线放电加工装置、线放电加工方法及控制装置与流程

本发明涉及一种通过线放电加工从被加工物切除希望的部位的线放电加工装置、线放电加工方法及控制装置。

背景技术：
作为线放电加工方法之一而存在如下方法，即，通过沿从加工开始点至加工结束点为止的加工路径对作为导电性材料的被加工物(工件)进行加工，从而将被加工物分离成剩余侧的部位和切掉侧的部位(产品部位)。在该方法中，在第1加工时，为了使产品部位不被切掉而设置切割剩余部分。然后，在第2加工时，在对原来的被加工物的部分和产品部位利用导电性部件(架桥部件)进行架桥之后，对切割剩余部分进行加工。例如，在专利文献1所记载的线放电加工方法中，在对切割剩余部分以外的部分进行加工之后，使熔解凝固固定材料在熔解状态下流入加工槽。随后，通过对未加工部即切割剩余部分进行加工，从而将被加工物至少分离成2个部位。另外，在专利文献2所记载的线放电加工方法中，将架桥部件横跨设置于产品部位(型芯)和被加工物。在利用该架桥部件保持型芯之后，进行切割剩余部分的加工。此时，在将切割剩余部分剩余后进行精加工。然后，利用架桥装置使架桥部件对已加工部分进行架桥，对未加工部分即切割剩余部分进行加工。此时，对未加工部分进行精加工。专利文献1：日本特开2006-21281号公报专利文献2：日本特开平8-019918号公报

技术实现要素：
然而，在上述前者及后者的现有技术中，未公开针对产品部位(型芯)的具体的加工方法。对于架桥部件使用导电性的材料，因此确保了型芯与被加工物之间的导电性，但与被加工物相比，架桥部件是高电阻。因此，即使在以相同条件进行了加工的情况下，在切除型芯之前的加工与切除型芯之后的通过导电性部件进行的加工中加工能量不同。因此，会在型芯产生加工痕迹的条纹，加工品质降低。本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到一种能够从被加工物形成希望形状的型芯的线放电加工装置、线放电加工方法及控制装置。为了解决上述的课题、实现目的，本发明的特征在于，具有：电源装置，其在线与被加工物之间施加电压；加工部，其通过使所述线和所述被加工物相对移动从而对所述被加工物进行加工，通过从所述被加工物切除外框部分从而形成产品部位，该产品部位为所述被加工物的内侧部分；以及控制装置，其控制所述电源装置及所述加工部，所述加工部以将所述外框部分与所述产品部位的边界之中的一部分作为切割剩余部分而剩余的方式对所述边界之中的第1边界区域进行加工，然后，在成为所述产品部位的部件与成为所述外框部分的部件利用导电性部件连接之后，通过对所述边界之中的所述切割剩余部分即第2边界区域进行加工，从而从所述外框部分切除所述产品部位，并且，在加工所述被加工物时，对所述第1边界区域反复进行多次加工，并对所述第2边界区域反复进行多次加工，所述控制装置，在将n设为大于或等于2的自然数的情况下，基于对所述第1边界区域进行了加工时的加工状况，在对所述第1边界区域第n次进行加工时的第1加工条件、和对所述第2边界区域第n次进行加工时的第2加工条件中设定不同的加工条件。发明的效果根据本发明取得下述效果，即，能够从被加工物形成希望形状的型芯。附图说明图1是表示实施方式涉及的线放电加工装置的结构的图。图2是被加工物的俯视图。图3是表示控制装置的结构的框图。图4是用于说明C字型形状加工的加工处理的图。图5是用于说明切割剩余部分的加工处理的图。图6是用于说明C字型加工路径及剩余部加工路径的图。图7是表示本实施方式涉及的供电方法中的放电状态的图。图8是表示从配置于与架桥部接近侧的位置的供电件对线供给电力的情况下的放电状态的图。图9是示意地表示在切割剩余部分与型芯连接的状态下执行了C字型形状加工的情况下的精加工时的电压电流波形的图。图10是示意地表示在对切割剩余部分执行了剩余部加工的情况下的精加工时的校正前的电压电流波形的图。图11是示意地表示在对切割剩余部分执行了剩余部加工的情况下的精加工时的校正后的电压电流波形的图。图12是用于说明台阶检测时的追加加工的图。图13是用于说明追加加工时的休止脉冲宽度的图。图14是用于说明对切割剩余部分进行比希望尺寸大的C字型形状加工的情况下的加工路径的图。图15是用于说明对切割剩余部分进行了比希望尺寸大的C字型形状加工的情况下的剩余部加工的加工路径的图。图16是用于说明不存在型芯的偏离的情况下的放电频率的图。图17是用于说明存在型芯的偏离的情况下的放电频率的图。图18是用于说明利用了电阻值的调整进行的电流调整的图。图19是表示控制装置的硬件结构的图。具体实施方式下面，基于附图，对本发明的实施方式涉及的线放电加工装置、线放电加工方法及控制装置详细地进行说明。此外，本发明不限定于本实施方式。实施方式图1是表示实施方式涉及的线放电加工装置的结构的图。另外，图2是被加工物的俯视图。线放电加工装置1是通过线放电加工而从被加工物4切除希望的部位(产品部位)(型芯5)的装置。线放电加工装置1通过使被加工物4和线3相对移动，从而从被加工物4切除规定的轮廓形状而形成产品部位。线放电加工装置1通过沿从加工开始点至加工结束点为止的加工路径(加工轨迹)对作为导电性粘结材料的被加工物(工件)4进行加工，从而将被加工物4分离成剩余侧的部位和切掉侧的部位(产品部位)。此时，线放电加工装置1在第1加工时，预先在剩余侧的部位(成为外框部分的部件)与切掉侧的成为产品部位的部件之间设置切割剩余部分7，以使得成为产品部位的部件不被切掉。