光学元件及其制造方法_5

文档序号:8926894阅读:来源:国知局
膜厚0. 055A的第4层Si02 (折射率1. 47)、光学膜厚0. 220入 的第5层Zr02(折射率2. 00)、光学膜厚0. 060A的第6层Si02(折射率1. 47)、光学膜厚 0. 120A的第7层Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 260A的第8层Si02 (折射率1. 47)。另 外,入是设计的中心波长,为500nm。
[0197] 实施例4的透镜的背面的分光特性在图10A中示出。图10A的分光特性的数值数 据在图10B中示出。
[0198] <实施例5>
[0199] 将透镜安置在设置于真空槽内的旋转的拱顶上,将真空槽内的温度加热至70度, 进行排气直到压力变为1.OXl(T3Pa为止,在加速电压500V、加速电流100mA的条件下实 施60秒钟的Ar离子束清洗后,从塑料基材侧开始依次层叠光学膜厚0.110X的第1层 Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 130A的第2层Si02 (折射率1. 47)、光学膜厚0. 065A的第 3层Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 055A的第4层Si02 (折射率1. 47)、光学膜厚0. 195入 的第5层Zr02(折射率2. 00)、光学膜厚0. 060A的第6层Si02(折射率1. 47)、光学膜厚 0.110人的第7层21〇2(折射率2.00)、光学膜厚0.290人的第8层510 2(折射率1.47)。另 外,入是设计的中心波长,为500nm。
[0200] 实施例5的透镜的背面的分光特性在图11A中示出。图11A的分光特性的数值数 据在图11A中示出。
[0201] <实施例6>
[0202] 将透镜安置在设置于真空槽内的旋转的拱顶上,将真空槽内的温度加热至70度, 进行排气直到压力变为1.OXl(T3Pa为止,在加速电压500V、加速电流100mA的条件下实 施60秒钟的Ar离子束清洗后,从塑料基材侧开始依次层叠光学膜厚0. 140X的第1层 Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 125A第2层Si02 (折射率1. 47)、光学膜厚0. 065A的第3 层Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 050A的第4层Si02 (折射率1. 47)、光学膜厚0. 170入 的第5层Zr02(折射率2. 00)、光学膜厚0. 065A的第6层Si02(折射率1. 47)、光学膜厚 0. 090A的第7层Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 345A的第8层Si02 (折射率1. 47)。另 外,入是设计的中心波长,为500nm。
[0203] 实施例6的透镜的背面的分光特性在图12A中示出。图12A的分光特性的数值数 据在图12B中示出。
[0204] <实施例7>
[0205] 将透镜安置在设置于真空槽内的旋转的拱顶上,将真空槽内的温度加热至70度, 进行排气直到压力变为1.OXl(T3Pa为止,在加速电压500V、加速电流100mA的条件下实 施60秒钟的Ar离子束清洗后,从塑料基材侧开始依次层叠光学膜厚0.260X的第1层 Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 125A的第2层Si02 (折射率1. 47)、光学膜厚0. 020A的第 3层Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 040A的第4层Si02 (折射率1. 47)、光学膜厚0. 215入 的第5层Zr02(折射率2. 00)、光学膜厚0. 065A的第6层Si02(折射率1. 47)、光学膜厚 0. 045A的第7层Zr02 (折射率2. 00)、光学膜厚0. 360A的第8层Si02 (折射率1. 47)。另 外,入是设计的中心波长,为500nm。
[0206] 实施例7的透镜的背面的分光特性在图13A中示出。图13A的分光特性的数值数 据在图13B中示出。
[0207] 另外,实施例4~7的各成膜层的详情在表3中示出。另外,表3中所示的反射率 的单位为%。
[0208]表 3
[0210] 如图10A~13B所示,对于380~780nm波长范围内的反射率的最大值为3~ 50 %,且280~380nm波长范围内的反射率的平均值为20 %以下的多层膜,确认了在紫外区 域具有低的反射率,在可见光区域具有反射特定的波长的特性。
[0211] 从以上的结果明确可知,根据本发明的实施方式,可以提供一种光学元件及其制 造方法,所述光学元件视认性良好且可通过紫外区域的低的正面反射特性抑制从后方入射 的紫外光的反射导致入射至眼球。
[0212] 附图标记说明
[0213] 1,1'…光学元件、2…塑料基材、3,3'…无机多层膜、4…功能性薄膜、5…底涂层 (功能性薄膜)、6…硬涂层(功能性薄膜)、7, 7'…高折射率层、8,8'…低折射率层、9, 9'…第1层、10,10'…第2层、11,11'…第3层、12…疏水疏油膜、30…蒸镀装置、30'… 成膜装置、31…第1成膜室、32…第2成膜室、33…第3成膜室、34…保持部件、35, 35'…蒸 镀源、35A…第1蒸镀源、35B…第2蒸镀源、36…光源装置、37…离子枪。
