专利名称：晶片单面抛光机防撞减压装置的制作方法
技术领域：
本发明为抛光机的缓冲装置，特别是晶片单面抛光机的防撞缓冲装置，属于抛光 机械技术领域。气缸运动终止时的缓冲装置，让快速运动的气缸以逐步减速停下，以求得运动的 平稳无冲击。
背景技术：
传统的抛光机都是以气缸运动来实现上抛光头的提升及下降，并保持压力前行抛 光，这类传统抛光机对于常见的金属零件或光学零件的加工是正常的。但是，在半导体晶片 的抛光过程中，没有缓冲的情况下，当气缸运动到行程的上下二个端头时，就会产生冲击， 这样就会造成摔坏抛光盘和破坏抛光晶片的后果，长时间运行还会损坏机器设备，使抛光 机不能正常的工作，因此传统抛光机不能适用于半导体晶片的抛光。
发明内容
本发明缓冲装置所要解决的问题是提供一种晶片单面抛光机防撞减压装置，其结 构简单但却可以缓冲气缸在上下行程止点产生的冲击，有利于保证半导体晶片的抛光质 量，并延长抛光机的使用寿命。本发明技术解决此问题的方法是在与气缸活塞杆成一体的上磨盘转轴上连接有 减振传动杆，在传动杆的行程上、下止点分别安装有阻尼油缸，阻尼油缸内装有复位的压力 弹簧，阻尼油缸的液压油接口接于储油器上。所述的传动杆通过一连接板与转轴的上端连接，并且采用二根传动杆对称安装在 连接板上。所述的阻尼油缸的下缸体与气缸的支座成一体，缸内安装的压力弹簧采用圆柱螺
旋弹簧。本发明的工作原理是当气缸中的转轴运动到终点时，撞上阻尼油缸的活塞，由于 阻尼油缸的液压油接口只能让设定量的液压油通过，迫使气缸中转轴下移速度降低，直至 终点。当气缸中转轴向上运动时，阻尼油缸中的活塞在弹簧的作用下回位，液压油重新被吸 回到油缸中。本发明的有益效果是采用了活塞式液压压力油循环方式的阻尼油缸，可以承受 很大的气缸压力和较长的行程，缓冲抛光头的冲击力量，保证半导体晶片的抛光质量，并延 长抛光机的使用寿命。
图1为本发明的结构示意图。图2为本发明的阻尼油缸结构示意图
图中各标号为气缸上盖01、气管接口 02、气缸套03、上气室04、支座05、下盖06、转轴07、上磨盘连接法兰08、轴承09、液压油接口 10、压力弹簧11、活塞12、密封圈13、密封圈 14、传动杆15、轴承16、连接板17。
具体实施例方式参见图1、2，上磨盘的转轴07与气缸活塞杆成一体，装入气缸套03中，转轴07的 上端连接一连接板17，连接板17两侧对称安装二根传动杆15，在传动，15的行程上、下止 点分别安装阻尼油缸，阻尼油缸的下缸体直接设置在气缸的支座05上，阻尼油缸内装有复 位的压力弹簧11，阻尼油缸的液压油接口 10接于储油器(图中未画)上。阻尼油缸的缸内 安装的压力弹簧11采用圆柱螺旋弹簧，一端触压在缸底，另一端触压在活塞12的内孔中。气缸中转轴07向下运动时，带动连接板17 —起运动，通过穿过气缸体外面的导 孔，减振作用的传动杆15向下运动。当碰上阻尼油缸的活塞12时，活塞12继续向下运动， 将油缸里的油通过液压油接口的限流孔推回储油器，调节流量，控制油缸活塞的运动速度。 当转轴07提起后，油缸活塞12在压力弹簧11作用下弹起，将储油器里的油重新吸入阻尼 油缸，完成复位。
权利要求
1.一种晶片单面抛光机防撞减压装置，其特征是在与气缸活塞杆成一体的上磨盘转 轴上连接有减振传动杆，在传动杆的行程上、下止点分别安装有阻尼油缸，阻尼油缸内装有 复位的压力弹簧，阻尼油缸的液压油接口接于储油器上。
2.按权利要求1所述的晶片单面抛光机防撞减压装置，其特征是传动杆通过一连接 板与转轴的上端连接，并且采用二根传动杆对称安装在连接板上。
3.按权利要求2所述的晶片单面抛光机防撞减压装置，其特征是阻尼油缸的下缸体 与气缸的支座成一体，缸内安装的压力弹簧采用圆柱螺旋弹簧。
全文摘要
本发明抛光机的缓冲装置，特别是晶片单面抛光机的防撞缓冲装置，属于抛光机械技术领域。本缓冲装置的特征是，在与气缸活塞杆成一体的上磨盘转轴上连接有减振传动杆，在传动杆的行程上、下止点分别安装有阻尼油缸，阻尼油缸内装有复位的压力弹簧，阻尼油缸的液压油接口接于储油器上。本发明结构简单，可以承受很大的气缸压力和较长的行程，缓冲气缸在上下行程止点产生的冲击，减轻抛光头的冲击力量，保证半导体晶片的抛光质量，并延长抛光机的使用寿命。
文档编号B24B29/02GK102133728SQ20101058307
公开日2011年7月27日 申请日期2010年12月11日 优先权日2010年12月11日
发明者李明, 杨理, 陈明寿 申请人:昆明台兴精密机械有限责任公司