一种彩色滤光片的制备基板及彩色滤光片基板的制造方法与流程

文档序号:15888247发布日期:2018-11-09 19:43阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种彩色滤光片的制备基板及彩色滤光片基板的制造方法,包括:有效区域,用于在其内形成矩阵排列的第一颜色色阻块、第二颜色色阻块和第三颜色色阻块;非有效区域,设置在所述有效区域的周围;对位精度检测图案,设置在所述非有效区域内,且包括第一对位精度检测图案、第二对位精度检测图案和第三对位精度检测图案,所述制备基板能够利用同一所述光罩图案而在所述制备基板上形成所述第一颜色色阻块、所述第二颜色色阻块和所述第三颜色色阻块。通过上述方式,本发明能够确定不同颜色层间图形的相对位置精度,提高产品质量。

技术研发人员:刘学敏
受保护的技术使用者:武汉华星光电技术有限公司
技术研发日:2018.05.29
技术公布日:2018.11.09
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