掩膜支撑结构的制作方法

本实用新型涉及掩膜板技术领域，特别是涉及一种掩膜支撑结构。

背景技术：

目前，传统大开口的掩膜板的一体式支撑架存在的问题有以下两点：第一、传统制作方法是在框架上焊接整张网，即焊接的一体式支撑架，所以在制作过程中，张网需考虑整体的位置精度、受力，制作工艺复杂，耗时较长；第二、传统大开口掩膜板是一个整体，一旦有部分位置意外损坏，整张一体式支撑架随之报废，使用成本高。

针对传统大开口掩膜板具有成本高且无法局部修复等缺陷，市面上出现了了一种新型的大开口掩膜板结构，即使用支撑条和遮挡条制作大开口掩膜板的支撑架，由于遮挡条和支撑条价格低廉，制作结构成本低，且由于遮挡条与支撑条都是单独焊接，如支撑架出现部分位置损坏，可以直接将相应位置的遮挡条或者支撑条拆除，重新焊接，这样可以大幅度提高大开口掩膜板的支撑架的使用寿命。

然而，由于遮挡条和支撑条分别具有一定的厚度，两者在连接交叉位置处的厚度相当于遮挡条和支撑条的厚度之和，这样，会导致遮挡条和支撑条在交叉连接位置处产生局部的弯折变形的问题，当将掩膜板放置在遮挡条上时，容易出现掩膜板与遮挡条之间贴合不够紧密的问题。

技术实现要素：

基于此，有必要提供一种遮挡条和支撑条在连接交叉位置处不易变形以及能够使掩膜板与遮挡条较紧密贴合的掩膜支撑结构。

一种掩膜支撑结构，包括框架及支撑架，所述框架具有中空结构，所述框架具有相对设置的两个第一侧边以及相对设置的两个第二侧边，所述支撑架包括支撑条和遮挡条，所述支撑条的两个端部分别与两个所述第一侧边连接，所述遮挡条的两个端部分别与两个所述第二侧边连接，其特征在于，

所述掩膜支撑结构在所述支撑条与所述遮挡条的连接交叉位置处设置以下结构：所述支撑条开设有第一嵌置槽，所述遮挡条开设有第二嵌置槽，所述第一嵌置槽与所述第二嵌置槽相对齐，以使所述支撑条与所述遮挡条相互嵌置。

在其中一个实施例中，还包括掩膜板，所述掩膜板设置于所述遮挡条上。

在其中一个实施例中，所述支撑条与所述遮挡条垂直连接。

在其中一个实施例中，所述支撑条的厚度与所述遮挡条的厚度相同。

在其中一个实施例中，所述第一嵌置槽的深度为所述支撑条的厚度的二分之一。

在其中一个实施例中，所述第二嵌置槽的深度为所述遮挡条的厚度的二分之一。

在其中一个实施例中，所述支撑条具有长方体结构。

在其中一个实施例中，所述遮挡条具有长方体结构。

在其中一个实施例中，所述第一嵌置槽的宽度与所述遮挡条的宽度相同，所述第二嵌置槽的宽度与所述支撑条的厚度相同。

在其中一个实施例中，所述支撑架设置多个所述支撑条及多个所述遮挡条，各所述支撑条间隔设置，各所述遮挡条间隔设置，各所述支撑条及所述各所述遮挡条连接形成网状结构。

上述掩膜支撑结构的支撑条和遮挡条通过第一嵌置槽与第二嵌置槽相对齐，能够减轻支撑条与遮挡条在连接交叉位置处厚度较大的问题，从而能够有效缓解支撑条和遮挡条在连接交叉位置处的变形问题，当将掩膜板放置在遮挡条上时，能够使遮挡条与掩膜板贴合地更加紧密。

附图说明

图1为本实用新型一实施方式的掩膜支撑结构的结构示意图；

图2为图1所示的掩膜支撑结构的另一视角的结构示意图；

图3为本实用新型一实施方式的支撑条和遮挡条的结构示意图；

图4为图3在A处的放大图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请一并参阅图1及图2，掩膜支撑结构10包括框架100及支撑架200，支撑架200设置于框架100上，框架100用于对支撑架200起到支撑固定作用。支撑架200用于支撑掩膜板，即支撑架200远离框架的一侧面用于放置掩膜板，如此，蒸镀气体能够更好地通过所述掩膜板上的图案开口达到至基板表面。

