专利名称：显示器的dfr膜显影后的处理方法
技术领域：
本发明涉及气体放电技术领域，更具体地，涉及一种显示器的DFR膜显影后的处
理方法。
背景技术：
彩色等离子显示器(Plasma Display Panel，简称PDP)，是利用气体放电产生真空 紫外光(VUV)，该紫外光又激发三原色荧光粉而产生红绿蓝三基色光，然后经过空间和时间 的调试实现了图像显示。AC表面放电型等离子显示屏，分为前后基板。前基板包括ΙΤ0，以 及在ITO层上交替排列的X电极和Y电极，在X、Y电极上覆盖有一定厚度的介质层，再于介 质层上沉积一层MgO薄膜；后基板包括在玻璃基板上的寻址电极，覆盖该寻址电极的介质 层以及介质层上具有的一定高度的障壁，障壁将放电空间隔离开并在其中涂敷蓝、绿、红三 色荧光粉。随后将前、后玻璃基板封结在一起充入气体。经过Y电极和ADD寻址电极之间 微弱放电产生壁电荷，这时通电时X、Y电极之间会产生放电，产生的紫外光会激发障壁槽 内的三原色荧光粉发出可见光。PDP显示屏由前、后基板及制作在基板上的电极、障壁、介质、荧光粉等功能器件组 成。障壁制作一直是PDP制程中的瓶颈，特别是随着PDP分辨率的提高，对PDP障壁制作精 度要求越来越高，在制作高精细障壁时，DFR(干膜光刻胶，Dry Film Resist)膜加工图形精 度和强度是制作的关键。由于障壁喷砂用的DFR膜一般比较厚，DFR干膜的厚度范围在40 至60 μ m，显影时溶胀的DFR膜厚度将达到50至80 μ m,这样的DFR膜在精细加工过程中， 侧壁的陡峭十分重要，显影条件十分苛刻。
发明内容
本发明旨在提供一种有利于提高DFR膜加工图形精度和强度的显示器的DFR膜显 影后的处理方法。根据本发明一种显示器的DFR膜显影后的处理方法，使用氯化钙水溶液处理DFR 膜的断面。在该显示器的DFR膜显影后的处理方法中，所述氯化钙水溶液的浓度为 0. Iwt % -0. 5wt%。优选地，所述氯化钙的浓度为约0. Iwt % -0. 2wt%。优选地，所述氯化钙的浓度为约0. 3wt % -0. 5wt %。更优选地，所述氯化钙的浓度为约0. Iwt %。更优选地，所述氯化钙的浓度为约0. 2wt%。
更优选地，所述氯化钙的浓度为约0. 5wt %。 采用本发明的显示器的DFR膜显影后的处理方法，使用化学药品处理DFR膜的断 面，尤其使用氯化钙水溶液处理DFR膜的断面。为了控制DFR膜的显影精度，通过化学药品 处理刚显影后的DFR膜，使残留的碳酸钠反应生成碳酸钙，这样就降低了残留液体侧向侵入DFR断面造成的影响，增强了 DFR膜的强度，特别是那些断面比较粗糙部分的DFR膜的强 度，进而提高了 DFR膜的显影精度，提高了显示器的显示质量。
附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实 施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中图1是根据本发明的显示器的DFR膜显影后的处理方法的理想状态下的DFR膜在 障壁的表面示意图；以及图2是根据本发明的显示器的DFR膜显影后的处理方法的实际DFR膜在显示器的 障壁表面的示意图。
具体实施例方式根据本发明的具体实施方式
，提供了一种新的DFR膜的工艺处理方法。其中，为了 控制DFR膜的显影精度，引入浓度范围为0. Iwt % -0. 5wt%的氯化钙溶液处理刚显影后的 DFR膜，碳酸钠会和氯化钙反应生成碳酸钙，这样就实现了降低残留液体侧向侵入的效果， 增强了 DFR膜的强度，特别是那些断面比较粗糙部分的强度。通过利用氯化钙溶液处理刚显影后的DFR膜，能够固化DFR膜强度，提高保护膜侧 壁的陡峭度，提高障壁加工精度，降低障壁加工的缺陷率。在本发明的一个具体实施方式
中，提供了一种显示器的DFR膜显影后的处理方 法，使用氯化钙水溶液处理DFR膜的断面。在本发明的一个优选具体实施方式
中，该显示器的DFR膜显影后的处理方法中， 所述氯化钙水溶液的浓度为0. Iwt% -0. 5wt%。在一更优选具体实施方式
中，所述氯化钙的浓度为约0. Iwt% -0. 2wt%。在另一更优选具体实施方式
中，所述氯化钙的浓度为约0. 3wt% -0. 5wt%。在一进一步优选具体实施方式
中，所述氯化钙的浓度为约0. lwt%。在另一进一步优选具体实施方式
中，所述氯化钙的浓度为约0. 2wt%。在又一进一步优选具体实施方式
中，所述氯化钙的浓度为约0. 5wt%。根据本发明的显示器的DFR膜显影后的处理方法的一个实施例，通过使用不同浓 度的氯化钙，强化DFR断面膜强度。该方法采用如下步骤1、使用印刷、干燥、曝光、显影和烧结完成在显示器玻璃基板上的寻址电极制作， 使该寻址电极在对应的Y电极下方。2、在寻址电极上方制作一层厚度为IOum左右的介质层。具体的，使用印刷工艺， 先印刷第一层介质，然后干燥，烧结。3、使用印刷法或涂覆法制备障壁层，用喷砂法制作出障壁；在制作障壁是需要使 用DFR贴膜，曝光，显影，喷砂，剥膜和烧结。本发明的方法主要应用在障壁制作过程中DFR 膜的显影过程中。4、将完成障壁制作的玻璃基板在550°C 600°C高温下烧结；5、采用印刷或喷涂工艺制作荧光粉涂层；6、如上结束下基板的制作；
