一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法及专用设备的制作方法

文档序号:2901404阅读:284来源:国知局
专利名称:一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法及专用设备的制作方法
技术领域
本发明涉及一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法及专用设备,属高精细荫罩生产技术。
背景技术
高精细荫罩的制造过程一般包括以下步骤(1)、清洗,除去钢带表面的油污和杂质;(2)、一次涂胶,在钢带的两面涂覆感光胶,形成胶膜;(3)、曝光,用两张带有图案的工作版从两面靠近钢带,用紫外灯给胶膜曝光;(4)、显影,除去未曝光的胶膜;(5)、固化,高温或紫外光照射固化,形成抗蚀膜;(6)、一次腐蚀,在钢带的两面胶膜有孔的区域形成小坑;(7)、二次涂胶,在小孔面涂覆感光胶,形成胶膜;(8)、固化,高温或紫外光照射固化,形成抗蚀膜;(9)、二次腐蚀,从大孔面继续腐蚀,大孔面的小坑扩大、加深,和小孔面的小坑贯通;(10)、剥膜,向钢带喷淋碱液,除去所有的抗蚀材料,得到荫罩。
一次腐蚀后,在胶膜有孔的区域,钢带被腐蚀出小坑,由于侧面腐蚀的作用,小坑的口径一般大于胶膜的孔径,在小坑的上方会有胶膜悬空。二次涂胶时,小坑内容易残留气泡,形成死角,胶液不能充满小坑,影响抗蚀膜的完整性,在随后的二次腐蚀过程中,导致腐蚀缺陷,影响荫罩的质量。所以,二次涂胶是高精细荫罩制造过程中一个非常关键的步骤。
早期的二次涂胶方法是,一次腐蚀后,对钢带进行清洗,除去腐蚀液,然后干燥除去水分,在小孔面喷涂非水溶性树脂,经固化处理,形成抗蚀层,此种方式容易在小坑内残留气泡,造成腐蚀缺陷。现有的二次涂胶方法一般采用下列两种方式其一,一次腐蚀后,清洗除去腐蚀液,不进行干燥,在湿润状态下对小孔面喷淋水溶性抗蚀材料,干燥、固化,形成第一抗蚀层,然后,再在该抗蚀层表面施加水溶性或非水溶性的抗蚀材料,形成第二抗蚀层。其二,选择一种润湿剂,要求具有低于钢带和胶膜的表面张力,先涂覆润湿剂,然后再涂覆水溶性抗蚀材料,以减少二次涂胶造成的缺陷。上述方法中,不论是在湿润状态下喷淋涂胶,还是先喷淋润湿剂,再施加水溶性抗蚀材料,都基本可以使抗蚀材料和金属腐蚀面之间不留气泡,但是,喷淋法涂胶非常容易造成飞沫污染,而且设备庞杂,成本高。
目前还有一种凹版辊涂胶方法,它是在钢带下面设置两只涂胶辊,涂胶辊下方设有供胶辊,供胶辊下部浸入胶液,涂胶辊为凹版辊,通过转动凹版辊为钢带涂胶,缺点是,凹版辊的制作复杂、费用高,凹版辊表面有凹陷或沟槽,容易磨损钢带上原有的胶膜,且不便于清洗,有的在凹版辊上还设有刮墨刀,整个涂胶设备更加复杂,增加了操作和维护的难度。

发明内容
本发明的目的旨在克服上述已有技术的不足之处,提供一种简单新颖、使胶液能够容易填满小坑,避免气泡残留,减少腐蚀缺陷的二次涂胶方法及专用设备。
本发明的目的是通过下述技术方案实现的一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法,依序包括下列步骤(1)、一次腐蚀后,将钢带水洗,除去腐蚀液,钢带表面不烘干,用一对辊子除去钢带表面多余的水分,保留一层完整的水膜;(2)、用至少两个光滑的涂胶辊依次为钢带的下表面涂胶,在先的涂胶辊转向与钢带运行方向相同,在后的涂胶辊转向与钢带运行方向相反,在钢带上面设有压辊。
上述二次涂胶方法中所用的专用设备是,顺钢带运行方向,依次设有一对水分挤压辊,在水分挤压辊后钢带的下面设有光滑的涂胶辊,钢带上面设有压辊,在涂胶辊的下面设有胶液槽。所述的涂胶辊至少设有两个,且转向不同,至少最后一个涂胶辊转向与钢带运行方向相反。
为了降低胶液的粘度,易于涂胶,涂胶操作一般在30-70℃的较高温度下进行。
采用本发明的技术方案进行二次涂胶,钢带通过水分挤压辊后,下表面及小坑中是一层水膜,不会存留气泡,然后经过涂胶辊依次涂胶,涂胶时先顺向涂胶,再逆向涂胶,保证胶液可以充满小坑的每一个角落,形成完全覆盖小孔面的、没有气泡的胶膜,避免二次涂胶不良引起的缺陷,从而得到高质量的荫罩。与现有技术相比,涂胶方法新颖、实用,设备简单,采用普通光滑的涂胶辊即可,制作成本低廉,易操作,清洗、维修方便,具有显著的技术进步和广泛的推广价值。
下面结合附图和具体实施例,对本发明作进一步地解释说明。