请参阅图1，框架100具有中空结构，例如，所述框架具有中空方形环状结构。框架100具有相对设置的两个第一侧边110以及相对设置的两个第二侧边120，相对设置的两个第一侧边110以及相对设置的两个第二侧边120用于安装固定支撑架200。即，框架100具有两对侧边，包括一对第一侧边110以及一对第二侧边120，其中，两个第一侧边110相对设置，两个第二侧边120相对设置。

请参阅图1，支撑架200包括支撑条210和遮挡条220，支撑条210的两个端部分别与两个第一侧边110连接，用于对支撑条210起到安装支撑作用。遮挡条220的两个端部分别与两个第二侧边120连接，用于遮挡条220起到安装支撑作用。

例如，所述支撑条与所述遮挡条垂直连接；又如，所述支撑条具有长方体结构；又如，所述遮挡条具有长方体结构；又如，所述支撑架设置多个所述支撑条及多个所述遮挡条，各所述支撑条间隔设置，各所述遮挡条间隔设置，各所述支撑条及所述各所述遮挡条连接形成网状结构，这样，用于提高所述掩膜支撑结构的整体结构的稳定性。

例如，所述掩膜支撑结构在所述支撑条与所述遮挡条的连接交叉位置处设置以下结构：所述支撑条开设有第一嵌置槽，所述遮挡条开设有第二嵌置槽，所述第一嵌置槽与所述第二嵌置槽相对齐，以使所述支撑条与所述遮挡条相互嵌置。例如，所述掩膜支撑结构在所述支撑条与所述遮挡条的连接交叉位置处设置互嵌结构，所述互嵌结构包括以下部分：所述支撑条开设有第一嵌置槽，所述遮挡条开设有第二嵌置槽，所述第一嵌置槽与所述第二嵌置槽相对齐，以使所述支撑条与所述遮挡条相互嵌置。也就是说，请一并参阅图3及图4，位于支撑条210与遮挡条220的连接交叉位置处：支撑条210开设有第一嵌置槽211，遮挡条220开设有第二嵌置槽221，第一嵌置槽211与第二嵌置槽221相对齐，即当将遮挡条220贴合在支撑条210上时，支撑条210与遮挡条220的连接交叉位置处，第一嵌置槽211与第二嵌置槽221相互重合，也即支撑条210与遮挡条220通过第一嵌置槽211与第二嵌置槽221于连接交叉位置处实现扣接的效果，类似于榫卯结构，以实现牢靠地扣接效果。也就是说，支撑条210和遮挡条220通过第一嵌置槽211与第二嵌置槽221相对齐，能够减轻支撑条210与遮挡条220在连接交叉位置处厚度较大的问题，从而能够有效缓解支撑条210和遮挡条220在连接交叉位置处的变形问题，即支撑条210和遮挡条220在连接交叉位置处不易发生变形问题，如此，当将掩膜板放置在遮挡条220上时，能够使遮挡条220与掩膜板贴合地更加紧密。

例如，所述支撑条的厚度与所述遮挡条的厚度相同；又如，所述第一嵌置槽的深度为所述支撑条的厚度的二分之一；又如，所述第二嵌置槽的深度为所述遮挡条的厚度的二分之一；又如，所述第一嵌置槽的宽度与所述遮挡条的宽度相同，所述第二嵌置槽的宽度与所述支撑条的厚度相同，这样，能够完全消除支撑条210和遮挡条220在连接交叉位置处分别与支撑条210或遮挡条220之间的厚度差，进一步提高了所述支撑架的整体结构的平整度。

例如，所述第一嵌置槽及所述第二嵌置槽均为蚀刻槽，即两者通过蚀刻工艺形成。

例如，所述掩膜支撑结构还包括掩膜板，所述掩膜板设置于所述遮挡条上；又如，所述掩膜板的两个侧边分别与两个所述遮挡条贴合。

上述掩膜支撑结构10的支撑条210和遮挡条220通过第一嵌置槽211与第二嵌置槽221相对齐，能够减轻支撑条210与遮挡条220在连接交叉位置处厚度较大的问题，从而能够有效缓解支撑条210和遮挡条220在连接交叉位置处的变形问题，当将掩膜板放置在遮挡条220上时，能够使遮挡条220与掩膜板贴合地更加紧密。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。