要素中附加标号时，对同样的结构要素即使在不同的附图上也尽可能地标识为了相同 的符号。另外，在本发明以下的说明中，如果认为对相关的已知结构或功能的具体说明会模 糊本发明的要点，那么将省略对其的详细说明。
[0040] 本实施例中，对通过排出液滴的喷墨方式将处理液涂布于对象物的基板处理装置 进行说明。例如，对象物可以为液晶显示面板的彩色滤光片（CF)基板或薄膜晶体管（TFT) 基板；而处理液可以为液晶（Liquid Crystal)、配向液、在溶剂中混合颜料颗粒的红色 (R)、绿色（G)、蓝色（B)的油墨。其中，作为配向液可使用聚酰亚胺（polymide)。
[0041] 配向液可涂布于彩色滤光片（CF)基板和薄膜晶体管（TFT)基板的整个面上，液晶 可涂布于彩色滤光片（CF)基板或者薄膜晶体管（TFT)基板的整个面上。油墨可涂布于基 板上以格子状排列的黑矩阵的内部区域。
[0042] 本实施例的基板处理装置1是以排出液滴的喷墨方式在基板上涂布液晶（Liquid Crystal)的设备。
[0043] 基板可以为液晶显示面板的彩色滤光片（CF)基板或薄膜晶体管（TFT)基板，液晶 可以涂布于彩色滤光片（CF)基板或者薄膜晶体管（TFT)基板的整个面上。
[0044] 图4为示出喷墨方式的基板处理装置的图。参照图4,基板处理装置1包括液晶排 出部10、基板移送部20、装载部30、卸载部40、液晶供给部50以及主控制部90。液晶排出 部10与基板移送部20可以沿第1方向I配置成一列，并且可以设置为彼此相邻。液晶供 给部50和主控制部90配置在以液晶排出部10为中心且与基板移送部20相对的位置。液 晶供给部50和主控制部90可以沿第2方向II配置成一列。装载部30和卸载部40配置在 以基板移送部20为中心且与液晶排出部10相对的位置。装载部30和卸载部40可以沿第 2方向II排成一列。
[0045] 这里，第1方向I为液晶排出部10与基板移送部20的排列方向，第2方向II为在 水平面上垂直于第1方向I的方向，第3方向III为垂直于第1方向I和第2方向II的方向。
[0046] 待涂布液晶的基板将被搬入至装载部30。基板移送部20将搬入到装载部30的基 板移送到液晶排出部10。液晶排出部10从液晶供给部50得到液晶，以喷墨方式向基板上 排出液晶。当完成液晶的排出后，基板移送部20从液晶排出部10移送基板至卸载部40。 涂布了液晶的基板从卸载部40搬出。主控制部90控制液晶排出部10、基板移送部20、装 载部30、卸载部40及液晶供给部50的整体动作。
[0047] 图5为示出图4中液晶排出部的立体图。参照图5,液晶排出部10包括基底B、基 板支撑单兀100、构台220、构台移动单兀300、头部移动单兀500、头部组件600、头部技制单 元450、清洗单元700、测量单元800、检查单元900以及液体供给单元1000。
[0048] 基底B可以为具有一定厚度的长方体形状。基底B的上面配置基板支撑单元100。 基板支撑单元100具有放置基板S的支撑板110。支撑板110可以为四边形形状的板。支 撑板110的下面连接旋转驱动部件120。旋转驱动部件120可以为旋转马达（motor)。旋 转驱动部件120以垂直于支撑板110的旋转中心轴为中心旋转支撑板110。
[0049] 当支撑板110依靠旋转驱动部件120旋转时，基板S随着支撑板110的旋转而旋 转。当形成于待涂布液晶的基板的单元（智）的长边方向朝向第2方向II时，旋转驱动部件 120可以通过旋转基板使单元的长边方向朝向第1方向I。
[0050] 支撑板110和旋转驱动部件120可通过直线驱动部件130沿第1方向I直线移动。 直线驱动部件130包括滑动器132和导向部件134。旋转驱动部件120设置在滑动器132 的上面。导向部件134在基底B的上面中心部沿第1方向I长长地延长。滑动器132可以 内置线性马达（未图示），滑动器132依靠线性马达（未示出）随着导向部件134沿第1方 向I进行直线移动。
[0051] 构台220设在支撑板110移动的路径的上部。构台220从基底B的上表面向上间 隔配置，且构台220配置为其长度方向朝向第2方向II。
[0052] 构台移动单元300可以使构台220沿第1方向I直线移动，或使构台220旋转，以 便使构台220的长度方向朝向倾斜于第1方向I的方向。构台移动单元300包括第1驱动 单元310和第2驱动单元320。第2驱动单元320设在作为旋转中心的构台220的一端，而 第1驱动单元310设在构台220的另一端。
