超硬远红外镀膜膜层结构的制作方法

文档序号:12256891阅读:来源:国知局

技术特征:

1.超硬远红外镀膜膜层结构,其特征在于:包括底膜层(110)和顶膜层(120),底膜层(110)和顶膜层(120)间设有多个中间膜层单元,中间膜层单元包括自下而上依次层叠的中间膜层组件A和中间膜层组件B;底膜层(110)的材质为五氧化二钽,中间膜层组件A的材质为二氧化硅,中间膜层组件B的材质为四氮化三硅,顶膜层(120)的材质为二氧化硅。

2.根据权利要求1所述的超硬远红外镀膜膜层结构,其特征在于:底膜层(110)的厚度为89.52nm。

3.根据权利要求2所述的超硬远红外镀膜膜层结构,其特征在于:顶膜层(120)的厚度为84.05nm。

4.根据权利要求3所述的超硬远红外镀膜膜层结构,其特征在于:所述多个中间膜层单元的数量为16个,分别为第一至第十六中间膜层单元。

5.根据权利要求4所述的超硬远红外镀膜膜层结构,其特征在于:第一中间膜层单元包括第一中间膜层组件A(131a)和第一中间膜层组件B(132a),第一中间膜层组件A(131a)的厚度为64.65nm,第一中间膜层组件B(132a)的厚度为82.16nm;

第二中间膜层单元包括第二中间膜层组件A(131b)和第二中间膜层组件B(132b),第二中间膜层组件A(131b)的厚度为129.30nm,第二中间膜层组件B(132b)的厚度为82.16nm;

第三中间膜层单元包括第三中间膜层组件A(131c)和第三中间膜层组件B(132c),第三中间膜层组件A(131c)的厚度为129.30nm,第三中间膜层组件B(132c)的厚度为82.16nm;

第四中间膜层单元包括第四中间膜层组件A(131d)和第四中间膜层组件B(132d),第四中间膜层组件A(131d)的厚度为129.30nm,第四中间膜层组件B(132d)的厚度为82.16nm;

第五中间膜层单元包括第五中间膜层组件A(131e)和第五中间膜层组件B(132e),第五中间膜层组件A(131e)的厚度为129.30nm,第五中间膜层组件B(132e)的厚度为82.16nm;

第六中间膜层单元包括第六中间膜层组件A(131f)和第六中间膜层组件B(132f),第六中间膜层组件A(131f)的厚度为129.30nm,第六中间膜层组件B(132f)的厚度为82.16nm;

第七中间膜层单元包括第七中间膜层组件A(131g)和第七中间膜层组件B(132g),第七中间膜层组件A(131g)的厚度为129.30nm,第七中间膜层组件B(132g)的厚度为82.16nm;

第八中间膜层单元包括第八中间膜层组件A(131h)和第八中间膜层组件B(132h),第八中间膜层组件A(131h)的厚度为129.30nm,第八中间膜层组件B(132h)的厚度为82.16nm;

第九中间膜层单元包括第九中间膜层组件A(131i)和第九中间膜层组件B(132i),第九中间膜层组件A(131i)的厚度为148.70nm,第九中间膜层组件B(132i)的厚度为106.81nm;

第十中间膜层单元包括第十中间膜层组件A(131j)和第十中间膜层组件B(132j),第十中间膜层组件A(131j)的厚度为168.09nm,第十中间膜层组件B(132j)的厚度为106.81nm;

第十一中间膜层单元包括第十一中间膜层组件A(131k)和第十一中间膜层组件B(132k),第十一中间膜层组件A(131k)的厚度为168.09nm,第十一中间膜层组件B(132k)的厚度为106.81nm;

第十二中间膜层单元包括第十二中间膜层组件A(131l)和第十二中间膜层组件B(132l),第十二中间膜层组件A(131l)的厚度为168.09nm,第十二中间膜层组件B(132l)的厚度为106.81nm;

第十三中间膜层单元包括第十三中间膜层组件A(131m)和第十三中间膜层组件B(132m),第十三中间膜层组件A(131m)的厚度为168.09nm,第十三中间膜层组件B(132m)的厚度为106.81nm;

第十四中间膜层单元包括第十四中间膜层组件A(131n)和第十四中间膜层组件B(132n),第十四中间膜层组件A(131n)的厚度为168.09nm,第十四中间膜层组件B(132n)的厚度为106.81nm;

第十五中间膜层单元包括第十五中间膜层组件A(131o)和第十五中间膜层组件B(132o),第十五中间膜层组件A(131o)的厚度为168.09nm,第十五中间膜层组件B(132o)的厚度为106.81nm;

第十六中间膜层单元包括第十六中间膜层组件A(131p)和第十六中间膜层组件B(132p),第十六中间膜层组件A(131p)的厚度为168.09nm,第十六中间膜层组件B(132p)的厚度为106.81nm。

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