专利名称：气相法纳米微粉沉积收集装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于气相法制备纳米粉体的沉积收集装置。
本实用新型的目的可通过如下措施来实现一种气相法纳米微粉沉积收集装置，包括沉积收集桶；所述的沉积收集桶为双层桶或套桶，沉积收集桶的双层桶之间的空腔或套桶的内桶与冷却液体连通，在沉积收集桶的桶壁上设冷凝管。
另在沉积收集桶下设负压抽取收集装置。
在沉积收集桶内设刮环。
所述的冷凝管与制冷装置相连。
本实用新型相比现有技术具有如下优点
本实用新型对沉积桶采用循环液体冷却和热力学制冷装置两种方式对沉积收集桶进行冷却，通过上述两种冷却方法来连续调节沉积收集桶壁的温度，从而调节从蒸发源到沉积壁的不同温度梯度，可对所制的纳米粉形态、松比、粒度分布进行控制。
权利要求1.一种气相法纳米微粉沉积收集装置，包括沉积收集桶(4)；其特征在于所述的沉积收集桶(4)为双层桶或套桶，沉积收集桶(4)的双层桶之间的空腔或套桶的内桶与冷却液体连通，在沉积收集桶(4)的桶壁上设冷凝管(1)。
2.如权利要求1所述的气相法纳米微粉沉积收集装置，其特征在于在沉积收集桶(4)下设负压抽取收集装置(6)。
3.如权利要求1所述的气相法纳米微粉沉积收集装置，其特征在于在沉积收集桶(4)内设刮环(2)。
4.如权利要求1所述的气相法纳米微粉沉积收集装置，其特征在于所述的冷凝管(1)与制冷装置(7)相连。
专利摘要本实用新型涉及一种气相法纳米微粉沉积收集装置，包括沉积收集桶；所述的沉积收集桶为双层桶或套桶，沉积收集桶的双层桶之间的空腔或套桶的内桶与冷却液体连通，在沉积收集桶的桶壁上设冷凝管；本实用新型利用循环液体冷却和热力学制冷装置来实现对沉积收集桶的桶壁温度的连续调节，从而通过调节温度来控制纳米颗粒的纳米粉形态、松比、粒度分布，而获得所需的纳米粉体。
文档编号B22F9/02GK2568341SQ0226229
公开日2003年8月27日 申请日期2002年9月22日 优先权日2002年9月22日
发明者阎鹏勋 申请人:兰州大学等离子体与金属材料研究所