专利名称：等离子体显示装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种等离子体显示装置，特别涉及一种具有较大主亮区的等离子体显示装置。
一般的等离子体显示装置(Plasma Display Panel，简称PDP)的前板电极是以公知的半导体制造技术制成，由其发光的方式可分为穿透型及反射型两种，其中所谓穿透型PDP是指荧光材料是形成在前板上；而反射式PDP则指的是荧光材料形成在后板上。现今的研究是朝向反射型的PDP发展。
前板电极可分为两种，一为透明电极，一般是利用ITO材料制成，另一为辅助电极，为不透明材料，一般则是采用Cr/Cu/Cr或Cr/Al/Cr等的三层结构。目前，采用公知前板电极结构的PDP，在发光时会造成在同一像素(pixel)内，有亮暗亮暗亮暗区分布的现象，造成亮区光线无法有效集中利用，并且会造成暗区偏亮，同时，在辅助电极的黏着力及在蚀刻方面均有不良影响。
参照图1a，其为一般PDP的结构，包括一对平行相对的基板10，包括有第一基板10a与第二基板10b；多对透明电极12，形成在上述第一基板10a上，向第一方向延伸，彼此平行，同时在垂直于上述第一方向的第二方向上各对透明电极12是等距间隔；多对辅助电极14，形成在上述多对透明电极12上，向第一方向延伸，彼此平行；一介电层16，覆盖住整个第一基板10a及其上的透明电极12与辅助电极14；多组定址电极18，形成在上述第二基板10b上，向第二方向延伸，彼此平行，同时在第一方向上各定址电极18为等距间隔；多个间隔层20，形成在第二基板10b上，与该多个定址电极18相平行，用以界定该放电空间为像素阵列；及多个荧光层22，形成在上述间隔层20间，用以当施加电压在上述定址电极18与上述透明电极12及辅助电极14，导致放电空间中的气体开始放电时，受放电产生的紫外光的作用而发光。
其中，在两基板10a、10b间充入有气体，一般是He气，当电极通以适当极性的电压时，充入前、后基板10a、10b间的气体会发生崩溃(breakdown)现象，气体被大量离子化，于是产生等离子体，而利用等离子体所产生的紫外光来激发特定型式的红、绿、蓝色的荧光物质，荧光物质受激发后，会放出可见光，而可见光会经由前基板射出。在现有的前板电极结构中，参照图1b，辅助电极14完全贴于透明电极12之上，并因制造中对准的问题，通常辅助电极14的边缘与透明电极12的边缘有一小段距离，一般约为10～20μm，此位置为透光的部分，而辅助电极14的材料为不透光，所以会造成荧光物质放射出光线时，除了主亮区外，在暗区间仍有3个小亮区存在，导致暗区的暗准位会不够低，影响对比值。另外，如Cr/Cu/Cr结构的辅助电极，其中Cr层与形成透明电极的ITO材料的黏着性不佳，容易在后续的工艺中剥离。而且，在蚀刻过程中，因Cu/Cr/ITO间存在有电位的问题，会造成Cr层有较大的侧向蚀刻，更降低了辅助电极与透明电极间的黏着性。并且，在形成介电层时可能会造成残留的气泡，这些情形在大尺寸的PDP中，因为均匀性的问题，会造成更大的影响。
在先有技术中，针对对比不良的问题，有提出在公知的PDP结构中对前板加上黑带，以改良对比。其形成黑带的方式可如图2或图3所示，也就是说，黑带30、32可形成于各对透明电极12之间，或者可形成并覆盖位于各对透明电极12间的空隙。然而，不论是那一种方式，其虽能改善对比度，但却无法针对固定的像素大小，将亮区范围扩大。
由此，为了解决先有技术的问题，本发明的目的在于提出一种等离子体显示装置，其可以在固定的像素大小的情况下，扩大亮区的范围。
本发明的另一目的在于提供一种等离子体显示装置，其辅助电极具有较佳的附着性，可避免在制造中受外力作用而剥离，以增进等离子体显示装置制造时的优良率。
