一种卡合锁紧装置及具有其的光罩车的制作方法

本实用新型涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种卡合锁紧装置及具有其的光罩车。

背景技术：

液晶显示面板具有体积小、厚度薄、重量轻及功耗低使其备受用户的喜爱，因此大量的液晶显示面板投入生产。液晶显示面板包括彩膜基板、阵列基板及其之间的液晶层。在阵列基板的制造过程中需要进行多次光刻蚀，光刻蚀工艺流程是一个较为复杂的过程，其中曝光是光刻蚀技术中最重要的工艺环节。曝光需要光罩、光源和基底等材料。光刻蚀是一种多步骤的图案转移过程，首先在光罩上形成所需要的图案，之后通过光刻工艺把所需要的图案转移到基板表面的每一层。具体为图案被转移到光刻胶层，即光致抗蚀剂层。光刻胶层经过一次光罩曝光后自身性质和结构发生变化，即由原来的可溶性物质变为非可溶性物质或者相反。再通过化学溶剂把可以溶解的部分去掉，形成与光罩图案对应的镂空结构，至此，光罩的图案就转移到光刻胶层。其次，把图案从光刻胶层转移到基板上。主要是通过不同的刻蚀方法把基板上没有被光刻胶保护的部分的薄膜层去掉，图案转移就彻底完成。在现有的阵列基板制造工艺中，每次的曝光工艺通常需要使用到光罩车。

图1是现有技术中光罩车卡合装置结构示意图，如图1所示，现有的光罩车是通过光罩车手臂上的卡钮1和光罩盒3底座上的卡槽2固定，但是现有的固定方式会遇到如下问题：1、卡钮1位置固定，若光罩盒3位置偏移无法自动校正，拉动光罩车导致光罩盒3滑落致使光罩损坏；2、卡钮1外表光滑，长时间使用会有磨损导致卡钮1变形以致和卡槽2无法完全卡紧，对于上述情况，不仅费时，且大大提高制造成本。

技术实现要素：

鉴于以上问题，本实用新型提供一种卡合锁紧装置及具有其的光罩车。卡合锁紧装置可自动校正光罩盒的位置，减少人为接触；可将光罩盒与光罩车锁紧，避免因人为不当操作导致光罩滑落损坏。为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

一种卡合锁紧装置包括定位轴，其中，还包括凸出卡合器和液压传动杆；所述凸出卡合器通过所述液压传动杆与所述定位轴可伸缩连接；所述凸出卡合器远离所述定位轴的外边缘设置有啮齿结构。

优选地，所述定位轴的上端内部设置有压力感应器，中端内部设置有液压传动杆，所述压力感应器与所述液压传动杆电连接。

优选地，所述凸出卡合器为半扇型结构且均匀围绕所述定位轴。

优选地，所述凸出卡合器为圆环体型。

优选地，所述定位轴中端内部设置有通道，所述液压传动杆设置于所述通道内。

优选地，所述液压传动杆可收缩于所述定位轴的内部，所述凸出卡合器靠近所述定位轴的表面与所述定位轴侧壁贴合。

优选地，所述凸出卡合器的啮齿结构与卡槽中的第一啮齿结构相啮合。

优选地，所述卡槽内部设置有凹槽，所述凹槽内设置有所述第一啮齿结构。

本实用新型还公开了一种光罩车，包括光罩车手臂和光罩盒，以及还具有上述的卡合锁紧装置。

附图说明

图1是现有技术中光罩车卡合装置结构示意图；

图2是本实用新型实施例一卡合锁紧装置俯视结构示意图；

图3是本实用新型实施例一卡合锁紧装置主视结构示意图；

图4是本实用新型实施例一卡合锁紧装置伸展时俯视结构示意图；

图5是本实用新型实施例一卡合锁紧装置与卡槽卡合的局部示意图；

图6是本实用新型实施例二卡合锁紧装置伸展时俯视结构示意图；

图7是本实用新型实施例二卡合锁紧装置主视结构示意图；

图8是本实用新型提供的具有上述卡合锁紧装置的光罩车局部示意。

1-卡钮，2-卡槽，3-光罩盒，10-卡合锁紧装置，11-定位轴，111-通道，12-凸出卡合器，121-啮齿结构，13-液压传动杆，20-卡槽，21-凹槽，22-第一啮齿结构，30-光罩车，31-光罩车手臂，32-光罩盒

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本实用新型的许多特定的细节，例如部件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本实用新型。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本实用新型。

应当理解，在描述部件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将部件翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一个区域“下面”或“下方”。

实施例一

图2是本实用新型实施例一卡合锁紧装置俯视结构示意图；

图3是本实用新型实施例一卡合锁紧装置主视结构示意图；

图4是本实用新型实施例一卡合锁紧装置伸展时俯视结构示意图；

如图2至图4所示，卡合锁紧装置10包括定位轴11，凸出卡合器12，液压传动杆13。本实用新型以定位轴11为圆柱体为例进行说明，但并不限于此，在其他实施例中，定位轴11可以为球体或者多边形体。定位轴11的上端内部设置有压力感应器(图中未示出)，压力感应器用于感应施加在卡合锁紧装置10上压力的大小。定位轴11的中端内部设置有液压传动杆13，液压传动杆13上的液压传感器(图中未示出)与上述压力感应器电信号连接，液压传感器根据接收到的压力感应器传递的压力信号控制液压传动杆13伸缩。定位轴11的中端内部设置有通道111，液压传动杆13设置在通道111中，液压传动杆13可沿通道111伸缩。液压传动杆13具有液压传感器的一端置于定位轴11的内部，另一端固定连接凸出卡合器12，其连接方式可以为焊接，铆接等，本实用新型并不限于此。