[0053] 图6为示出图5中构台移动单元的截面图。参照图6,第1驱动单元310包括导轨 315和滑动器317。导轨315的长度方向朝向第1方向I，且以基板支撑单元100的导向部 件134为中心配置在基底B上表面的两侧边缘处。滑动器317可移动地结合于导轨315。 滑动器317结合于构台的底面。滑动器317可以内置线性马达（未图示）。滑动器317可 依靠线性马达（未图示）的驱动力在导轨315上沿第1方向I直线移动。
[0054] 第2驱动单元320设置为以构台的中心轴为中心与第1驱动单元310对称。第2 驱动单元320具有与第1驱动单元310相同的结构，因此省略对其的说明。
[0055] 头部移动单元500包括第1移动单元520、第2移动单元540以及支撑主体560。 第1移动单元520使头部组件600沿构台的长度方向，即第2方向II直线移动，第2移动单 元540使液体供给部件600沿第3方向III直线移动。
[0056] 图7为示出图5中头部组件及头部移动单元的立体图，图8为示出图7中支撑主 体的截面图。参照图7和图8,第1移动单元520包括多个导轨522、多个滑动器524以及 移动板526。多个导轨522沿第2方向II长长地延长，并在构台220的前面以沿第3方向相 间隔的方式配置。多个滑动器524可移动地结合于多个导轨522,且多个滑动器524可以 内置有直线驱动器，例如线性马达（未图示）。移动板526结合于滑动器524。移动板526 的上部区域结合于位于上部的滑动器524,移动板526的下部区域结合于位于下部的滑动 器524。移动板526依靠线性马达（未图示）的驱动力随着导轨522沿第2方向II直线移 动。如上所述，随着多个液体供给部件600沿着第2方向II分别移动，能够调节多个液体供 给部件600之间的间距。
[0057] 第2移动单元540包括导向部件542和滑动器544。导向部件542结合于第1移 动单元520的移动板526,并且用于引导滑动器544沿第3方向III进行直线移动。滑动器 544以可直线移动的方式结合于导向部件542,且滑动器544可内置直线驱动器，例如线性 马达（未图示）。支撑主体560结合于滑动器544,并且随着滑动器544沿第3方向III的直 线移动而沿第3方向III移动。
[0058] 支撑主体560可以依靠第1移动单元520和第2移动单元540而沿着第2方向II 及第3方向III进行直线移动。支撑主体560用于支撑头部组件600,并且可以与头部组件 600 -起移动。支撑主体560可以设有多个。在本实施例中，以三个支撑主体560分别用于 支撑三个头部组件410、420、430为例进行说明，但并不仅限于此。每个支撑主体560沿第2 方向并排成一列，并且结合于构台220。支撑主体560包括支撑框架570、上部板580以及 下部板590。支撑框架570为其长度方向朝向第3方向的板形状。支撑框架570固定结合 于第2移动单元540的滑动器544。
[0059] 上部板580沿垂直于支撑框架570的方向延长。上部板580以支撑框架570为基 准，设置在滑动器544的对面。上部板580的上面形成注入孔584和安装槽582。气体供给 部件586连接于注入孔584。气体供给部件586向注入孔584供给气体。例如，气体可以为 非活性气体。非活性气体可以为氮气N 2。安装槽582为可插入头部组件的一部分的槽。
[0060] 下部板590为放置头部组件的储水器（Reservoir)630的区域。下部板590向垂 直于支撑框架570的方向延长。下部板590位于上部板580的下方。下部板590与上部板 580相向地放置。
[0061] 头部组件600用于向基板排出处理液。头部组件600可以设置为多个。图9为示 出图7中头部组件及液体供给单元的截面图。参照图9,头部组件600可装卸地结合于支撑 主体560。头部组件600包括支承部610、液位传感器620、气体供给线618、储水器630、排 出头640、减压部件650以及加热部件660。支承部610包括支撑架612和支撑块614。支 撑架612具有与支撑框架570对应的板形状。支撑架612设为其长度方向朝向第3方向III。 支撑块614设为从支撑架612的一面延长。且支撑块614设为从支撑架612朝向支撑主体 560。支撑块614的上表面形成有放置槽616。放置槽616为放置瓶子600的空间。放置 槽616的内径可设置为与瓶子620相对应或略大。支撑块614内形成气体供给线618。气 体供给线618的作用是，其作为提供从注入孔584供给的气体的通道。气体供给线61