为了达到上述目的，本发明利用改变在制造中形成辅助电极的位置，使辅助电极并不仅是与透明电极接触，也同时与基板接触。如此，虽然作为辅助电极材料的铬(Cr)与作为透明电极材料的ITO间的附着性差，但由于铬对玻璃基板的附着性良好，因此可改善整个辅助电极的附着性。再者，若将辅助电极的形成位置向透明电极的外侧偏移，则可使得透明电极的亮区面积增大。
另外，如上所述，在蚀刻过程中，因Cu/Cr/ITO间存在有电位的问题，会造成Cr层有较大的侧向蚀刻，所以在使得辅助电极直接与基板接触时，就可以避免上述电位问题的产生，也就可以防止Cr层有较大的侧向蚀刻，因此，也可改善辅助电极的附着性。
为了更进一步说明本发明的方法、结构与特点，现结合
较佳实施例如下，其中图1a是一公知的等离子体显示装置的结构的立体图。
图1b是图1a所示的等离子体显示装置的截面图。
图2是另一种公知的等离子体显示装置的结构的截面图。
图3是另一种公知的等离子体显示装置的结构的截面图。
图4是根据本发明的一实施例的等离子体显示装置的结构的截面图。
图5是根据本发明的再一实施例的等离子体显示装置的结构的截面图。
图6是根据本发明的又一实施例的等离子体显示装置的结构的截面图。
图7是根据本发明的另一实施例的等离子体显示装置的结构的截面图。
在制作本发明所揭露的等离子体显示装置时，可采用与公知的等离子体显示装置相似的工艺与制作参数，无需大幅地改变制造的步骤。因此，一般的等离子体显示装置制造者，运用原有的设备即可实施本发明，不必再增加额外的成本。
根据本发明的第一个实施例，为了改善辅助电极的附着性，可在蚀刻透明电极的步骤中，同时对透明电极上形成辅助电极的位置进行蚀刻，如此，在形成辅助电极后，由于辅助电极直接与基板接触，所以其具有良好的附着性。
参照图4，在本实施例中，等离子体显示装置是包括一对平行相对的基板，包括有第一基板10a与第二基板10b，相互面对而形成一放电空间；多对透明电极42，形成在所述第一基板10a上，向第一方向延伸，彼此平行，同时在垂直于所述第一方向的第二方向上各对透明电极42是等距间隔；多对辅助电极44，形成在所述多对透明电极42上，向第一方向延伸，彼此平行，且各对辅助电极44是对称地形成在各对透明电极42之上的相对外侧；一介电层16，覆盖住整个第一基板10a及其上的透明电极42与辅助电极44；多个定址电极18，形成在所述第二基板10b上，向第二方向延伸，彼此平行，同时在第一方向上各定址电极18为等距间隔；多个间隔层(未显示于截面图中)，形成在第二基板10b上，与该多个定址电极18相平行，用以界定该放电空间为像素阵列；多个荧光层22，形成在上述间隔层间，用以当施加电压在所述定址电极18与所述透明电极42及辅助电极44，导致放电空间中的气体开始放电时，受放电产生的紫外光的作用而发光。
不过，上述实施例虽然可以改善辅助电极的附着性，但是由于形成辅助电极的位置与公知的等离子体显示装置中形成辅助电极的位置一样，所以在固定的像素大小的情况下，并无法扩大等离子体显示装置的亮区。
在本发明的第二个实施例中，除了改善辅助电极的附着性外，为了进一步地扩大等离子体显示装置的亮区，故将辅助电极的形成位置向透明电极的外侧偏移，使得辅助电极形成在透明电极与基板之上。如此，由于辅助电极与基板接触，可改善其附着性，同时由于其向透明电极的外侧偏移，所以可以扩大透明电极内侧的亮区面积。