换言之，如果在产品部位的形状为四边形状的情况下，在从顶面侧观察被加工物4时，线放电加工装置1对被加工物4形成C字型的加工槽。然后，线放电加工装置1在第2加工时，对被加工物4与产品部位之间的加工槽利用导电性粘结部件(后述的架桥部21A～21D)进行架桥，在该状态下加工切割剩余部分7。由此，被加工物4之中的内侧部分(型芯5)成为产品部位。在本实施方式中，将从被加工物4切掉的产品部位称为型芯5。另外，将被加工物4之中的、由于型芯5的切掉而剩余侧的部位称为外框部分6。另外，将第1加工(切割剩余部分7以外的加工)称为C字型形状加工，将第2加工(切割剩余部分7的加工)称为剩余部加工。线放电加工装置1具有：线(线电极)3、线轴31、送出辊32、卷绕辊33、以及供电件9A、9B。线轴31将线3送出至送出辊32。送出辊32通过将从线轴31送出而来的线3向被加工物4侧送出，从而控制线3的张力。送出辊32设置于线轴31与被加工物4之间，主要相对于线3的行进方向而沿反方向施加张力。卷绕辊33配置于回收线3的一侧。卷绕辊33将经由送出辊32从线轴31送出而来的线3按照大致固定的回收速度进行卷绕。通过该结构，线3架设于送出辊32与卷绕辊33之间。并且，通过所架设的线3进行对被加工物4的加工。另外，线放电加工装置1具有：控制装置2、加工电源30、放电电流检测部51、台阶检测部52、以及放电频率检测部53。加工电源30与控制装置2、被加工物4以及供电件9A、9B连接。控制装置2与加工电源30、放电电流检测部51、台阶检测部52以及放电频率检测部53连接。加工电源30是通过按照来自控制装置2的指示将电流供给至供电件9A、9B，从而在线3与被加工物4之间施加电压的电源装置。放电电流检测部51对第一次加工(粗加工)之后的加工(精加工)即第二次及其以后的放电电流(加工脉冲)进行检测，将检测结果发送至控制装置2。台阶检测部52在切割剩余部分7(型芯5整体)的精加工程序结束之后，对通过C字型形状加工形成的已加工部分、与通过剩余部加工形成的已加工部分之间的台阶进行检测。台阶检测部52利用光学的方法(激光传感、拍摄到的图像的图像处理)等对台阶进行检测。台阶检测部52将检测出的台阶(检测结果)发送至控制装置2。放电频率检测部53对精加工的加工脉冲(放电频率的变化)进行检测，将检测结果发送至控制装置2。或者，台阶检测部52不限于光学的方法，也可以根据加工状态的判别而进行判断。台阶检测部52例如也可以对后述的助跑区间处的放电频率的变化进行检测，将该变化判断为台阶。本实施方式的线放电加工装置1执行下面的(1)～(6)的特征中的至少一项。(1)线放电加工装置1在剩余部加工时的精加工之际，从配置于与架桥部21A～21D远离侧的位置的供电件9B对线3供给电力。(2)线放电加工装置1基于架桥部21A～21D的阻抗，对剩余部加工的电气条件进行校正，以使得剩余部加工与C字型形状加工在相同的电流条件下进行加工。(3)线放电加工装置1在切割剩余部分7的精加工程序结束之后，当在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间检测出台阶(俯视观察到的凹凸)的情况下，从初始条件起固定脉冲宽度不变而使休止脉冲宽度(休止时间)阶段性地增加，进行追加加工直至台阶消失。(4)线放电加工装置1在C字型形状加工中，对切割剩余部分7的附近进行比希望的切割剩余部分7的尺寸大的精加工，从而预先形成在切割剩余部分7的精加工时使用的助跑区间。线放电加工装置1在对切割剩余部分7粗加工之后的精加工时，从助跑区间开始精加工。(5)线放电加工装置1将与切割剩余部分7的精加工条件相比，脉冲宽度与初始条件相同而休止脉冲宽度不同的加工条件设定为助跑区间的精加工条件。(6)线放电加工装置1在进行C字型形状加工时，相对于型芯5的完成面，在助跑区间的加工路径设置倾斜。并且，线放电加工装置1基于剩余部加工中的助跑区间处的精加工的放电频率的变化(加工脉冲定时)，对型芯5相对于外框部分6的倾斜程度(俯视观察到的偏离)进行计算，在与倾斜程度相对应地修正进行切割剩余部分7的加工时的加工路径后进行精加工。此外，该倾斜程度不限于基于上述的放电频率的变化而进行计算的情况，也可以根据台阶检测部52中的光学的方法而直接进行测量。控制装置2利用从放电电流检测部51、台阶检测部52以及放电频率检测部53发送来的检测结果，对线放电加工装置1进行控制。控制装置2通过控制加工电源30，从而执行上述的(2)、(3)或(5)。控制装置2通过控制线3或被加工物4的位置(控制线3的轨迹)，从而执行上述的(4)或(6)。此外，线放电加工装置1通过控制被加工物4与线3的相对位置，从而控制加工路径。因此，线放电加工装置1既可以通过控制线3的位置而控制加工路径，也可以通过控制被加工物4的位置而控制加工路径。在控制线3的位置的情况下，控制装置2对包含线轴31、送出辊32、卷绕辊33、以及供电件9A、9B在内的加工部的位置进行控制。另外，在控制被加工物4的位置的情况下，控制装置2对载置被加工物4的基座(对应于后述的支撑部11、12、支撑板13A、13B、14A、14B)的位置进行控制。下面，对线放电加工装置1通过控制线3的位置而控制加工路径的情况进行说明。图3是表示控制装置的结构的框图。控制装置2具有：放电电流输入部61、台阶信息输入部62、以及放电频率输入部63。