区1a和子透光区11间隔开。
[0034]本实施例的子透光区11和遮光区12均为中心对称结构，且二者的对称中心与中心透光区1a相同。
[0035]图4a为中心透光区1a为实心的正方形、子透光区11和遮光区12均为正方形框的光罩结构；图4b为中心透光区1a为实心的长方形、子透光区11和遮光区12均为长方形框的光罩结构；图4c为中心透光区1a为实心的圆形、子透光区11和遮光区12均为环形的光罩结构；图4d为中心透光区1a为实心的圆形、子透光区11和遮光区12均为实心圆点的光罩结构，其外围透光区1b均匀分布有多个点状的子透光区11。可以理解的是，本发明的光罩结构并不仅限于上述形状，制造过程中可根据实际需要自行选择中心透光区10a、子透光区11和遮光区12的形状，只需三者共对称中心即可。
[0036]PS的高度取决于曝光过程中的光强分布，透过中心透光区1a的光线光强较强，其照射至负向光阻材料后，形成高度较高的主隔垫物部分4a，即Main PS，透过外围透光区1b的光线的光强相对较弱，其照射至外围的负向光阻材料后，形成高度较低的副隔垫物部分 4b，即 Sub PS0
[0037]通过运用Athena的曝光模拟模块Optolith对本实施例的不同光罩结构进行模拟验证，模拟出不同PS设计方法在曝光过程中的光强分布。图5a?5d依次模拟出图4a?图4d所不的光罩结构对应的光强分布截面图。可以看出，中心透光区1a的光强分布明显高于其它部位，主隔垫物部分4a与副隔垫物部分4b的段差可以通过控制光罩10的中心透光区1a与外围透光区1b的透光面积比例来实现，外围透光区1b的透光面积相对越大，段差越小。同时，外围透光区1b的遮光区12越窄、子透光区11层数越多，主隔垫物部分4a与副隔垫物部分4b之间过渡的凸肩表面越平整。
[0038]同时，隔垫物制造装置还包括用于调节曝光装置20的光照参数的曝光调节装置30。在PS制程过程中，由于曝光装置20的光线并非完全平行，而是具有一定的发散程度，因此曝光过程中负向光阻材料上正对空隙处的部位也有紫外光照射到，导致最终的曝光效果并非理想设计状态，因此，如图2所示，本实施例中，曝光调节装置30包括曝光距离调节模块31、曝光角度调节模块32和定时器33，可分别控制曝光装置20的曝光距离、曝光角度和曝光时间等参数，通过控制曝光装置20与光罩10的曝光距离、曝光装置20的照射角度等使透过外围透光区1b的光线的光强分布均勾，结合曝光时间的控制，可使PS的凸肩处平整度一致。
[0039]在PS设计过程中，有时为了在一个“凸”字形隔垫物上实现多级梯度，“凸”字形隔垫物的凸肩需要设计成波浪形或者凸出高度渐变的表面，本实施例的光罩10的子透光区11数量可以设计成2个以上，制作过程中利用曝光调节装置30对曝光参数进行微调即可。
[0040]为方便地调节PS的凸肩处平整度，提高曝光装置20的功能多样性，本实施例的隔垫物制造装置内设有多个方便更换的光罩10，且每个光罩10上的子透光区11的数量、宽度和形状均可以不同，同时每个光罩10上的遮光区12的宽度也可以不同，使用过程中可以根据需要自由选择光罩。
[0041]在其它实施方式中，还可以通过设置中心透光区1a的透光率大于外围透光区1b来实现中心透光区1a与外围透光区1b的透光差异，以实现隔垫物的主副隔垫物之间的段差。
[0042]本发明的隔垫物制造装置在同一个光罩上制作出能够透射出不同光线强度的中心透光区和外围透光区，使得经曝光装置发出的光线照射至负向光阻材料后中心的光线强度与外围的光线强度存在差别，在中心区形成的隔垫物高度大于外围形成的隔垫物高度，只需一次曝光工艺即可实现“凸”字状隔垫物的制作，工艺简单，制造成本低。同时，该制造装置内还可包括多个配套使用的光罩，每个光罩的外围透光区具有不同的形状和尺寸，还可以通过增加外围透光区的子透光区密度和宽度或调节曝光装置的光照参数，使得外围透光区的光罩均匀性可调，最终实现“凸”字状隔垫物的凸肩部的平整度可调，可以满足不同规格的隔垫物制造需求。
[0043]以上所述仅是本申请的【具体实施方式】，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
【主权项】
1.一种隔垫物制造装置，其特征在于，包括光罩(10)和与所述光罩(10)正对的曝光装置(20)，所述光罩(10)包括中心透光区(1a)和设于所述中心透光区(1a)外围的外围透光区(10b)，所述曝光装置(20)发出的光线透过所述光罩(10)后照射到负向光阻材料上，透过所述外围透光区(1b)的光线强度小于透过所述中心透光区(1a)的光线强度。2.根据权利要求1所述的隔垫物制造装置，其特征在于，所述中心透光区(1a)的透光率大于所述外围透光区(10b)。3.根据权利要求1所述的隔垫物制造装置，其特征在于，所述外围透光区(1b)设有交替设置的子透光区(11)和遮光区(12)，一个所述遮光区(12)将所述中心透光区(1a)和所述子透光区(11)间隔开。4.根据权利要求3所述的隔垫物制造装置，其特征在于，所述子透光区(11)和所述遮光区(12)均为中心对称结构，且二者的对称中心与所述中心透光区(1a)相同。5.根据权利要求4所述的隔垫物制造装置，其特征在于，所述光罩(10)为多个，且每个所述光罩(10)上的所述子透光区(11)的数量不同。6.根据权利要求4所述的隔垫物制造装置，其特征在于，所述光罩(10)为多个，且每个所述光罩(10)上的所述子透光区(11)的宽度不同。7.根据权利要求4所述的隔垫物制造装置，其特征在于，所述光罩(10)为多个，且每个所述光罩(10)上的所述遮光区(12)的宽度不同。8.根据权利要求1所述的隔垫物制造装置，其特征在于，所述外围透光区(1b)均匀分布有多个点状的子透光区(11)。9.根据权利要求1-8所述的隔垫物制造装置，其特征在于，还包括曝光调节装置(30)，用于调节所述曝光装置(20)的光照参数。10.一种隔垫物，其特征在于，使用权利要求1-9任一所述的隔垫物制造装置制成。
【专利摘要】本发明公开了一种隔垫物制造装置，包括光罩和与所述光罩正对的曝光装置，所述光罩包括中心透光区和设于所述中心透光区外围的外围透光区，所述曝光装置发出的光线透过所述光罩后照射到负向光阻材料上，透过所述外围透光区的光线强度小于透过所述中心透光区的光线强度。本发明还公开了一种隔垫物。本发明只需一次曝光工艺即可实现“凸”字状隔垫物的制作，工艺简单，隔垫物制造成本低。同时，使用本发明的隔垫物制造装置制作的“凸”字状隔垫物的凸肩部的平整度可调，可以满足不同规格的隔垫物制造需求。
【IPC分类】G03F7/20, G02F1/1339, G03F1/54
【公开号】CN105045034
【申请号】CN201510583558
【发明人】刘桓, 王醉, 郭晋波, 罗时勲
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年9月14日