薄皮工件固定装置的制作方法

本实用新型属于激光切割技术领域，尤其涉及一种薄皮工件固定装置。

背景技术：

激光切割机经常用于切割一些0.5mm-1mm厚度的薄片工件，为了将工件固定，经常采用蓝膜固定工件，真空吸盘整体吸附来达到固定的目的，传统的玻璃刻槽及铝板打孔均有平面精度不高，吸附效果不佳，不易脱离等缺陷，而硅晶圆隐形切割机对吸盘平行面度和平行度要求较高，需要更好的薄片工件固定结构。

技术实现要素：

本实用新型提供一种平面度、吸附效果好的薄皮工件固定装置。

本实用新型提供一种薄皮工件固定装置，其包括陶瓷吸盘、陶瓷吸盘过渡板、马达、马达过渡板、以及料环定位及吸附件；其中，所述马达安装在所述马达过渡板上；所述陶瓷吸盘过渡板安装在所述马达上；所述陶瓷吸盘和料环定位及吸附件均安装在所述陶瓷吸盘过渡板上。

优选地，所述陶瓷吸盘位于所述料环定位及吸附件的内部。

优选地，还包括安装所述马达过渡板的直线二维平台。

优选地，还包括连接在所述马达过渡板和直线二维平台的马达定位件。

优选地，还包括吸附薄皮工件的料环。

优选地，所述料环放置在所述陶瓷吸盘上且由所述料环定位及吸附件固定。

优选地，所述陶瓷吸盘包括不锈钢的基体和由该基体支撑的吸盘表面。

优选地，所述吸盘表面设有多个孔。

本实用新型采用微孔陶瓷精密加工制成的陶瓷吸盘，陶瓷吸盘表面的平面度和平行度高，真空吸附效果好，破真空后易脱离，结构尺寸稳定，长时间工作不变形；陶瓷吸盘采用顶丝调整水平，方便；使用料环定位和吸附件，方便对工件整体固定和定位；本实用新型提高了载台的平行度和平面度，改善了吸附效果，使工件不容易脱离。

附图说明

图1为本实用新型薄皮工件固定装置的立体图；

图2为图1所示薄皮工件固定装置的主视图；

图3为图1所示薄皮工件固定装置的左视图；

图4为图1所示薄皮工件固定装置的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进行进一步说明。

如图1至图4所示，本薄皮工件固定装置包括料环1、陶瓷吸盘3、陶瓷吸盘过渡板4、DD马达5、DD马达过渡板6、料环定位及吸附件2、马达定位件8、以及直线二维平台7。其中，DD马达5安装在DD马达过渡板6上；陶瓷吸盘过渡板4安装在DD马达5上；陶瓷吸盘3安装在陶瓷吸盘过渡板4上；料环定位及吸附件2安装在陶瓷吸盘过渡板4上，且陶瓷吸盘3位于料环定位及吸附件2的内部；DD马达过渡板6安装在直线二维平台7上；马达定位件8连接在DD马达过渡板6和直线二维平台7，即通马达定位件8将DD马达5固定在直线二维平台7上；本薄皮工件固定装置固定在直线二维平台7上。

陶瓷吸盘3包括不锈钢的基体和由该基体支撑的吸盘表面，吸盘表面由陶瓷制成的。吸盘表面设有多个孔(图未示)。

本薄皮工件固定装置固定薄皮工件的方法，包括如下步骤：

第一步：薄片工件放置在带蓝膜的料环1上，蓝膜粘住工件；

第二步：料环1放置在陶瓷吸盘4上面，料环1被料环定位及吸附件2固定；

第三步：开启真空吸附，陶瓷吸盘4产生真空吸附蓝膜，料环1和蓝膜分别被吸附，从而达到固定薄片工件的效果。

本实用新型采用微孔陶瓷精密加工制成的陶瓷吸盘，陶瓷吸盘表面的平面度和平行度高，真空吸附效果好，破真空后易脱离，结构尺寸稳定，长时间工作不变形；陶瓷吸盘采用顶丝调整水平，方便；使用料环定位和吸附件，方便对工件整体固定和定位；本实用新型提高了载台的平行度和平面度，改善了吸附效果，使工件不容易脱离。

以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。