图1是本发明专用设备的一种结构示意图;图2是本发明专用设备的另一种结构示意图。
具体实施方案实施例1参考图1所示,经过一次腐蚀后,清洗钢带1,除去表面的腐蚀液,不烘干,钢带1的表面上留有一层厚厚的水膜,由于钢带和胶膜都亲水,水会很容易地充满胶膜下的小坑,然后将钢带1通过一对具有亲水表面的水分挤压辊2,水分挤压辊2分别从钢带1的上下两侧挤压钢带,除去钢带表面多余的水分,在钢带表面保留下一层完整的水膜,保证小坑内充满水,不会残留气泡;然后,在水分挤压辊2后依次设置三个光滑的涂胶辊3,涂胶辊3的顶部与钢带1的下表面接触,涂胶辊3的下面设有胶液槽5,通过转动涂胶辊3把胶液槽5内的胶液涂覆到钢带1的下表面(小孔面)上,在钢带1的上方,与每个涂胶辊3对应的位置设有压辊4,使钢带1与涂胶辊3紧密接触,以保证涂胶效果;三个涂胶辊3的转向不同,顺钢带1的运行方向,在先的两个涂胶辊3的转向与钢带运行方向相同,最后一个涂胶辊3的转向与钢带运行方向相反;胶液槽5内都是水溶性牛奶酪素胶,温度为60℃,三个胶液槽5内的胶液粘度相同,可控制在15-35cP的范围内;三个涂胶辊的外缘线速度可控制在1-9m/s;
钢带经过涂胶辊涂胶后,用红外线加热干燥,得到胶膜,再用高温或紫外线固化,使胶膜可以抵抗腐蚀液的侵蚀,然后进入二次腐蚀工序。
在运行时,调整胶液的粘度和最后一个涂胶辊的转速,就可以很好地控制胶膜的厚度。
实施例2参考图2所示,涂胶工序与实施例1的工序基本相同,不同点是,压辊4与涂胶辊3交错设置,这样也可使钢带1与涂胶辊3接触紧密,保证涂胶效果;另外,三个胶液槽5内的胶液粘度不同,顺钢带运行方向,粘度逐渐升高,三个胶液槽5内的胶液粘度可依次控制在5-25cP、10-30cP、15-35cP,其优点是,用此种方法涂胶,钢带1下表面上的水膜先变成一层粘度较低的胶膜,再变成一层粘度正常的胶膜,粘度由低到高,可更好地避免小坑内残留气泡,形成完全覆盖小孔面的完整胶膜。
本发明的二次涂胶方法一般宜在30-70℃的较高温度下进行,以便降低胶液的粘度,易于涂胶。涂胶辊的数量视不同情况可增加,也可减少,但至少不能少于两个,且在先的涂胶辊转向与钢带运行方向相同,在后的涂胶辊转向与钢带运行方向相反。
本发明的涂胶方法既可以为小孔面涂胶,也可以为大孔面涂胶,设备不需要改动。
权利要求
1.一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法,依序包括下列步骤(1)、一次腐蚀后,将钢带水洗,除去腐蚀液,钢带表面不烘干,用一对辊子除去钢带表面多余的水分,保留一层完整的水膜;(2)、用至少两个光滑的涂胶辊依次为钢带的下表面涂胶,在先的涂胶辊转向与钢带运行方向相同,在后的涂胶辊转向与钢带运行方向相反,在钢带上面设有压辊。
2.按照权利要求1所述一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法,其特征是,所述在先的涂胶辊上的胶液粘度低,在后的涂胶辊上的胶液粘度高。
3.按照权利要求1或2所述一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法,其特征是,所述涂胶操作在30-70℃下进行。
4.用于权利要求1所述一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法的专用设备,其特征是,顺钢带(1)运行方向,依次设有一对水分挤压辊(2),在水分挤压辊(2)后钢带(1)的下面设有光滑的涂胶辊(3),钢带(1)上面设有压辊(4),在涂胶辊(3)的下面设有胶液槽(5)。
5.按照权利要求4所述的专用设备,其特征是,所述光滑的涂胶辊(3)至少设有两个。
全文摘要
本发明公开了一种荫罩生产过程中的二次涂胶方法及专用设备,属高精细荫罩生产技术,特点是,一次腐蚀后,清洗钢带除去表面的腐蚀液,钢带表面不烘干,用一对辊子除去钢带表面多余的水分,然后用至少两个光滑的涂胶辊依次为钢带的下表面涂胶,在先的涂胶辊转向与钢带运行方向相同,在后的涂胶辊转向与钢带运行方向相反,采用本技术进行二次涂胶,钢带上能够形成一层完全覆盖小孔面的、没有气泡的胶膜,避免因二次涂胶不良引起的缺陷,从而得到高质量的荫罩,本涂胶方法新颖、实用,设备简单,制作成本低廉,易操作,清洗、维修方便,具有显著的技术进步和广泛的推广价值。
文档编号H01J9/14GK1595587SQ0311234
公开日2005年3月16日 申请日期2003年4月25日 优先权日2003年4月25日
发明者陈学忠, 王庆凯, 郭焕祥, 袁军, 彭步庄, 韩传山, 于永江, 王伟 申请人:烟台正海电子网板有限公司
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