另外，控制装置2具有：加工程序储存部64、阻抗计算部65、精加工条件设定部66、加工路径设定部67、倾斜度计算部68、以及指示输出部69。放电电流输入部61输入从放电电流检测部51发送来的检测结果，发送至阻抗计算部65。台阶信息输入部62输入从台阶检测部52发送来的检测结果(台阶信息)，发送至精加工条件设定部66及加工路径设定部67。放电频率输入部63输入从放电频率检测部53发送来的检测结果，发送至倾斜度计算部68。加工程序储存部64储存对被加工物4进行加工时所使用的加工程序。在该加工程序中设定有粗加工条件、精加工条件等。并且，在粗加工条件或精加工条件中，设定有对被加工物4的加工路径、线放电加工时的脉冲宽度及休止脉冲宽度等。加工程序储存部64内的加工程序被发送至指示输出部69。阻抗计算部65基于从放电电流检测部51发送来的检测结果(放电电流)，对架桥部21A～21D的阻抗进行计算。阻抗计算部65将计算结果(阻抗)发送至精加工条件设定部66。精加工条件设定部66基于架桥部21A～21D的阻抗，对剩余部加工中的精加工的电流条件进行设定。另外，精加工条件设定部66基于与通过C字型形状加工形成的已加工部分和通过剩余部加工形成的已加工部分之间的台阶相关的台阶信息，对精加工时的脉冲宽度及休止脉冲宽度进行设定。具体地说，精加工条件设定部66设定如下加工条件，即，固定脉冲宽度不变而使休止脉冲宽度阶段性地增加。精加工条件设定部66在切割剩余部分7与外框部分6之间检测出大于或等于规定值的台阶的情况下，对脉冲宽度及休止脉冲宽度的设定进行变更。精加工条件设定部66将所设定的加工条件发送至指示输出部69。倾斜度计算部68基于助跑区间处的精加工时的放电频率的变化，或者基于台阶检测部52的测量结果，对型芯5的倾斜程度(倾斜度)进行计算。倾斜度计算部68将计算结果(倾斜度)发送至加工路径设定部67。加工路径设定部67设定如下加工路径，即，对切割剩余部分7进行比希望尺寸大的C字型形状加工。另外，加工路径设定部67设定与型芯5的倾斜度对应的加工路径。具体地说，加工路径设定部67基于型芯5的倾斜度而修正加工路径。加工路径设定部67将所设定的加工路径发送至指示输出部69。指示输出部69基于加工程序，对加工电源30及线3的位置进行控制。如果从精加工条件设定部66接收到加工条件，则指示输出部69将加工程序内的加工条件变更为接收到的加工条件，基于变更后的加工条件将指示输出至加工电源30。另外，指示输出部69如果从加工路径设定部67接收到加工路径，则将加工程序内的加工路径变更为接收到的加工路径，基于变更后的加工路径将指示输出至线3。在这里，对切割剩余部分7以外的加工处理即C字型形状加工、切割剩余部分7的加工处理进行说明。图4是用于说明C字型形状加工的加工处理的图。在图4中，将进行C字型形状加工的加工路径(线3的移动轨迹)表示为C字型加工路径10，将进行剩余部加工的加工路径表示为剩余部加工路径20。被加工物4通过加工而被分割成型芯5和外框部分6两个部位。型芯5由于被从被加工物4切除而与周围(被加工物4)的导电性消失。并且，型芯5通过被从被加工物4切除而成为产品部位。被加工物4由配置于棒状的支撑部11的支撑板13A、13B夹持，并且由配置于棒状的支撑部12的支撑板14A、14B夹持。此外，在这里未图示支撑板14B。被加工物4例如呈长方体的形状。关于被加工物4，在其第1端部处，顶面侧被支撑板13A按压，底面侧被支撑板13B按压。另外，关于被加工物4，在其第2端部处，顶面侧被支撑板14A按压，底面侧被支撑板14B按压。线3例如沿铅垂方向(与被加工物4的主面垂直的方向)架设。线3以其轴向大致与被加工物4的主面垂直地相交的方式在被加工物4内进行移动，从而对被加工物4进行加工。线放电加工装置1在进行C字型形状加工时，从被加工物4的外侧开始加工，将加工进展至型芯5的外周部。接着，线放电加工装置1以从顶面侧观察被加工物4时描绘C字型形状的方式对型芯5的外周部进行加工。然后，线放电加工装置1使线3向被加工物4的外侧进行移动。由此，线放电加工装置1沿C字型加工路径10对被加工物4进行加工，在被加工物4形成与C字型加工路径10对应的加工槽。线放电加工装置1在进行C字型形状加工时，进行粗加工和至少一次精加工。这样，在进行C字型形状加工时，在剩余有型芯5的切割剩余部分7的状态下进行精加工。图5是用于说明切割剩余部分的加工处理的图。在线放电加工装置1中，在进行了C字型形状加工之后，在被加工物4的外框部分6(加工槽的外侧)与型芯5(加工槽的内侧)之间利用架桥部21A～21D进行架桥。随后，线放电加工装置1对被加工物4的切割剩余部分7进行剩余部加工。架桥部21A～21D例如分别配置于型芯5的4个角部等。此时，架桥部21A～21D配置为，被加工物4的外框部分6与型芯5之间能够经由架桥部21A～21D导通。线放电加工装置1在进行剩余部加工时，使在线3沿C字型形状加工时形成的加工槽移动至切割剩余部分7。并且，线放电加工装置1沿剩余部加工路径20对被加工物4的切割剩余部分7进行加工。线放电加工装置1在进行剩余部加工时，进行粗加工和至少一次精加工。由此，对型芯5的切割剩余部分7进行加工。然后，线放电加工装置1使线3向被加工物4的外侧进行移动。随后，架桥部21A～21D被从被加工物4及型芯5卸除。