掩膜支撑结构的制作方法

文档序号:12733300阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩膜支撑结构,包括框架及支撑架,所述框架具有中空结构,所述框架具有相对设置的两个第一侧边以及相对设置的两个第二侧边,所述支撑架包括支撑条和遮挡条,所述支撑条的两个端部分别与两个所述第一侧边连接,所述遮挡条的两个端部分别与两个所述第二侧边连接,其特征在于,

所述掩膜支撑结构在所述支撑条与所述遮挡条的连接交叉位置处设置以下结构:所述支撑条开设有第一嵌置槽,所述遮挡条开设有第二嵌置槽,所述第一嵌置槽与所述第二嵌置槽相对齐,以使所述支撑条与所述遮挡条相互嵌置。

2.根据权利要求1所述的掩膜支撑结构,其特征在于,还包括掩膜板,所述掩膜板设置于所述遮挡条上。

3.根据权利要求1所述的掩膜支撑结构,其特征在于,所述支撑条与所述遮挡条垂直连接。

4.根据权利要求1所述的掩膜支撑结构,其特征在于,所述支撑条的厚度与所述遮挡条的厚度相同。

5.根据权利要求4所述的掩膜支撑结构,其特征在于,所述第一嵌置槽的深度为所述支撑条的厚度的二分之一。

6.根据权利要求5所述的掩膜支撑结构,其特征在于,所述第二嵌置槽的深度为所述遮挡条的厚度的二分之一。

7.根据权利要求1所述的掩膜支撑结构,其特征在于,所述支撑条具有长方体结构。

8.根据权利要求7所述的掩膜支撑结构,其特征在于,所述遮挡条具有长方体结构。

9.根据权利要求1所述的掩膜支撑结构,其特征在于,所述第一嵌置槽的宽度与所述遮挡条的宽度相同,所述第二嵌置槽的宽度与所述支撑条的厚度相同。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的掩膜支撑结构,其特征在于,所述支撑架设置多个所述支撑条及多个所述遮挡条,各所述支撑条间隔设置,各所述遮挡条间隔设置,各所述支撑条及所述各所述遮挡条连接形成网状结构。

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