参照图5，根据本实施例，等离子体显示装置包括一对平行相对的基板，包括有第一基板10a与第二基板10b，相互面对而形成一放电空间；多对透明电极12，形成在所述第一基板10a上，向第一方向延伸，彼此平行，同时在垂直于所述第一方向的第二方向上各对透明电极12是等距间隔；多对辅助电极54，形成在所述多对透明电极12上，向第一方向延伸，彼此平行，且各对辅助电极54是对称地形成在各对透明电极12之上的相对外侧；一介电层16，覆盖住整个第一基板10a及其上的透明电极12与辅助电极54；多个定址电极18，形成在所述第二基板10b上，向第二方向延伸，彼此平行，同时在第一方向上各定址电极18为等距间隔；多个间隔层，形成在第二基板10b上，与该多个定址电极18相平行，用以界定该放电空间为像素阵列；多个荧光层22，形成在所述间隔层间，用以当施加电压于所述定址电极18与所述透明电极12及辅助电极54，导致放电空间中的气体开始放电时，受放电产生的紫外光的作用而发光。
在上述实施例中，以实际的数据而言，辅助电极的高度约为2.4μm、宽度约为70～100μm，而透明电极的高度约为0.13μm、宽度约为250～350μm，可知公知等离子体显示装置的主亮区宽度约为400μm。采用本实施例的结构，与公知者相比，其主亮区可扩大约400μm，换言之，整个主亮区可扩大约10％。
前面两个实施例中，在制造中均只须修改光掩模上的图案，再依据原来的步骤进行制造即可。在第一个实施例中，必须修改透明电板的光掩模的图案，而在第二个实施例中，则必须修改覆辅助电极的光掩模的图案。
再者，运用本发明的结构，为了改善显示时的对比度，同样地可在各对透明电极12之间形成黑带34，如图6所示，且为了避免发生短路的情形，最好是以不导电的材料来制作黑带，例如墨水(ink)或碳黑。又因为墨水或碳黑自液态变为固态时，会有收缩的现象，所以为了进一步抵抗黑带收缩产生的应力，可将黑带36直接形成并覆盖在相邻两对电极54的空隙之间，如图7所示。
权利要求
1．一种等离子体显示装置，包括一对平行相对的基板，包括有第一基板与第二基板，相互面对而形成一放电空间；多对透明电极，形成在所述第一基板上，向第一方向延伸，彼此平行，同时在垂直于所述第一方向的第二方向上各对透明电极是等距间隔；多对辅助电极，形成在所述多对透明电极上，向第一方向延伸，彼此平行，且各对辅助电极是对称地形成在各对透明电极之上的相对外侧；一介电层，覆盖住整个第一基板及其上的透明电极与辅助电极；多个定址电极，形成在所述第二基板上，向第二方向延伸，彼此平行，同时在第一方向上各定址电极为等距间隔；多个间隔层，形成在第二基板上，与该多个定址电极相平行，用以界定该放电空间为像素阵列；多个荧光层，形成在所述间隔层间，用以当施加电压于所述定址电极与所述透明电极及辅助电极，导致放电空间中的气体开始放电时，受放电产生的紫外光的作用而发光；其中所述辅助电极与所述第一基板接触，以增强辅助电极的附着性。
2．如权利要求1的等离子体显示装置，其中，所述辅助电极是形成在所述透明电极的开口上，且经过该开口，与所述第一基板接触。
3．如权利要求1的等离子体显示装置，其中，所述辅助电极是形成覆盖在所述透明电极与所述第一基板的交界处。
4．如权利要求1的等离子体显示装置，其中，所述辅助电极为Cr/Cu/Cr或Cr/Al/Cr的结构。
5．如权利要求1的等离子体显示装置，其中，所述透明电极是由氧化铟锡或氧化锡材料构成。
全文摘要
一种等离子体显示装置,可在固定的像素大小的情况下,扩大亮区的范围,同时并可使其辅助电极具有较佳的附着性,以增进生产率。此种等离子体显示装置是利用改变在制造中形成辅助电极的位置,使辅助电极并不仅是与透明电极接触,也同时与基板接触,以改善整个辅助电极的附着性。再者,将辅助电极的形成位置向透明电极的外侧偏移,可使得透明电极的亮区面积增大。
文档编号H01J17/49GK1284695SQ9911772
公开日2001年2月21日 申请日期1999年8月12日 优先权日1999年8月12日
发明者苏耀庆, 宋文发, 林义哲 申请人:达碁科技股份有限公司