此外，只要是处在被加工物4与切割剩余部分7之间(加工完成的加工槽之上)，则架桥部21A～21D可以配置于任何位置。另外，架桥部21A～21D不限于4个的情况，也可以小于或等于3个，也可以大于或等于5个。图6是用于说明C字型加工路径及剩余部加工路径的图。在图6中示出了被加工物4的俯视图。在被加工物4处，沿型芯5的外侧即C字型加工路径10进行了C字型形状加工之后，架桥部21A～21D被配置于被加工物4之上。然后，在被加工物4处，沿剩余部加工路径20进行剩余部加工。下面，对切割剩余部分7的加工处理进行说明。在本实施方式中，在对切割剩余部分7进行加工时，线放电加工装置1执行上述的(1)～(6)的处理中的至少一项。(1)从远侧的供电件9B对线3进行供电的处理图7是表示本实施方式涉及的供电方法中的放电状态的图。在图7中示出了下侧供电的情况下的被加工物4的剖视图。在这里，对在架桥部21B的附近发生放电的情况下的电阻进行说明。在线放电加工装置1中，供电件9A、9B与线3连接。供电件9A是配置于与架桥部21B接近的位置的供电件，供电件9B是配置于与架桥部21B远离的位置的供电件。在本实施方式中，在C字型形状加工的粗加工时及精加工时，加工电源30从供电件9A、9B对线3供给电力。另外，在剩余部加工的粗加工时，加工电源30从供电件9A、9B对线3供给电力。并且，在剩余部加工的精加工时，加工电源30从配置于与架桥部21B远离侧的位置的供电件9B对线3供给电力，而不从供电件9A向线3供给电力。由此，在剩余部加工的精加工时，仅利用下部侧的供电件9B使线3与被加工物4之间进行通电。例如，在架桥部21B配置于被加工物4的顶面侧的情况下，供电件9A配置于被加工物4的顶面侧，供电件9B配置于被加工物4的底面侧。并且，在精加工时，从供电件9B经由线3在线3与被加工物4之间施加电压。型芯5与外框部分6由局部地进行了架桥的架桥部21B电连接。该架桥部21B的电阻高，另外型芯5也因为加工形状而导致电阻变高，因此有时架桥部21B或型芯5会对加工造成影响。因此，为了缓和这样的对加工的影响，线放电加工装置1在精加工时，将供电部位设为仅从与架桥部21B远离的供电件9B进行供电。由此，在精加工时，加工电源30与线3的连接仅处于下侧(供电件9B)。在这种情况下，如图7的左侧所示，如果在被加工物4(型芯5)的下部侧(底面侧)发生放电，则来自供电件9B的电流流过线3、型芯5、架桥部21B、外框部分6内。并且，在线3内，仅在线3的下部侧附近流过电流，在型芯5内，电流从型芯5的底面侧流动至顶面侧。另外，如图7的右侧所示，如果在被加工物4(型芯5)的上部侧(顶面侧)发生放电，则来自供电件9B的电流流过线3、型芯5、架桥部21B、外框部分6内。并且，在线3内，电流从线3的下部侧流动至上部侧，在型芯5内，仅在型芯5的上部侧附近流过电流。因此，在下侧供电的情况下，由于在型芯5的下部侧发生放电的情况与在型芯5的上部侧发生放电的情况之间的电阻差小，因此放电电流之差也变小。因此，被加工物4的板厚方向的加工能量稳定。图8是表示从配置于与架桥部接近侧的位置的供电件对线供给电力的情况下的放电状态的图。在图8中示出了上侧供电的情况下的被加工物4的剖视图。在这里，对在架桥部21B的附近发生放电的情况下的电阻进行说明。假设，在从配置于与架桥部21B接近的位置的供电件9A对线3供给电力、而不从供电件9B向线3供给电力的情况下，仅利用上部侧的供电件9A进行通电。在这种情况下，如图8的左侧所示，如果在被加工物4(型芯5)的下部侧(底面侧)发生放电，则来自供电件9A的电流流过线3、型芯5、架桥部21B、外框部分6内。并且，在线3内，电流从线3的上部侧流动至下部侧，在型芯5内，电流从型芯5的底面侧流动至顶面侧。另外，如图8的右侧所示，如果在被加工物4(型芯5)的上部侧(顶面侧)发生放电，则来自供电件9A的电流流过线3、型芯5、架桥部21B、外框部分6内。并且，在线3内，仅在线3的上部侧附近流过电流，在型芯5内，仅在型芯5的上部侧附近流过电流。因此，在上侧供电的情况下，由于在型芯5的下部侧发生放电的情况与在型芯5的上部侧发生放电的情况之间的电阻差大，因此放电电流之差也变大。因此，被加工物4的板厚方向的加工能量发生波动。与此相对，如果是下侧供电，则被加工物4的板厚方向的加工能量稳定，因此能够稳定地进行型芯5的精加工。从而，能够与已加工部分相同地，在切割剩余部分7的加工中也获得良好的加工精度。(2)基于C字型形状加工中的加工状态而对剩余部加工中的加工条件进行校正的处理进行了C字型形状加工之后的型芯5由导电性的架桥部21A～21D确保导电性。但是，由于在C字型形状加工中的状态与在C字型形状加工之后连接了架桥部21A～21D的状态中导电状态不同，因此在两者之间加工能量会产生差别。因此，线放电加工装置1基于C字型形状加工中的加工状态，在剩余部加工之中的至少精加工时，实现加工条件(电流、电压、脉冲宽度、电阻值等)的校正。图9是示意地表示在切割剩余部分与型芯连接的状态下执行了C字型形状加工的情况下的精加工时的电压电流波形的图。在这里，作为电流电压波形的一个例子，示出了图9(a)所示的第一次加工、图9(b)所示的第二次加工、以及图9(c)所示的第三次加工的各电压电流波形。在加工时，例如进行从第一次加工开始逐渐地减少加工能量(加工电流)的加工。另外，线放电加工装置1在第一次加工、第二次加工中，施加电压脉冲，在放电检测后停止电压脉冲。由此，向被加工物4供给电流脉冲。