材料制作。

可选的，所述液体材料的沸点大于150摄氏度。

可选的，所述液体材料的动力粘度小于100厘泊。

可选的，所述液体材料为乙二醇。

可选的，还包括环形管路，所述密闭容器串接于所述环形管路中，所述环形管路中还串接有循环驱动装置，所述循环驱动装置用于驱动所述密闭容器内的液体材料沿所述环形管路循环流动。

可选的，所述加热元件为铺设于同一平面内的电热丝。

可选的，所述热传递材料内、靠近所述热盘本体的位置设有温度检测单元，所述温度检测单元和所述加热元件均连接于控制单元，所述控制单元可根据所述温度检测单元检测得到的温度值，控制所述加热元件的加热功率。

本实用新型实施例还提供了一种烘干装置，包括壳体，所述壳体的侧壁或顶壁上开设有玻璃板入口，所述玻璃板入口处设有门体，所述门体用于打开或关闭所述玻璃板入口，所述壳体内的底部设有如上任一技术方案所述的热盘。

本实用新型实施例提供的一种热盘及烘干装置，在热盘本体与加热元件之间设置热传递材料，通过此热传递材料可将加热元件发出的热量沿横向均匀分散后传递至热盘本体，由此提高了热盘温度的均一性，保证了光刻图形宽度和关键尺寸的均一性。而且，采用一个加热元件通过热传递材料分散热量后，即可达到多个加热元件同时加热的温度均一性效果，因此可减少加热元件的设置数量，减小了加热元件的成本，降低了加热元件的设置复杂度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术热盘的结构示意图；

图2为本实用新型实施例热盘的一种结构示意图；

图3为本实用新型实施例热盘中热传递材料的一种结构示意图；

图4为本实用新型实施例热盘中热传递材料的另一种结构示意图；

图5为本实用新型实施例热盘的另一种结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

参照图2，图2为本实用新型实施例热盘的一个具体实施例，本实施例的热盘包括热盘本体1以及设置于所述热盘本体1下方的加热元件2，所述热盘本体1与所述加热元件2之间设有热传递材料3，所述热传递材料3可将所述加热元件2发出的热量沿横向均匀分散后传递至所述热盘本体1。

本实用新型实施例提供的一种热盘，在热盘本体1与加热元件2之间设置热传递材料3，通过此热传递材料3可将加热元件2发出的热量沿横向均匀分散后传递至热盘本体1，由此提高了热盘温度的均一性，保证了光刻图形宽度和关键尺寸的均一性。而且，采用一个加热元件2通过热传递材料3分散热量后，即可达到多个加热元件2同时加热的温度均一性效果，因此可减少加热元件2的设置数量，减小了加热元件2的成本，降低了加热元件2的设置复杂度。

在上述实施例中，热盘本体1的材料可以为不锈钢、铝、铜等材料，在此不做具体限定，只要热盘本体1能够承载玻璃基板，且为热的导体即可。

在图2所示的实施例中，为了使热传递材料3能够沿横向均匀分散加热元件2产生的热量，热传递材料3可以包括以下实施例：

实施例一：如图3所示，热传递材料3为固体，且热传递材料3包括上下层叠设置的多个热传导层31，多个热传导层31中的至少一个热传导层31的热传导率小于相邻下方热传导层31的热传导率，由此可在此上下相邻两个热传导层31之间形成一个热能聚集带，使热量有一定时间能够进行横向扩散，以实现温度的横向均匀化。此多层结构可聚集多个类似的热能聚集带，以实现温度的多次横向分散，从而保证热盘本体1的温度均一性。

示例的，如图4所示，热传递材料3包括由下至上依次层叠设置的第一层l1、第二层l2和第三层l3，第一层l1由铜制作，第二层l2由铝制作，第三层l3由铜制作，铜的热传导率为370，铝的热传导率为230，370＞230，因此第二层l2的热传导率小于第一层l1的热传导率，加热元件2产生热量传递至第一层l1后，由于第二层l2的热传导率小于第一层l1的热传导率，热量由第一层l1传递至第二层l2的速度较小，在第一层l1内沿横向扩散的速度较大，因此第一层l1的热量有更多的时间进行横向扩散，以实现横向上的温度均匀化，在横向上均匀化之后可提高进入第二层l2的温度均一性，从而提高由第二层l2进入第三层l3的温度均一性，进而提高由第三层l3进入热盘本体的温度均一性。

