一种热板式基板干燥装置的制作方法

文档序号:15611057发布日期:2018-10-09 20:29阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种热板式基板干燥装置,包括干燥室(1)和整流气室(2),所述整流气室(2)设置于所述干燥室(1)的顶部,其中,所述整流气室(2)的侧壁上设置有至少一个进气口(3),所述整流气室(2)的底面为整流板(7),所述整流板(7)上开设有多个联通所述干燥室(1)与所述整流气室(2)的气孔(8);所述干燥室(1)内设置有加热板(4)和基板支承件(5),且所述干燥室(1)的侧壁上设置有至少两个排气口(6)。本实用新型的热板式基板干燥装置有效地减少了吹向玻璃基板的气流的不均匀乱流现象,缓解了表面湿润的配向膜发生色差的情况。

技术研发人员:魏创
受保护的技术使用者:咸阳彩虹光电科技有限公司
技术研发日:2018.02.27
技术公布日:2018.10.09

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