一种柔性板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性板。
【背景技术】
[0002]激光剥离技术(Laser Lift-Off，LL0)是指利用激光能量分解玻璃基板和柔性基材接口处的连接层，从而实现将柔性基材从玻璃基板上分离的技术。
[0003]然而，使用激光剥离工艺将柔性基材从玻璃基板上取下时，激光从玻璃基板的一侧射入，继而穿透柔性基材、经过缓冲层，并最终到达有缘层。这样，激光的能量会被有缘层吸收，激光的能量会破坏有缘层的结构，对被处理的柔性板导致元件特性的损坏。
【发明内容】
[0004]针对上述现有技术中的问题，即使用激光剥离工艺将柔性基材从玻璃基板取下时，激光的能量会破坏有缘层的结构，本发明提出了一种柔性板。
[0005]本发明所提出的柔性板包括:柔性基材；设置于所述柔性基材的至少一个表面上的散射结构；位于所述散射结构的远离所述柔性基材的一侧的缓冲层；以及位于所述缓冲层的远离所述柔性基材的一侧的有缘层。
[0006]以此方式，为了实施激光剥离工艺以将柔性基材从玻璃基板的表面上分离，首先从玻璃基板的另一侧射入强度较大的成束的大束激光。大束激光穿透玻璃基板和柔性基材以实现剥离功能，同时剩余的激光在穿透柔性基材后被设置在柔性基材的远离玻璃基板的表面上的散射结构散射，散射结构将强度较大的成束的大束激光散射为多束强度较弱的小束激光。小束激光进入位于散射结构的远离柔性基材的一侧的缓冲层中，在缓冲层中逐渐衰减。小束激光在缓冲层中逐渐衰减至消失，因此没有激光能量到达位于缓冲层的远离柔性基材的一侧的有缘层并对后者造成伤害。当然，在本发明所提出的技术方案中，即使少量的激光能量到达位于缓冲层的远离柔性基材的一侧的有缘层，也不足以对其造成伤害，因为此处的激光能量已经经过分散和衰减。
[0007]在一个实施方式中，所述散射结构包括两个以上散射元件，所述散射元件的尺寸为纳米至微米量级。纳米至微米量级的散射元件针对激光有高效的散射作用。
[0008]在一个实施方式中，在所述柔性基材的设置有所述散射元件的表面上，所述散射元件相互之间无间隙地设置。以此方式，散射元件可以紧密的方式排布，加强了作为整体的多个散射元件对来自玻璃基板的方向的激光的散射作用。整束强度较高的大束激光在经过散射元件后被有效散射为多束分散的强度较弱的小束激光。
[0009]在一个实施方式中，在所述柔性基材的设置有所述散射元件的表面上，所述散射元件之间设置有间隙。以此方式，可以灵活地调节散射元件的布置，实现分散来自玻璃基板的方向的激光能量的同时，还可以尽可能节省材料、减轻产品重量和降低工艺难度。
[0010]在一个实施方式中，在所述柔性基材的表面的任意方向上，所述间隙的宽度为与其相邻的所述散射元件在相应方向上的尺寸的1/4-1/2。以此方式，能够使得对来自玻璃基板的方向的激光能量的分散效果最佳化，同时有效降低了散射元件的数量，节省了工序和材料。
[0011]在一个实施方式中，在垂直于所述柔性基材的表面的方向上，所述散射元件的截面为三角形、矩形、正方形、半椭圆形、半圆形或梯形。散射元件的不同的截面形状针对激光的光路有不同的影响，因此可以适应于不同的具体情况，这在下文中将结合不同的实施例详细讨论。
[0012]在一个实施方式中，所述散射元件通过压印工艺、黄光工艺、干刻工艺或湿刻工艺形成在所述柔性基材的表面上。由此可见，本发明的方案对具体工艺的选择十分灵活。
[0013]在一个实施方式中，所述缓冲层包覆住全部的所述散射元件，并且填充到相邻的所述散射元件之间的空间中。这对激光能量的衰减和缓冲起到很有效的作用，因为从散射元件的任何表面以任意角度出射的激光都能够进入到缓冲层中以进行衰减。
[0014]在一个实施方式中，在垂直于所述柔性基材的表面的方向上，所述缓冲层的厚度相当于所述散射元件在相应方向上的尺寸的数倍至数千倍。这样的尺寸设置，既能够保证使得分散开的激光能量得到有效衰减，又不会过度增加柔性板的厚度和重量。
[0015]在一个实施方式中，所述散射元件还能够反射或吸收光线。这样可以更有效地阻止激光的能量被有缘层吸收，进而伤害到有缘层的结构。
[0016]上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的。
【附图说明】
[0017]在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中:
[0018]图1显示了本发明所提出的柔性板的结构示意图；