然后，线放电加工装置1在第三次加工中，通过利用了电流限制电阻的群脉冲振荡进行加工。此时，线放电加工装置1例如通过在后述的图18的电路结构中使开关元件SW1进行ON/OFF动作，从而抑制放电时流过的加工电流，进行精加工。图10是示意地表示在对切割剩余部分执行了剩余部加工的情况下的精加工时的校正前的电压电流波形的图。为了进行说明，在图10中，以与图9相对应的方式示出了未校正的情况下的电压电流波形。具体地说，在图10(a)中示出了第一次加工时的电压电流波形，在图10(b)中示出了第二次加工时的电压电流波形，在图10(c)中示出了第三次加工时的电压电流波形。在C字型形状加工从第一次加工进行至第三次加工之后，形成架桥部21A～21D，对切割剩余部进行加工。此时可以认为第一次加工能够是与C字型形状加工的第一次加工相同的加工。在图10(b)中示出了在将切割剩余部分7从型芯5切掉之后的第二次加工时(第一次精加工时)的校正前的电压波形及电流波形。如图9(b)及图10(b)所示，在加工切割剩余部分7时的第二次切割时的电流小于切割剩余部分7完全剩余的情况下的第二次切割时的电流。因此，在C字型形状加工与剩余部加工中，最终完成面的加工面粗糙度会产生差别。因此，在本实施方式中，放电电流检测部51对C字型形状加工时的第二次切割时的电流和剩余部加工中的第二次切割时的电流进行检测。并且，阻抗计算部65基于检测出的电流，对架桥部21A～21D的阻抗进行计算。此时，阻抗计算部65将由放电电流检测部51检测出的电流的电流峰值预先储存至存储器(未图示)等。并且，阻抗计算部65对C字型形状加工时的电流峰值的平均值进行计算，并基于平均值而计算架桥部21A～21D的阻抗。另外，阻抗计算部65对剩余部加工时的电流峰值的平均值进行计算，并基于平均值而计算架桥部21A～21D的阻抗。并且，阻抗计算部65对C字型形状加工时的阻抗与剩余部加工时的阻抗之差即阻抗差进行计算。精加工条件设定部66将与阻抗差对应的加工条件设定为剩余部加工时的第三次切割时的加工条件。具体地说，精加工条件设定部66对剩余部加工时的电流峰值时的电流进行校正，以使得在剩余部加工时的电流峰值时变得与C字型形状加工时的电流峰值相同。换言之，精加工条件设定部66将阻抗差为零这样的电流条件设定为剩余部加工时的第三次切割时的加工条件。图11是示意地表示在对切割剩余部分执行了剩余部加工的情况下的精加工时的校正后的电压电流波形的图。在图11中，以与图9相对应的方式示出了校正后的情况下的电压电流波形。具体地说，在图11(a)中示出了第一次加工时的电压电流波形，在图11(b)中示出了第二次加工时的电压电流波形，在图11(c)中示出了第三次加工时的电压电流波形。如图11所示，精加工条件设定部66对剩余部加工时的第三次切割中的加工条件(电流)进行变更，以使得在剩余部加工时和在C字型形状加工时电流峰值变得相同。由此，C字型形状加工时的第二次切割时的电流和剩余部加工时的第三次切割时的电流(电荷量)变得大致相同。由此，能够使C字型形状加工中的型芯5的表面粗糙度和剩余部加工中的型芯5的表面粗糙度一致。此外，线放电加工装置1也可以对剩余部加工时的第M次及其以后的切割时的电流进行校正，以使得C字型形状加工时的第N次(N是自然数)的切割时的电流和剩余部加工时的第M(M是自然数)次及其以后的切割时的电流变得相同。例如，线放电加工装置1也可以对剩余部加工时的第四次切割及其以后的电流进行校正，以使得C字型形状加工时的第二次切割时的电流和剩余部加工时的第四次切割及其以后的电流变得相同。另外，线放电加工装置1也可以基于C字型形状加工时的电流对剩余部加工时的电流进行设定，而不参照剩余部加工时的电流。另外，线放电加工装置1也可以从第二次切割时的中途开始对电流进行校正，以使得剩余部加工时的第二次切割时的电流和C字型形状加工时的第二次切割时的电流变得相同。在这种情况下，基于C字型形状加工时的第二次切割时的电流和剩余部加工时的第二次切割时的初期阶段中的电流，对在剩余部加工时的第二次切割时的初期阶段之后的电流进行校正。(3)在C字型形状加工与剩余部加工之间存在加工台阶的情况下，固定脉冲宽度不变而使休止脉冲宽度阶段性地增加地进行追加加工的处理台阶检测部52在C字型形状加工完成之后，对加工完成的C字型形状加工部分与加工完成的切割剩余部分7(剩余部加工部分)之间的台阶进行检测。换言之，台阶检测部52在C字型形状加工完成之后，对在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间的接合部分处产生的台阶进行检测。检测出的台阶(检测结果)被作为台阶信息而发送至控制装置2的精加工条件设定部66。精加工条件设定部66基于台阶信息，对精加工时的脉冲宽度及休止脉冲宽度进行设定。此时，精加工条件设定部66设定如下加工条件，即，固定脉冲宽度不变而使休止脉冲宽度阶段性地增加。此时的脉冲宽度为即将取得台阶信息之前所使用的脉冲宽度。换言之，脉冲宽度为切割剩余部分7的最后的精加工时的脉冲宽度(在加工程序所设定的最后的脉冲宽度)。精加工条件设定部66例如设定与台阶的大小对应的休止脉冲宽度。精加工条件设定部66将所设定的休止脉冲宽度发送至指示输出部69。如果从精加工条件设定部66接收到加工条件，则指示输出部69将加工程序内的加工条件变更为接收到的加工条件，基于变更后的加工条件将指示输出至加工电源30。