专利名称：真空镀膜机循环装片装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空镀膜领域，具体地说是一种真空镀膜机循环装片装置。
背景技术：
已有的真空镀膜机在实际生产中，完成一个镀膜周期后，要取出已镀好膜的玻璃片，必须开启真空室，而每开启一次真空室，就要把原有真空室内的真空度全部损失掉，同时在真空室内的热量也要损失掉，因而这样的镀膜机存在生产成本高，效率低的缺陷。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是针对上述不足，设计出一种真空镀膜机循环装片装置。
本实用新型的实施方案是它包括镀膜箱体和高真空抽取装置，镀膜箱体的上部为主真空室，在主真空室内有物料装置、主烘烤盘，蒸发源，镀膜箱体的边侧有箱门，在箱门上做有一个付箱体，付箱体与付机械泵相接，在付箱体与镀膜箱体之间隔有付高阀，在付箱体内安装有工件送出装置、工件接收装置、预烘烤盘。
本实用新型由于在真空镀膜机内加了循环装片装置，可以使主真空室内的真空度及热量基本不会损失，从而较好地降低了生产成本，提高了生产效率。
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为球面锅的结构示意图。
图3为图2的俯视示意图图4为锅承座的结构示意图。
图5为图4的A向示意图。
图6主轴的结构示意图。
图7为图6的A向示意图。
图8为工件托举装置的结构示意图。
图9为图8的左视示意图。
图10与传动轴相连的蜗轮蜗杆结构示意图。
图11为图10的俯视示意图。
图12为工件送出装置的结构示意图。
图13为工件送出装置的局部剖视示意图。
图14为工件送出装置的托架与球面锅结合关系结构示意图。
图15为工件送出装置的托架结构示意图。
图16为工件接收装置的托架与球面锅结合关系结构示意图。
图17为的工件接收装置的结构示意图。
图18为图17的俯视示意图。
图19图17的左视示意图。
图20的填料装置的结构示意图。
图21为付箱体的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
本实用新型包括镀膜箱体(9)和高真空抽取装置，镀膜箱体(9)安装在支架(19)上，在镀膜箱体(9)的上部为主真空室(10)，在主真空室(10)内有物料装置、主烘烤盘(21)，蒸发源(18)，蒸发源(18)内置有钳锅(53)，镀膜箱体(9)的正面为箱门(7)，在箱门(7)上做有一个付箱体(5)，付箱体(5)与付机械泵(1)相接，付箱体(5)与付机械泵(1)之间有连接管(1`)，连接管(1`)上置有付截放阀(2)和付低阀(2`)。在付箱体(5)与镀膜箱体(7)之间隔有付高阀(15)，在付箱体(5)内安装有工件送出装置(6)、工件接收装置(16)、预烘烤盘(14)。
物料装置包括主轴(24)、正反转装置、定位装置、球面锅(23)、比较片(31)、工件托举装置、填料装置(17)和控制光源(8)，主轴(24)装于镀膜箱体(7)的顶部，正反转装置和定位装置装于主轴(24)上，球面锅(23)连在主轴(24)的下端，球面锅(23)内置有比较片(31)，工件托举装置位于主真空室(10)的下部，填料装置(17)位于镀膜箱体(7)的边侧，控制光源(8)位于镀膜箱体(7)的上部。
上述球面锅(23)包括锅面(28)和锅承座(30)，锅面(28)扑在锅承座(30)上，在锅承座(30)上有锁眼(29)和比较片座(31`)。主轴包括三根轴(33)和一个轴轮(32)，该三根轴(33)分别固定在轴轮(32)的三个不同位置。
上述的工件托举装包括托举机构和托举架(20)，托举机构与托架(20)相接。托举机构包括齿条I(36)、扇形齿(34)、齿轮架(38)、蜗轮(41)、蜗杆(42)、蜗轮箱(40)、传动轴I(35)、螺杆(37)，齿轮架(38)上有齿条I(36)、扇形齿(34)和螺杆(37)，蜗轮(41)位于蜗轮箱(40)内。蜗轮(41)装在传动轴I(35)上，蜗杆(42)靠着蜗轮(41)，B处的传动轴(39)和E处的传动轴(39`)为同一处。工件送出装置(6)包齿条II(43)、齿条导轨II(45)、传动轴II(44)和送出托架(46)，齿条II(43)位于齿条导轨II(45)内，齿条II(43)装在传动轴II(44)的下端，送出托架(46)与齿条导轨(45)相接；工件接收装置(16)包括齿条III(49)、齿条导轨III(50)和托架(47)，齿条III(49)位于齿条导轨III(50)内，齿条导轨III(50)与接收托架(47)相接。填料装置(17)包括料斗(51)和转轴(52)，料斗(51)装在转轴(52)上。