本实施例凸出卡合器12的数量以三个为例进行说明，但并不限于此。凸出卡合器12呈半扇型结构且均匀间隔围绕定位轴11，凸出卡合器12远离定位轴11的外边缘设置有啮齿结构121。凸出卡合器12通过液压传动杆13与定位轴11可伸缩连接，液压传动杆13可收缩于定位轴11内部，液压传动杆13收缩于定位轴11内部时，凸出卡合器12靠近定位轴11且与定位轴11的侧壁贴合。

图5是本实用新型实施例一卡合锁紧装置与卡槽卡合的局部示意图；

结合图4和图5所示，卡合锁紧装置10的工作原理如下：定位轴11上端的压力感应器用于感应施加在卡合锁紧装置10上的压力大小。当施加的压力大于压力感应器的压力阈值时，压力感应器传递一个压力信号给液压传感器，液压传感器根据接收到压力信号控制液压传动杆13伸展，液压传动杆13带动凸出卡合器12远离定位轴11。当施加的压力小于压力感应器的压力阈值时，压力感应器传递一个压力信号给液压传感器，液压传感器控制液压传动杆13收缩，凸出卡合器12向定位轴11靠近并与定位轴11的侧壁贴合。

如图5所示，与卡合锁紧装置10配合的卡槽20内部设置有环型凹槽21，凹槽21内部设置有第一啮齿结构22，第一啮齿结构22与凸出卡合器12上的啮齿结构121相啮合，从而使卡合锁紧装置10与卡槽20自动卡合锁紧，此时卡合锁紧装置10在卡槽20内部沿水平方向不能活动，沿竖直方向可上下活动。卡合锁紧装置10与卡槽20卡合的方式如下：1、将卡合锁紧装置10对准卡槽20放置，向下按压定位轴11；2、使凸出卡合器12卡进凹槽21中，液压传动杆13带动凸出卡合器12向凹槽21中伸展，此时，凸出卡合器12上的啮齿结构121与第一啮齿结构22相啮合；3、卡合锁紧装置10与卡槽20自动卡合锁紧，此时卡合锁紧装置10在卡槽20内部沿水平方向不能活动，沿竖直方向可上下活动；4、解锁时，往上抬起定位轴11，液压传动杆13收缩带动凸出卡合器12向定位轴11靠近并与定位轴11的侧壁贴合；5、凸出卡合器12上的啮齿结构121与第一啮齿结构22分离；6、卡合锁紧装置10从卡槽20中取出。

实施例二

图6是本实用新型实施例二卡合锁紧装置伸展时俯视结构示意图；

图7是本实用新型实施例二卡合锁紧装置主视结构示意图；

如图6和图7所示，本实施例的卡合锁紧装置与实施例一的卡合锁紧装置的区别在于：凸出卡合器12的结构不同，本实施例的凸出卡合器12呈一完整的圆环体型围绕定位轴11，凸出卡合器12远离定位轴11的外边缘设置有啮齿结构121。凸出卡合器12通过液压传动杆13与定位轴11可伸缩连接，液压传动杆13数量为四个且对称分布，液压传动杆13数量不限于此，可以根据实际需要选择。液压传动杆13收缩于定位轴11内部时，凸出卡合器12靠近定位轴11且与定位轴11的侧壁贴合。本实施例的卡合锁紧装置的其他结构原理与实施例一相同，本实施例的卡合锁紧装置的工作原理与实施例一也相同，在此不在过多赘述。

图8是本实用新型提供的具有上述卡合锁紧装置的光罩车局部示意图。

本实用新型提供一种具有上述卡合锁紧装置10的光罩车30，如图8所示，示意出光罩车30的局部结构，光罩车包括光罩车手臂31，光罩盒32，以及具有上述卡合锁紧装置10。卡合锁紧装置10位于光罩车手臂上31上，光罩盒32上具有与卡合锁紧装置10配合的卡槽20。在拉动光罩车30时，卡合锁紧装置10卡合于光罩盒32上的卡槽20内并锁紧，防止光罩车30在移动过程中光罩盒32掉落，损伤光罩盒32；光罩盒32位置偏移时，卡合锁紧装置10自动校正位置，无需人为手动校正。拆卸光罩盒32时，向上抬起光罩盒32，卡合锁紧装置10从卡槽20中脱离，从而使光罩盒32与光罩车手臂31分离。

本实用新型的有益效果是：可自动校正光罩盒的位置，减少人为接触，避免光罩被静电击穿；可将光罩盒与光罩车锁紧，避免因人为不当操作导致光罩滑落损坏。

以上，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。