图12是用于说明台阶检测时的追加加工的图。图13是用于说明追加加工时的休止脉冲宽度的图。在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间有时会产生台阶。该台阶是从顶面侧观察型芯5的情况下的台阶(从线3的主轴方向观察的情况下的凹凸)。例如，在型芯5之中的C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间的边界不是直线的情况下，检测出型芯5的台阶。具体地说，在相对于C字型形状加工部分，剩余部加工部分呈凸形状或凹形状的情况等情况下，检测出型芯5的台阶。例如，第二次切割时产生的电流之差(C字型形状加工时的电流与剩余部加工时的电流之差)成为型芯5的尺寸误差。另外，在加工液压等加工条件在切除切割剩余部分7之前和切除切割剩余部分7之后发生变化的情况下，导致型芯5的尺寸误差。即使如(2)所示能够使最终完成面的加工面粗糙度一致的情况下，这些尺寸误差也会作为台阶形状出现。在这样的情况下，在本实施方式中，在变更加工条件后进行向型芯5的追加加工，以使得台阶消失。如图12所示，在剩余部加工完成之后在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间剩余有台阶(凸部50)的情况下，针对该凸部50进行追加加工。此时，线放电加工装置1使线3逐渐地接近型芯5，不断地进行追加加工以使得C字型形状加工部分和剩余部加工部分成为同一平面。在追加加工时，线放电加工装置1一边使表面粗糙度一致、一边调整加工能量，因此一边使施加波形的脉冲宽度保持相同宽度、一边调整休止脉冲宽度。在设定追加加工的加工条件时，精加工条件设定部66设定如下加工条件，即，固定脉冲宽度不变而使休止脉冲宽度阶段性地增加。换言之，精加工条件设定部66以下述方式设定各加工条件，即，针对凸部50内的每个区域，休止脉冲宽度阶段性地增加。例如，如图12所示，精加工条件设定部66针对凸部50内的区域A设定加工条件。此时，例如如图13所示，精加工条件设定部66针对区域A，固定脉冲宽度不变而设定比精加工时大的休止脉冲宽度(第1休止脉冲宽度)。由此，通过所设定的加工条件对区域A进行追加加工。并且，精加工条件设定部66在通过向区域A的追加加工仍残留有台阶的情况下，针对凸部50内的区域B设定加工条件。此时，精加工条件设定部66针对区域B，固定脉冲宽度不变而设定比在区域A处的加工时大的休止脉冲宽度(第2休止脉冲宽度)。由此，通过所设定的加工条件对区域B进行追加加工。并且，精加工条件设定部66在通过向区域B的追加加工仍残留有台阶的情况下，针对凸部50内的区域C设定加工条件。此时，精加工条件设定部66针对区域C，固定脉冲宽度不变而设定比在区域B处的加工时大的休止脉冲宽度(第3休止脉冲宽度)。由此，通过所设定的加工条件对区域C进行追加加工。在线放电加工装置1中，反复进行针对台阶的加工条件的设定和追加加工直至台阶消失。(4)对切割剩余部分7的附近进行比希望尺寸大的C字型形状加工的处理图14是用于说明对切割剩余部分进行比希望尺寸大的C字型形状加工的情况下的加工路径的图。加工路径设定部67设定如下加工路径，即，对切割剩余部分7进行比希望尺寸大的C字型形状加工。加工路径设定部67例如在C字型形状加工中设定如下加工路径，即，剩余有在切割剩余部分7的精加工时所使用的助跑区间区域8和希望的切割剩余部分7。助跑区间区域8是切割剩余部分7的一部分，通过预先设定助跑区间区域8，从而切割剩余部分7变得比希望尺寸大。助跑区间区域8是在切割剩余部分7的精加工时用作向切割剩余部分7的助跑区间(切掉助跑区间26)的区域。在俯视观察被加工物4的情况下，助跑区间区域8具有：与型芯5(完成目标面25)相接的边、与切割剩余部分7相接的边、以及在C字型形状加工时进行加工的边。此外，在C字型形状加工时进行加工的边也可以为曲线。加工路径设定部67以下述方式设定C字型形状加工时的加工路径，即，由与型芯5相接的边和在C字型形状加工时进行加工的边夹着的顶点49成为例如小于45度的角度。换言之，以下述方式设定加工路径，即，切割剩余部分7具有与加工助跑区间区域8时的加工方向(与型芯5相接的边的方向)相交叉的边。在图14中，作为C字型形状加工中的加工路径，示出了第1精加工(S1)～第4精加工(S4)的加工路径。这样，线放电加工装置1在C字型形状加工时的加工之际，在切割剩余部分7以设置偏移的形式而形成平缓的形状的助跑区间区域8。换言之，线放电加工装置1通过与完成目标面25相比在粗加工区域侧预先对切割剩余部分7进行精加工，从而预先将型芯5的加工尺寸形成得稍大。线放电加工装置1将该加工尺寸稍大的区间设定为切割剩余部分7的加工时(剩余部加工时)的助跑区间。并且，线放电加工装置1在剩余部加工时的精加工之际，从所设定的助跑区间开始加工。图15是用于说明对切割剩余部分进行了比希望尺寸大的C字型形状加工的情况下的剩余部加工的加工路径的图。在对切割剩余部分7进行了比希望尺寸大的C字型形状加工的情况(形成了助跑区间区域8的情况)下，加工路径设定部67在剩余部加工中设定对助跑区间区域8及切割剩余部分7进行加工的加工路径。在图15中，作为剩余部加工中的加工路径，示出了第1精加工(S11)～第4精加工(S14)的加工路径。