隔垫物及其制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶面板用的隔垫物，尤其涉及一种隔垫物及其制造装置。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的进步，液晶显示面板得到越来越广泛的应用，然而，液晶显示面板通常采用在阵列基板和彩膜基板之间灌入液晶的方法形成，液晶显示面板本身的结构决定了其产品会随着外界温度的变化而导致玻璃基板和液晶等材料膨胀或者收缩，另外，这些产品经常受到如触摸等外力的冲击，很容易造成液晶显示面板的基板错位，造成面板漏光问题，将给显示效果带来颜色不正、效果不佳等等很多不良影响。
[0003]为了增加液晶显示装置周边区域的支撑效果，同时也为了防止液晶显示装置在其后期模组制备过程中受外力发生变形的情况，现有技术通常会在彩膜基板上设置凸柱状的隔垫物(Post Spacer，简称PS)来支撑阵列基板和彩膜基板之间的液晶间隙，从而实现均一盒厚。PS有Main PS (主隔垫物)和Sub PS (副隔垫物)之分，Main PS的高度高于SubPS,当显示屏的阵列基板和彩膜基板贴合后，顶住阵列基板的PS为Main PS，没有顶住阵列基板的PS为Sub PS0 Main PS是液晶显示面板正常工作环境下一直起支撑作用的PS，当液晶显示面板受到外界压力过大时，可通过Sub PS顶住阵列基板来增加PS柱子整体的支撑强度。
[0004]—般的Main PS和Sub PS均为棱台或棱柱等截面为梯形的结构，Main PS支撑在阵列基板上，Sub PS悬空以实现辅助支撑作用，但是此种设计的Main PS和Sub PS需要单独制造，与之配合的阵列基板表面制造工艺不同会导致粗糙度不同，Main PS和Sub PS的段差难以精确控制。有人在此基础上设计了一种“凸”字状PS，即在普通PS的端面直接形成尺寸更小的延伸部，此种PS自身带有一定的梯度，当面板受到挤压时，第二梯度会顶住阵列基板，起到Sub PS的作用，与Main PS和Sub PS单独设计的结构相比，此种结构无需在阵列基板表面单独制造台阶部以实现Main PS和Sub PS的段差，从而可以提高像素开口率。但是，此种PS的制造工艺通常采用两次曝光工艺成型，首先通过第一次曝光制造出具有第一梯度的Sub PS，然后通过第二次曝光在Sub PS上制造出台阶部，形成第二梯度的Main PS0然而，两次曝光需要两张PS光罩，同样需要两次曝光工艺，制造成本依然较高。
【发明内容】
[0005]鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种像素开口率高、制造工艺简单、制造成本低的隔垫物及其制造装置。
[0006]为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案:
[0007]一种隔垫物制造装置，包括光罩和与所述光罩正对的曝光装置，所述光罩包括中心透光区和设于所述中心透光区外围的外围透光区，所述曝光装置发出的光线透过所述光罩后照射到负向光阻材料上，透过所述外围透光区的光线强度小于透过所述中心透光区的光线强度。
[0008]其中，所述中心透光区的透光率大于所述外围透光区。
[0009]或者，所述外围透光区设有交替设置的子透光区和遮光区，一个所述遮光区将所述中心透光区和所述子透光区间隔开。
[0010]其中，所述子透光区和所述遮光区均为中心对称结构，且二者的对称中心与所述中心透光区相同。
[0011 ] 其中，所述光罩为多个，且每个所述光罩上的所述子透光区的数量不同。
[0012]或者，所述光罩为多个，且每个所述光罩上的所述子透光区的宽度不同。
[0013]或者，所述光罩为多个，且每个所述光罩上的所述遮光区的宽度不同。
[0014]或者，所述外围透光区均匀分布有多个点状的子透光区。
[0015]其中，所述隔垫物制造装置还包括曝光调节装置，用于调节所述曝光装置的光照参数。
[0016]本发明的另一目的在于提供一种隔垫物，使用上述的隔垫物制造装置制成。
[0017]本发明的隔垫物制造装置在同一个光罩上制作出能够透射出不同光线强度的中心透光区和外围透光区，使得经曝光装置发出的光线照射至负向光阻材料后中心的光线强度与外围的光线强度存在差别，在中心区形成的隔垫物高度大于外围形成的隔垫物高度，只需一次曝光工艺即可实现“凸”字状隔垫物的制作，工艺简单，制造成本低。同时，该制造装置内还可包括多个配套使用的光罩，每个光罩的外围透光区具有不同的形状和尺寸，还可以通过增加外围透光区的子透光区密度和宽度或调节曝光装置的光照参数，使得外围透光区的光罩均匀性可调，最终实现“凸”字状隔垫物的凸肩部的平整度可调，可以满足不同规格的隔垫物制造需求。
【附图说明】
[0018]图1为本发明实施例的显示面板的结构示意图。
[0019]图2为本发明实施例的隔垫物制造装置的结构示意图。
[0020]图3为图2中A处的局部放大图。
[0021]图4a为本发明实施例的一种光罩结构不意图。
[0022]图4b为本发明实施例的另一种光罩结构示意图。
[0023]图4c为本发明实施例的又一种光罩结构示意图。
[0024]图4d为本发明实施例的再一种光罩结构不意图。
[0025]图5a为图4a所示的光罩的经照射后的光强分布截面图。
[0026]图5b为图4b所示的光罩的经照射后的光强分布截面图。
[0027]图5c为图4c所示的光罩的经照射后的光强分布截面图。
[0028]图5d为图4d所示的光罩的经照射后的光强分布截面图。
【具体实施方式】
[0029]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0030]参阅图1，本发明的显示面板包括上部彩膜基板I和下部的阵列基板2，二者之间填充有液晶3，同时，具有“凸”字状截面的隔垫物4支撑于彩膜基板I和阵列基板2之间，同时起到Main PS和Sub PS的功能，该“凸”字状截面的隔垫物4可以是圆柱、圆台或棱台等堆叠的构造。
[0031]如图2和图3所示，为了制造该“凸”字状截面的隔垫物4，本发明实施例提供了一种隔垫物制造装置，包括光罩10和与光罩10正对的曝光装置20，彩膜基板I上涂有负向光阻材料，放置在光罩10的下方，曝光装置20发出的光经光罩10透射后射向负向光阻材料上指定的部位，负向光阻材料发生曝光和显影后，清除没有经过光照的部分，留下的负向光阻材料烘干后即形成隔垫物4。
[0032]结合图4a?图4d所示，为本实施例的几种不同形状的光罩的结构示意图。本实施例的光罩10包括中心透光区1a和设于中心透光区1a外围的外围透光区10b，光罩10的其他部位不透光，曝光装置20发出的光线透过光罩10后照射到负向光阻材料上，透过外围透光区1b的光线强度小于透过中心透光区1a的光线强度。
[0033]外围透光区1b具有交替设置的若干个子透光区11和遮光区12，其中一个遮光区12将中心透光