镀膜箱体(7)的背部有主水冷挡板(22)。高真空抽提装置包括主机械泵(13)、连接管(13`)、油扩散泵(27)，主机械泵(13)与油扩散泵(27)能过连接管(13`)相连，油扩散泵(27)通过一过渡腔与镀膜箱体(7)相连，在油扩散泵(27)的上接口处有一个主高阀(26)。在连接管(13`)上有主前级阀(22)、主截放阀(12)和主低阀(11)。
本实用新型的工作原理是如图所示，在一个生产周斯的开始，主轴(24)上承载了三片球面锅工件架，主烘烤盘(21)开始加热，工件托举装置落下，付高阀(15)关上，付真空室(10)内工件送出装置上也装上了三片待镀的球面锅工件架，预烘烤盘(14)加热，将付真空室(3)门关上，开付机械泵(1)，的付低阀(3`)抽低真空。当主真空室(10)的真空度，温度达到蒸镀条件后，开始蒸镀，镀完一片球面锅工件架后，将主轴(24)定位，工件托举装置升起，将三片球面锅工件架托起一定的距离，利用主轴正反转装置将最下面一片球面锅工件架卸下，同时关付低阀(3`)后开付高阀(15)，将接收装置伸入主真空室(10)接住托举装置上镀好的一片球面锅工件架，然后退回到付真空室(3)内，关付高阀(15)，继续蒸镀主轴(24)上的第二片球面锅工件架，蒸镀完成后如上一片一样的程序，从主轴(24)上卸下收入付真空室(3)，当蒸镀完主轴上最后一片球面锅工件架，并按程序将它收入付真空室(3)后，此时由工件送出装置将三片已经预加热的球面锅工件架放到工件托举装置上面，然后退回轴(33)和一个轴轮(32)，该三根轴(33)分别到付真空室(3)内，关付高阀(15)通过工件托举装置及主轴正反转定位装置将三片球面锅工件架安装在主轴(24)上，落下工件托举装置，将付真空室(3)的充气阀(3a)打开充气，充到大气压后开付真空室(3)门，将工件接收装置上已镀好的三片球面锅工件架卸下，同时，在工件送出装置上装上另外三片待镀的球面锅工件架，开预烘烤盘开关，开始预加热，关付真空室门，开付机械泵(1)，付低阀(3)抽付真空室(3)内的低真空，至此完成了一个生产周期。
权利要求1.一种真空镀膜机循环装片装置，它包括镀膜箱体和高真空抽取装置，镀膜箱体的上部为主真空室，在主真空室内有物料装置、主烘烤盘，蒸发源，镀膜箱体的正面为箱门，其特征在于在箱门上做有一个付箱体，付箱体与付机械泵相接，在付箱体与镀膜箱体之间隔有付高阀，在付箱体内安装有工件送出装置、工件接收装置、预烘烤盘。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机循环装片装置，其特征在于物料装置包括主轴、球面锅、比较片、工件托举装置、填料装置和控制光源，主轴装于镀膜箱体的顶部，球面锅连在主轴的下端，工件托举装置位于主真空室的下部，填料装置位于镀膜箱体的边侧，控制光源位于镀膜箱体的上部。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜机循环装片装置，其特征在于球面锅有包括锅面和锅承座，锅面扑在锅承座上，比较片置于球面锅内；主轴包括三根轴和一个轴轮，该三根轴分别固定在轴轮的三个不同位置；工件托举装置包括托举机构和托举架，托举机构与托架相接；托举机构包括齿条I、扇形齿、齿轮架、蜗轮、蜗杆、传动轴I、螺杆，齿轮架上有齿条I、扇形齿和螺杆，蜗轮装于传动轴I，蜗杆靠着蜗轮；工件送出装置包齿条II、齿条导轨II、传动轴II和送出托架，齿条II位于齿条导轨II内，齿条II装在传动轴II的下端，送出托架与齿条导轨相接；工件接收装置包括齿条III、齿条导轨III和托架，齿条III位于齿条导轨III内，齿条导轨III与接收托架相接；填料装置包括料斗和转轴，料斗装在转轴上。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机循环装片装置，其特征在于镀膜箱体包括支撑支架，在镀膜箱体的背部有主水冷挡板。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜机循环装片装置，其特征在于高真空抽取装置包括主机械泵、油扩散泵，主机械泵与油扩散泵相连，油扩散泵通过一过渡腔与镀膜箱体相连，在油扩散泵的上接口处有一个主高阀。
专利摘要本实用新型公开了一种真空镀膜机循环装片装置，它包括镀膜箱体和高真空抽提装置，镀膜箱体的上部为主真空室，在主真空室内有物料装置、主烘烤盘，蒸发源，镀膜箱体的边侧有箱门，在箱门上做有一个付箱体，付箱体与付机械泵相接，在付箱体与镀膜箱体之间隔有付高阀，在付箱体内安装有工件送出装置、工件接收装置、预烘烤盘。将本实用新型用在镀膜机能上，可大幅降低生产成本，提高生产效率。
文档编号C23C14/56GK2575113SQ0226047
公开日2003年9月24日 申请日期2002年9月27日 优先权日2002年9月27日
发明者吴国强 申请人:吴国强