这样，线放电加工装置1设置了下述区域，即：在C字型形状加工的精加工时进行加工的区域、在剩余部加工的精加工时进行加工的区域、以及助跑区间区域8。因此，能够减小在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间产生的加工误差，其结果，能够减轻条纹状的加工痕迹。(5)将与切割剩余部分7的精加工条件相比，脉冲宽度相同而休止脉冲宽度不同的加工条件设定为助跑区间的精加工条件的处理精加工条件设定部66将与切割剩余部分7的精加工条件相比，脉冲宽度相同而休止脉冲宽度不同的加工条件设定为助跑区间的精加工条件。换言之，对于在助跑区间施加的脉冲和在进行切割剩余部分7的剩余部加工时施加的脉冲，精加工条件设定部66将它们设定为脉冲宽度相同而休止脉冲宽度不同。例如，精加工条件设定部66将图13所示的区域A～C中的任意脉冲用于在助跑区间的精加工中施加的脉冲。由此，能够使脉冲宽度一致，因此能够在C字型形状加工和剩余部加工中使表面粗糙度一致。另外，通过休止脉冲宽度的调整，能够使加工能量逐渐地增加，因此能够进行形状修正。因此，通过利用助跑区间，能够减小在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间产生的加工误差，其结果，能够减轻条纹状的加工痕迹。(6)基于助跑区间处的加工脉冲而计算型芯5的倾斜程度、与倾斜程度相对应地修正进行剩余部加工时的加工路径的处理加工路径设定部67基于相对C字型形状加工的完成面而倾斜的助跑区间的倾斜程度(型芯5的倾斜程度)，对加工路径进行调整。此时，加工路径设定部67设定加工路径以使得C字型形状加工的完成面与切割剩余部分7的完成面成为同一平面。线放电加工时的放电频率与向加工对象物的加工角度(加工路径的角度)相对应地进行变化。因此，放电频率检测部53检测对助跑区间进行精加工时的放电频率的变化(加工脉冲定时)，将检测结果发送至控制装置2。倾斜度计算部68预先将助跑区间处的精加工的放电频率的变化储存至存储器(未图示)等。并且，倾斜度计算部68基于助跑区间处的精加工的放电频率的变化，对型芯5相对于外框部分6的倾斜程度(偏离)进行计算。这里的倾斜度是从顶面侧观察被加工物4的情况下的型芯5的倾斜度。具体地说，倾斜度计算部68预先将加工切割剩余部分7时的第P次(P是自然数)切割时的放电频率的变化储存至存储器，基于该放电频率的变化对型芯5的倾斜程度进行计算。并且，倾斜度计算部68将计算结果(倾斜度)发送至加工路径设定部67。加工路径设定部67与型芯5的倾斜程度相对应地，对切割剩余部分7的第Q次及其以后(Q是比P大的自然数)的切割时的加工路径进行修正。线放电加工装置1例如基于加工切割剩余部分7之际的第二次切割时的放电频率的变化，对型芯5的倾斜程度进行计算。并且，线放电加工装置1与型芯5的倾斜程度相对应地，对第3次及其以后的切割时的加工路径进行修正。图16是用于说明不存在型芯的偏离的情况下的加工脉冲的图，图17是用于说明存在型芯的偏离的情况下的加工脉冲的图。倾斜度计算部68对精加工助跑区间时的加工脉冲进行计数，基于计数结果而判定型芯5的倾斜程度。如果型芯5不存在偏离，则如图16所示，在切割剩余部分7前方的助跑区间RA和切割剩余部分7后方的助跑区间RB处，放电频率的变化(放电频率的推移)(脉冲定时)相同。然而，在型芯5相对于外框部分6(线3的加工路径)而倾斜的情况下，所述两者的放电频率产生差别。换言之，如果型芯5存在偏离，则如图17所示，在切割剩余部分7前方的助跑区间RA和切割剩余部分7后方的助跑区间RB处，放电频率的变化不同。倾斜度计算部68基于该随时间的变化(放电频率之差)而计算型芯5的倾斜度。在将切割剩余部分7前方的助跑区间RA处的脉冲放电数设为Pa、将切割剩余部分7后方的助跑区间RB处的脉冲放电数设为Pb的情况下，倾斜度计算部68基于下面的式(1)而计算型芯5的倾斜度。|Pa-Pb|/{(Pa+Pb)/2}∝(倾斜度)…(1)加工路径设定部67根据需要对用于切割剩余部分7的完成程序的加工路径进行变更。在图17中，示出了作为向切割剩余部分7的加工路径而设定与型芯5的倾斜对应的加工路径RC的情况。此外，也可以由精加工条件设定部66修正切割剩余部分7的第Q次及其以后的切割时的加工能量，而取代由加工路径设定部67修正加工路径。在这种情况下，精加工条件设定部66设定与型芯5的倾斜程度对应的加工能量。另外，在加工助跑区间时的放电频率的变化不同于进行剩余部加工时的放电频率的变化的情况下，线放电加工装置1也可以按照用于剩余部加工的加工条件而进行剩余部加工部分的追加加工。换言之，在助跑区间的加工时和在剩余部加工时检测出放电频率的变化的情况下，线放电加工装置1也可以按照用于剩余部加工的加工条件而进行向剩余部加工部分及助跑区间的追加加工。在这种情况下，线放电加工装置1反复进行追加加工，直至在助跑区间的加工时和在剩余部加工时放电频率之差消除。线放电加工装置1在追加加工时，从初始条件起固定脉冲宽度不变而使休止脉冲宽度阶段性地增加。例如，精加工条件设定部66在追加加工时利用图13所示的区域A～C中的任意脉冲。另外，线放电加工装置1也可以不形成助跑区间。即使在这种情况下，倾斜度计算部68也能够基于切割剩余部分7的放电频率的变化而计算型芯5的倾斜程度。这样，与型芯5的倾斜程度相对应地对进行剩余部加工时的加工路径进行修正，因此即使是型芯5倾斜的情况，也能够高精度地将型芯5形成为希望的形状。