【主权项】
1. 一种光学元件,具有塑料基材、和配置在所述塑料基材的两面中的至少背面的多层 膜,所述光学元件的特征在于, 所述多层膜在380~780nm的波长范围内的反射率的最大值为3~50%,且在280~ 380nm的波长范围内的反射率的平均值为20%以下。2. 根据权利要求1所述的光学元件,配置在所述塑料基材正面的所述多层膜在280~ 380nm的波长范围内的反射率的平均值,比配置在所述塑料基材的背面的所述多层膜的反 射率的平均值大。3. 根据权利要求1或2所述的光学元件,表示波长范围与所述波长范围内的所述多层 膜的反射率之间关系的分光特性曲线,在280~380nm的波长范围具有一个极值。4. 根据权利要求1~3的任一项中所述的光学元件,表示波长范围与所述波长范围内 的所述多层膜的反射率之间关系的分光特性曲线,在380~780nm的波长范围具有一个极 值。5. 根据权利要求1~4的任一项中所述的光学元件,所述塑料基材具有吸收紫外线的 功能。6. 根据权利要求1~5的任一项中所述的光学元件,所述塑料基材被着色,具有5~ 85 %的透光率。7. 根据权利要求1~6的任一项中所述的光学元件,在距所述塑料基材最远的、所述多 层膜的至少一者的最外层上还具有疏水疏油膜,所述疏水疏油膜包含含有氟取代烷基的有 机硅化合物。8. 根据权利要求7所述的光学元件,所述含有氟取代烷基的有机硅化合物为选自选自 下述通式(1)、通式(2)~(5)和通式(6)中的一种以上的含有氟取代烷基的有机硅化合 物:式(1)中,Rf表示碳原子数为1~16的直链状或支链状全氟烷基,Y表示碘或氢,Y' 表示氢或碳原子数为1~5的低级烷基,Y"表示氟或三氟甲基,R1表示可水解的基团,R2表 不氢或惰性的一价有机基团,a、b、c、d分别表不0~200的整数,e表不0或1,s和t分别 表示0~2的整数,w表示1~10的整数; F-(CF2)tr(OC3F6)m-(OC 2F4)n-(OCF2)tj(CH 2)pXX" Si (X,)3_k(R3)k 、-- / - / K - - '式(2)~(5)中,X表示氧或二价有机基团,X'表示可水解的基团,X"表示二价有机硅 氧烷基团,R3表示碳原子数为1~22的直链状或支链状亚烷基,q表示1~3的整数,m、 η、〇分别表示O~200的整数,p表示1或2, r表示2~20的整数,k表示O~2的整数, z在k为0或1时表示0~10的整数;式(6)中,Rf2表示2价直链状全氟聚醚基,R 4表示碳原子数为1~4的烷基或苯基, R5表示可水解的基团,i表示0~2的整数,j表示1~5的整数,u表示2或3。9. 根据权利要求1~8的任一项中所述的光学元件,所述多层膜为4层以上的多层膜。10. 根据权利要求1~9的任一项中所述的光学元件,在所述塑料基材与所述多层膜之 间具有功能性薄膜。11. 根据权利要求1~10的任一项中所述的光学元件,在构建所述多层膜的高折射率 材料与低折射率材料之间具有厚度20nm以下的电介质膜或金属膜。12. 根据权利要求11中所述的光学元件,所述高折射率材料含有二氧化锆,所述低折 射率材料含有二氧化硅。13. 根据权利要求1~12的任一项中所述的光学元件,其为眼镜透镜。14. 根据权利要求1~13的任一项中所述的光学元件的制造方法,所述光学元件具 有塑料基材和配置在所述塑料基材的两面中的至少背面的多层膜,所述制造方法的特征在 于, 具有以下工序:对所述塑料基材进行加热的工序,和在通过所述加热将所述塑料基材 调节至规定温度后,在所述塑料基材上形成所述多层膜的工序, 形成所述多层膜的工序具有以下步骤:将高折射率材料和低折射率材料交替层叠多层 而形成多层结构的高折射率层的步骤,和在所述高折射率层上形成由折射率比所述高折射 率层的折射率低的低折射率材料构成的低折射率层的步骤,并且, 使所述多层膜在380~780nm的波长范围内的反射率的最大值为3~50%,且使280~ 380nm的波长范围内的反射率的平均值为20%以下。15. 根据权利要求14中所述的光学元件的制造方法,包含使用真空蒸镀法形成所述多 层膜的工序。16. 根据权利要求14或15中所述的光学元件的制造方法,形成所述多层膜的工序包含 以下工序:对构建所述多层膜的层中的至少一层,在实施离子束辅助处理的情况下进行成 膜的工序。17. 根据权利要求16所述的光学元件的制造方法,所述离子束辅助处理使用惰性气 体、氧气、或惰性气体与氧气的混合气体来进行。18. 根据权利要求17所述的光学元件的制造方法,所述惰性气体为氩气。
【专利摘要】一种光学元件,其特征在于,具有塑料基材和配置在所述塑料基材的两面中的至少背面的多层膜,所述多层膜在380~780nm的波长范围内的反射率的最大值为3~50%,且280~380nm的波长范围内的反射率的平均值为20%以下。
【IPC分类】G02B5/08, G02B5/26
【公开号】CN104903756
【申请号】CN201380050276
【发明人】宫本聪, 友田政兴
【申请人】株式会社尼康依视路
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2013年9月26日
【公告号】CA2886332A1, EP2902817A1, US20150198821, WO2014050930A1
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