1.一种热板式基板干燥装置，其特征在于，包括干燥室(1)和整流气室(2)，所述整流气室(2)设置于所述干燥室(1)的顶部，其中，
所述整流气室(2)的侧壁上设置有至少一个进气口(3)，所述整流气室(2)的底面为整流板(7)，所述整流板(7)上开设有多个联通所述干燥室(1)与所述整流气室(2)的气孔(8)；
所述干燥室(1)内设置有加热板(4)和基板支承件(5)，且所述干燥室(1)的侧壁上设置有至少两个排气口(6)。
2.根据权利要求1所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述整流板(7)上安装有多个气孔调节板(9)，所述气孔调节板(9)能够在所述整流板(7)上平移，其中，所述气孔调节板(9)上开设有多个调节孔(10)。
3.根据权利要求2所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述气孔调节板(9)通过紧固件连接在所述整流板(7)上。
4.根据权利要求3所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述整流板(7)上开设有安装孔(11)，所述气孔调节板(9)上开设有与所述安装孔(11)配合使用的安装槽(12)，所述紧固件依次穿过所述安装孔(11)和所述安装槽(12)，所述气孔调节板(9)可沿所述安装槽(12)移动。
5.根据权利要求3所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述气孔(8)与所述调节孔(10)的孔径相同，且多个所述气孔(8)的孔间距与多个所述调节孔(10)的孔间距相同。
6.根据权利要求1所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述干燥室(1)和所述整流气室(2)通过锁附机构(13)锁定。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述整流气室(2)的侧壁上设置有两个进气口(3)，分别位于所述整流气室(2)相对的两个侧壁上。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述干燥室(1)的侧壁上设置有四个排气口(6)，分别位于所述干燥室(1)的四个侧壁上。