此外，在(2)的处理中，对作为剩余部加工的加工条件而校正电气条件的情况进行了说明，但也可以校正其他加工条件。例如，作为加工条件，精加工条件设定部66也可以校正接近移动量，也可以校正加工速度。因此，作为加工条件，精加工条件设定部66对电气条件、接近移动量以及加工速度中的至少一项进行变更。在这里的接近移动量是从第S次(S是自然数)加工中的线3的位置至第(S+1)次加工中的线3的位置为止的距离。另外，在(2)的处理中也可以为，线放电加工装置1在C字型形状加工时和在剩余部加工时使用同一电压值之后降低剩余部加工时的电阻值，从而容易流过电流。图18是用于说明利用了电阻值的调整进行的电流调整的图。在图18中，例如示出了在第三次加工及其以后所使用的精加工用电源的例子。在位于线3与被加工物4之间的极间70、和加工电源30之间预先配置能够进行接通/断开的切换的电阻。在图18中，示出了在极间70与加工电源30之间配置有能够进行接通/断开的切换的电阻71～73的情况。线放电加工装置1通过切换电阻71～73的接通/断开，从而将剩余部加工时的电阻值降低至C字型形状加工时的电阻值以下。另外，线放电加工装置1通过使由FET(FieldEffectTransistor)等构成的开关元件SW1进行接通/断开、或者使该开关元件SW1振荡呈群脉冲状，从而对极间70供给电力。此外，线放电加工装置1是能够执行(1)～(6)中的至少一项的结构即可。例如，在不执行(2)的处理的情况下，也可以从线放电加工装置1的结构要素中去除放电电流检测部51、放电电流输入部61以及阻抗计算部65。另外，在不执行(3)的处理的情况下，也可以从线放电加工装置1的结构要素中去除台阶检测部52、台阶信息输入部62。图19是表示控制装置的硬件结构的图。控制装置2具有：CPU(CentralProcessingUnit)91、ROM(ReadOnlyMemory)92、RAM(RandomAccessMemory)93、显示部94、以及输入部95。在控制装置2中，这些CPU91、ROM92、RAM93、显示部94、以及输入部95经由总线B相连接。CPU91利用作为计算机程序的加工设定程序90而进行精加工条件或加工路径的设定。显示部94是液晶显示器等显示装置，基于来自CPU91的指示，显示精加工条件、加工路径等。输入部95具有鼠标、键盘而构成，输入由使用者从外部输入的指示信息(精加工条件或加工路径所需的参数等)。向输入部95输入的指示信息向CPU91发送。加工设定程序90储存在ROM92内，经由总线B向RAM93进行加载。CPU91执行被加载至RAM93内的加工设定程序90。具体地说，在控制装置2中，按照由使用者从输入部95输入的指示，CPU91从ROM92内读出加工设定程序90而展开至RAM93内的程序保存区域，执行各种处理。CPU91将在该各种处理时产生的各种数据暂时地存储至在RAM93内所形成的数据储存区域。由控制装置2执行的加工设定程序90是包含阻抗计算部65、精加工条件设定部66、加工路径设定部67、倾斜度计算部68以及指示输出部69中的至少一项的模块结构，它们被加载至主储存装置上，它们在主储存装置上生成。这样，根据实施方式，由于从配置于与架桥部21A～21D远离侧的位置的供电件9B对线3供给电力，因此能够容易地使被加工物4的板厚方向的加工能量稳定。另外，基于C字型形状加工时的电流对剩余部加工时的电流进行设定，因此能够容易地使C字型形状加工中的型芯5的表面粗糙度和剩余部加工中的型芯5的表面粗糙度一致。另外，由于在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间检测出台阶的情况下，固定脉冲宽度不变而使休止脉冲宽度阶段性地增加而进行追加加工，因此能够容易地消除台阶。另外，由于预先对切割剩余部分7进行比希望尺寸大的精加工，因此能够利用助跑区间区域8而开始切割剩余部分7的精加工。因此，能够减小在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间产生的加工误差。其结果，能够减轻条纹状的加工痕迹。另外，由于将与切割剩余部分7的精加工条件相比脉冲宽度相同而休止脉冲宽度不同的加工条件用于助跑区间的精加工条件，因此能够减小在C字型形状加工部分与剩余部加工部分之间产生的加工误差。其结果，能够减轻条纹状的加工痕迹。另外，由于利用相对于型芯5的完成面而在助跑区间设置有倾斜的加工路径，因此能够容易地计算型芯5的倾斜程度。并且，与型芯5的倾斜程度相对应地对进行剩余部加工时的加工路径进行修正，因此即使是型芯5倾斜的情况，也能够高精度地将型芯5形成为希望的形状。这样，由于在C字型形状加工之后，对型芯5的切割剩余部分7进行适当的加工，因此能够容易地从被加工物4形成高品质的希望形状的型芯5。工业实用性如上所述，本发明涉及的线放电加工装置、线放电加工方法及控制装置适用于通过线放电加工从被加工物形成希望形状。标号的说明1线放电加工装置，2控制装置，3线，4被加工物，5型芯，6外框部分，7切割剩余部分，8助跑区间区域，9A、9B供电件，10C字型加工路径，20剩余部加工路径，21A～21D架桥部，30加工电源，51放电电流检测部，52台阶检测部，53放电频率检测部，65阻抗计算部，66精加工条件设定部，67加工路径设定部，68倾斜度计算部，RA、RB助跑区间。