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。 实施例实施例1如图1所示，在玻璃基板1上制作寻址电极；在寻址电极上制作介质层；在介质层 上涂覆一层厚度约350微米的障壁浆料2，在180°C干燥30min，贴附DFR膜3;利用光刻蚀工 艺把障壁的图形转印到DFR膜上；使用浓度为0. 3-0. 5wt%的Na2CO3显影液(液温30°C ) 进行显影，其中所使用的Na2CO3可商购获得；之后，将浓度为约0. Iwt%的CaCl2水溶液涂覆 至DFR断面4，最后在干燥箱中在约80°C下干燥持续20分钟。实施例2按照与实施例1相同的步骤来处理经显影后的DFR膜，只是使用的CaCl2溶液的 浓度为约0. 2wt%0实施例3按照与实施例1相同的步骤来处理经显影后的DFR膜，只是使用的CaCl2溶液的 浓度为约0. 5wt%0比较例1按照与实施例1相同的步骤来处理经显影后的DFR膜，只是未使用CaCl2溶液。
经CaCl2水溶液处理过的DFR膜的性能效果测试将实施例1-3与比较例1中获得的DFR膜进行如下的性能测试(1)膜强度的增强(I-I)DFR膜的侧面的耐冲击性测试。测试侧面膜质，即利用喷砂加气压的方法进 行侧面膜的耐冲击性测试。所使用的喷砂机为ALPS会社的BSP-120F喷砂机。对于每一个 试样，进行5次恒定喷砂强度和压力条件下的喷砂，之后，测量障壁图案被冲击后变窄的程 度，即测量障壁图案的宽度。利用100倍显微镜测量该图案宽度的数值。通过测量障壁图 案顶端的宽度可以检测DFR膜侧面膜质的效果(即耐冲击性)，以便体现氯化钙溶液的效 用。如果DFR膜的侧面不坚韧，喷砂时的砂粒将掀起DFR膜。利用此方法测量经CaCl2水 溶液处理过的DFR膜和未经CaCl2溶液处理过的DFR膜的耐冲击性。(1-2) DFR膜的硬度测试。利用维氏硬度计测量经CaCl2水溶液处理过的DFR膜和 未经CaCl2溶液处理过的DFR膜的维氏硬度。(1_3)DFR膜的翘曲现象(翘曲度)。观察经CaCl2水溶液处理过的DFR膜和未经 CaCl2溶液处理过的DFR膜的翘曲度。其中翘曲度的值按照(翘曲高度/曲边长度)X 100% 的方法计算。(2)降低残留液的侧向侵入。由于经CaCl2溶液处理过的DFR膜的强度得以增强， 使得残留液的侧向侵入降低。(3)还利用最终产品的产品完好率来衡量经CaCl2溶液处理的步骤对于增强DFR 膜的强度并提高最终产品率的有利作用。产品完好率为最终产品中的合格产品占总产品总 量的比例。对于实施例1-3与比较例1中获得的DFR膜进行的性能测试的结果列出于表1 中
表 权利要求
1.一种显示器的DFR膜显影后的处理方法，其特征在于，使用氯化钙水溶液处理DFR膜 的断面。
2.根据权利要求1所述的显示器的DFR膜显影后的处理方法，其特征在于，所述氯化钙 水溶液的浓度为0. Iwt% -0. 5wt%。
3.根据权利要求2所述的显示器的DFR膜显影后的处理方法，其特征在于，所述氯化钙 水溶液的浓度为0. Iwt % -0. 2wt%。
4.根据权利要求2所述的显示器的DFR膜显影后的处理方法，其特征在于，所述氯化钙 的浓度为约0. 3wt% -0. 5wt%0
5.根据权利要求3所述的显示器的DFR膜显影后的处理方法，其特征在于，所述氯化钙 水溶液的浓度为约0. Iwt%。
6.根据权利要求3所述的显示器的DFR膜显影后的处理方法，其特征在于，所述氯化钙 水溶液的浓度为约0. 2wt%。
7.根据权利要求4所述的显示器的DFR膜显影后的处理方法，其特征在于，所述氯化钙 的浓度为约0. 5wt%。
全文摘要
本发明提供了一种显示器的DFR膜显影后的处理方法，其特征在于，使用氯化钙水溶液处理DFR膜的断面。为了控制DFR膜的显影精度，通过氯化钙水溶液处理刚显影后的DFR膜，使碳酸钠反应生成碳酸钙，这样就降低了残留液体侧向侵入DFR断面造成的影响，增强了DFR膜的强度，特别是增强了那些断面比较粗糙部分的DFR膜的强度，进而提高了DFR膜的显影精度，提高了显示器的显示质量。在本发明的一个优选实施例中，其中所述氯化钙水溶液的浓度为0.1wt％-0.5wt％。
文档编号H01J9/24GK102087941SQ20101062041
公开日2011年6月8日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年9月30日
发明者吕旭东, 宋利建 申请人:四川虹欧显示器件有限公司