[0019]图2显示了本发明所提出的柔性板的第一实施例的部分结构示意图；
[0020]图3显示了本发明所提出的柔性板的第二实施例的部分结构示意图；
[0021]图4显示了本发明所提出的柔性板的第三实施例的部分结构示意图；
[0022]图5显示了本发明所提出的柔性板的第四实施例的部分结构示意图；
[0023]图6显示了本发明所提出的柔性板的第一实施例的激光透射示意图；以及
[0024]图7显示了所设计的对比例的柔性板的激光透射示意图。
[0025]在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
【具体实施方式】
[0026]下面将结合附图对本发明作进一步说明。
[0027]图1显示了本发明所提出的柔性板的结构示意图。本发明提出了一种柔性板100。根据本发明的柔性板100包括:柔性基材2 ;设置于柔性基材2的至少一个表面上的散射结构3(在图1所示的示意图中，散射结构3位于柔性基材2的远离玻璃基板I的表面上);位于散射结构3的远离柔性基材2的一侧的缓冲层4 ；以及位于缓冲层4的远离柔性基材2的一侧的有缘层5。从图1中可看出，柔性基材2附着在玻璃基板I上。
[0028]根据本发明的柔性板100尤其适合用于激光剥离技术(Laser Lift-Off, LLO)，即利用激光能量分解玻璃基板I和柔性基材2接口处的连接层，从而实现将柔性基材2从玻璃基板I上分呙。
[0029]具体地，散射结构3可以构造为两个以上的散射元件，该散射元件的尺寸为纳米至微米量级。纳米至微米量级的散射元件针对激光有高效的散射作用。
[0030]图2显示了本发明所提出的柔性板的第一实施例的部分结构示意图。在图2所示的第一实施例中，在柔性基材2的设置有散射元件3.1的表面上(即柔性基材2的远离玻璃基板I的表面上)，散射元件3.1相互之间无间隙地设置。以此方式，散射元件3.1可以紧密的方式排布，加强了作为整体的多个散射元件3.1对来自玻璃基板I的方向的激光6的散射作用。图2中清楚地显示了，整束强度较高的大束激光6在经过散射元件3.1后被散射为多束分散的强度较弱的小束激光6.10
[0031]关于散射元件3.1的形状，在图2中可清楚地看出，在垂直于柔性基材2的表面的方向上，散射元件3.1的截面为三角形。其中三角形的底边与柔性基材2的表面贴合，激光从三角形的底边入射，经散射元件3.1的散射后在其两条侧边处出射。以此方式，可通过调节三角形的角的角度来控制光线的出射方向。
[0032]当然，这并非限定性的，也可以是这样的情况:在柔性基材的设置有散射元件的表面上，在散射元件之间设置有间隙。以此方式，可以灵活地调节散射元件的布置，实现分散来自玻璃基板I的方向的激光能量的同时，还可以尽可能节省材料、减轻产品重量和降低工艺难度。
[0033]图3显示了本发明所提出的柔性板的第二实施例的部分结构示意图。在图3所示的第二实施例中，在柔性基材2的设置有散射元件3.2的表面上(即柔性基材2的远离玻璃基板I的表面上)，在散射元件3.2之间设置有间隙8。以此方式，可以灵活地调节散射元件3.2的布置，实现分散来自玻璃基板I的方向的激光能量的同时，还可以尽可能节省材料、减轻产品重量和降低工艺复杂度。图3中清楚地显示了，整束强度较高的大束激光6在经过散射元件3.2后被散射为多束分散的强度较弱的小束激光6.1。
[0034]关于散射元件3.2的形状，在图3中可清楚地看出，在垂直于柔性基材2的表面的方向上，散射元件3.2的截面可为矩形或正方形(图中所示仅为示意性，其边长比例不能理解为针对本实施例的精确限定)。矩形或正方形是最容易加工的形状，可以大大简化本发明的方案的工艺难度，同时矩形或正方形对材料的利用率也最高，可有效减少废材、节约成本。
[0035]关于间隙8的宽度，在柔性基材2的表面的任意方向上(例如图3的水平方向上)，间隙8的宽度例如可以为与其相邻的散射元件3.2在相应方向上的尺寸的1/4-1/2。以此方式，能够使得对来自玻璃基板I的方向的激光能量的分散效果最佳化，同时不必过度地增加整个柔性板100的重量或工艺复杂度。
[0036]当然，这并非限定性的，也可以是这样的情况:散射元件3.2相互之间无间隙地设置。以此方式，散射元件3.2可以紧密的方式排布，这加强了作为整体的多个散射元件3.2对来自玻璃基板I的方向的激光6的散射作用。
[0037]图4显示了本发明所提出的柔性板的第三实施例的部分结构示意图。在图4所示的第三实施例中，在柔性基