专利名称：一种能自行降温的等离子体化学气相沉积仓室的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池生产用化学气相沉积仓室，具体的说是一种能自
行降温的等离子体化学气相沉积仓室。
背景技术：
在太阳能电池生产过程中，太阳能电池在等离子体化学气相沉积设备内沉积PIN 层，其中沉积过程为在18(TC左右的等离子体化学气相沉积仓室内，通过放电等作用，使 硼烷、硅烷、磷烷沉积在太阳能电池上，形成太阳能电池的PIN结构。 上述过程中等离子体化学气相沉积设备仓室的温度大约在180°C，由于沉积的时 间较长，设备内部一直保持该温度，因为仓室主体为钢结构，所以长时间的高温对仓室的结 构会产生一定的影响(高温可能会引起形变)，所以需要通过对仓室进行改进，使仓室主体 结构保持稳定。
发明内容本实用新型的目的是要提供一种结构简单合理、能够对等离子体化学气相沉积设 备的仓室本身降温的沉积仓室。 本实用新型的目的是这样实现的该仓室包括仓室主体、反光板，所述的反光板设 置在仓室主体的内部。 所述的反光板分为四块分别设置在仓室主体内部的上、下、左右面上，由于仓室主 体的前后面需要分别进出电池片，所以不设置反光板。 本实用新型由于采用上述结构，即在仓室主体的内部上下左右增设了反光板，所 以在设备运行的过程中，太阳能电池进入仓室后，仓室内部开始加热，由于反光板的作用， 热量到反光板以后被反射，有效的控制了热量向仓室主体结构的扩散，防止了仓室主体由 于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行。
图1为本实用新型整体结构示意图。
图2为本实用新型正面投影图。
具体实施方式由附图所示该降温装置包括仓室主体1、反光板2，所述的反光板2设置在仓室主 体l的内部。 所述的反光板2分为四块分别设置在仓室主体1内部的上、下、左右面上，由于仓 室主体1的前后面需要分别进出电池片，所以不设置反光板2。 在设备运行的过程中，太阳能电池由前端进入仓室主体1后，仓室内部开始加热， 由于反光板2的作用，热量会通过反光板2被反射，这样就有效的控制了热量向仓室主体1
3结构的扩散，防止了仓室主体1由于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行c
权利要求一种能自行降温的等离子体化学气相沉积仓室，该降温装置包括仓室主体(1)，其特征在于它还包括反光板(2)，所述的反光板(2)设置在仓室主体(1)的内部。
2. 根据权利要求1所述的一种能自行降温的等离子体化学气相沉积仓室，其特征在 于所述的反光板(2)分为四块分别设置在仓室主体(1)内部的上、下、左右面上。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳能电池生产用化学气相沉积仓室，具体的说是一种能自行降温的等离子体化学气相沉积仓室。该仓室包括仓室主体、反光板，所述的反光板设置在仓室主体的内部。本实用新型由于采用上述结构，即在仓室主体的内部上下左右增设了反光板，所以在设备运行的过程中，太阳能电池进入仓室后，仓室内部开始加热，由于反光板的作用，热量到反光板以后被反射，有效的控制了热量向仓室主体结构的扩散，防止了仓室主体由于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行。
文档编号C23C16/50GK201545910SQ20092009471
公开日2010年8月11日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者刘万学, 左腾, 张兵, 徐柏章, 曲爽, 杨继泽, 王巍, 程明辉 申请人:吉林庆达新能源电力股份有限公司