需要说明的是，在本实用新型实施例中，仅以上述示例为例进行说明，上述示例并不对本实用新型实施例构成限定。

在图3所示的实施例中，热传导层31可以由金属材料制作，也可以由非金属材料制作，在此不做具体限定，只要此热传导层31为热的导体即可。

实施例二：如图5所示，热传递材料3包括密闭容器32，密闭容器32内填充有液体材料33，加热元件2产生的热量可传递至密闭容器32内的液体材料33中，由于液体材料33内部各部分在存在温度差时，密度会产生差异，密度较小的部分与密度较大的部分相互挤压，使液体材料33内部的流动性增大，形成热对流，在此热对流的作用下，温度将快速分散至液体材料33内的各个区域，从而实现了温度的均匀化。而且，由于热对流速度通常远远大于热传导速度，液体材料33内部温度的分散速度远远大于液体材料33的温度传导至热盘本体1的速度，因此液体材料33中的温度在传导至热盘本体1之前，已快速实现了内部的均匀化，因此通过此液体材料33可提高进入热盘本体1的温度均一性。

在上述实施例中，密闭容器32可以由不锈钢制作，也可以由玻璃材料制作，在此不做具体限定。但是，相比于不锈钢，玻璃材料的化学性质稳定，不易与密闭容器32内的液体材料33产生化学反应，寿命较长，因此优选密闭容器32由玻璃材料制作。

在图5所示的实施例中，若液体材料33的沸点较小，在加热的过程中，此液体材料33将会产生汽化，从而增大密闭容器32内部的压强，最终导致密闭容器32爆炸。为了避免上述问题，优选液体材料33的沸点大于150摄氏度，液体材料33在此沸点范围内，可保证在加热的过程中液体材料33的相态稳定，避免密闭容器32因内部压强过大而产生爆炸。

在图5所示的实施例中，为了避免液体材料33内部的粘度对热对流产生的阻力较大，优选的，液体材料33的动力粘度小于100厘泊，液体材料33在此动力粘度范围内，粘度较小，对热对流产生的阻力较小，利于实现液体材料33内温度的快速均匀化。

具体的，液体材料33可以为乙二醇，乙二醇为常用材料，容易实现，且粘度低，有利于实现温度的快速均匀化，沸点高，相态稳定性较好。

进一步的，为了增大液体材料33内部的流动性，优选的，如图5所示，还包括环形管路5，密闭容器32串接于环形管路5中，环形管路5中还串接有循环驱动装置6，循环驱动装置6用于驱动密闭容器32内的液体材料33沿环形管路5循环流动，由此通过循环驱动装置6的外力作用增大了液体材料33的流动性，可进一步提高液体材料33内的热对流速度，缩短液体材料33实现温度均匀化的时间。

其中，循环驱动装置6可以为循环泵，循环泵为常用的液体循环驱动装置，容易实现。

在图2所示的实施例中，加热元件2可以呈棒状，也可以呈丝状，在此不做具体限定。但是，为了提高加热元件2对热传递材料3的加热温度均一性，优选的，加热元件2为铺设于同一平面内的电热丝，电热丝便于网状布置，成本较低，且铺设于平面内的电热丝，可将热量分散传递至热传递材料3的整个横向平面内，加热温度的均一性更优。

为了对热盘的加热温度进行控制，优选的，如图2或图5所示，热传递材料3内、靠近热盘本体1的位置设有温度检测单元4，温度检测单元4和加热元件2均连接于控制单元(图中未示出)，控制单元可根据温度检测单元4检测得到的温度值，控制加热元件2的加热功率，由此通过温度检测单元4、加热元件2和控制单元组成的检测控制系统，实现了热盘加热温度的控制。由于热传递材料3靠近热盘本体1的一侧温度均一性较高，因此仅需在热传递材料3内靠近热盘本体1的位置设置一个温度检测单元4即可检测到可靠的加热温度值，而在如图1所示的现有技术中，由于加热温度均一性较低，因此需设置多个温度检测单元02同时检测并进行数据处理后才能得到可靠的加热温度值，由此将温度检测单元设置于热传递材料3内靠近热盘本体1的位置，可减少温度检测单元4的设置数量，降低温度控制复杂度，节省成本。

本实用新型实施例还提供了一种烘干装置，包括壳体，所述壳体的侧壁或顶壁上开设有玻璃板入口，所述玻璃板入口处设有门体，所述门体用于打开或关闭所述玻璃板入口，所述壳体内的底部设有如上任一技术方案所述的热盘。

由于在本实施例的烘干装置中使用的热盘与上述热盘的各实施例中提供的热盘相同，因此二者能够解决相同的技术问题，并达到相同的预期效果。

关于本实用新型实施例烘干装置的其他构成等已为本领域的技术人员所熟知，在此不再详细说明。

在本说明书的描述中，具体特征、结构或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。