专利名称：快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种波能真空镀覆装置。
目前已有以激光为能源通过真空溅射和离子注入镀覆方式制取大面积均匀纳米级具有特定功能或特性薄膜(如金刚石膜、超导膜等)的装置，存在制备速度慢的缺点。
本实用新型的目的是提供一种可快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置。
本实用新型的技术解决方案是它是在真空罩的罩体上分别设有激光入射窗口、抽气口、红外光扩束窗口、充气窗口、靶体动力输入口、检验窗口、碘钨灯、观察窗口、靶体电极、衬底电极、衬底动力输入口，在对应靶体动力输入口和衬底动力输入口的罩体内分别设有靶体旋转装置和衬底旋转装置。
本实用新型的技术技术效果是它可快速制备大面积均匀纳米功能膜。
附图
为本实用新型实施例结构示意图。
实施例如图所示，它是在横截面为圆形的真空罩的罩体上分别设有激光入射窗口1、抽气口2、红外光扩束窗口3、充气窗口4、靶体动力输入口5、检验窗口6、碘钨灯7、观察窗口8、靶体电极9、衬底电极10、衬底动力输入口11，在对应靶体动力输入口和衬底动力输入口的罩体内分别设有靶体旋转装置12和衬底旋转装置13。
权利要求快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置，其特征是，在真空罩的罩体上分别设有激光入射窗口(1)、抽气口(2)、红外光扩束窗口(3)、充气窗口(4)、靶体动力输入口(5)、检验窗口(6)、碘钨灯(7)、观察窗口(8)、靶体电极(9)、衬底电极(10)、衬底动力输入口(11)，在对应靶体动力输入口(5)和衬底动力输入口(11)的罩体内分别设有靶体旋转装置(12)和衬底旋转装置(13)。
专利摘要快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置,它是在真空罩的罩体上分别设有激光入射窗口、抽气口、红外光扩束窗口、充气窗口、靶体动力输入口、检验窗口、碘钨灯、观察窗口、靶体电极、衬底电极、衬底动力输入口,在对应靶体动力输入口和衬底动力输入口的罩体内分别设有靶体旋转装置和衬底旋转装置。它可快速制备大面积均匀纳米功能膜。
文档编号C23C14/32GK2453017SQ00260690
公开日2001年10月10日 申请日期2000年11月30日 优先权日2000年11月30日
发明者申家镜, 彭鸿雁, 杨贵龙, 彭寄星, 王军 申请人:黑龙江省光电技术研究所