专利名称：一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及在大面积金属板材上离子镀金属氮化物，或金属氧化物，采用很 多个电弧等离子体蒸发离化源组成离子镀膜机，属于物理气相沉积技术领域。
技术背景目前，国内外进行镀覆大面积板材的真空镀膜机，基本上有两大类，即立式筒状真 空镀膜室，由于建筑用板材面积大，所以采用筒状尺寸较大，如Φ 1500x3000，配多达52个 电弧蒸发离化源，也有Φ 3800x1500，配沈个上述源。见专利CN9424337多蒸发源离子镀膜 机。还有是流水线列车隧道式，一张张斜立着的板材，依次从大气经真空锁通过左真 空室至真空镀膜室，再经右真空室，右移至真空锁，然后出炉，见专利CN 01219841.上述两类镀膜机均与本专利结构大为不同，本专利是卧式真空镀膜室，而且是中 空横卧式，中空真空室实际是一个U形截面按纵轴线回转的回转体，传统立式机设备由于 高度很高，从而使装吊板材需要生产厂房高度更高，一般要7m高，或将设备挖地安装，劳动 条件较苛刻。采用另一类流水线列车隧道式，斜立板材经过镀膜室，属于扫描式镀覆，此设 备庞大，运动结构复杂，制造成本高。本实用新型的技术方案是卧式中空真空镀膜式。由于横卧，降低了车间使用高度， 又采用横卧双钟罩相套合，镀膜空间只是两钟罩的间夹空间，抽真空空间大为缩小，对长时 间大规模生产，提高了经济性。与现有技术比较，本实用新型有以下诸优点(1)由于镀膜空间小，易于控制电弧蒸发距离和原料气量，板材上镀制的膜层致 密，厚度均勻，结合力强，且改善劳动条件，对环境影响小，节约能源，属于低碳技术。(2)设备结构简单，加上两个大型钟罩，以同一中心轴线安装，小钟罩下焊有支撑 杆，加工方便。(3)适合于工业化镀覆大面积板材生产，板材装料和下料均在镀膜室外小车上完 成，易于生产操作。
发明内容本实用新型是一台真空室是中空横卧式的离子镀膜机，两个大型钟罩以同一水平 轴线安装，中空是指若只一个大钟罩真空室空间，由于有了小钟罩室加入，挖掉了小钟罩空 间成中空了，任何一个包含中心线的剖面均为横卧式的U形，或者说镀膜室外形相当于一 个马蹄形磁铁以其中心轴线回转，则呈镀膜空间。横卧式中空真空室的开口端，由安装有板材的转架的移动门，门载于由小车，在 轨道上对准真空室移动，将板材装入室内并关闭真空室，真空室外钟罩的左上部和右上 部沿圆柱母线分别安装13 沈台电弧等离子体蒸发离化源，安装在转架上每炉可装卡 1. 22mx3. 05m板四张，或1. 22mx2. 44m板六张，或1. 22mx4m板两张和1. 22mx3. 05m板两张。[0012]真空室侧部有抽气口，接通到真空排气系统。
图1为中空横卧式真空室的离子镀膜机结构示意图图中1-真空镀膜室外钟罩2-工件转架3-滚动绝缘支撑4-真空镀膜室内钟罩5-电弧等离子体蒸发源6-真空室门7-带滚轮小车8-小车运行轨道9-转架驱动电机10-真空抽气系统11-镀膜用原料气供气管12-包覆于转架的板材具体实施方式
本实用新型的双钟罩形中空横卧式真空室离子镀膜机，由图1表示其结构，真空 镀膜室1呈中空横卧形，实际是两个不同直径的钟罩以同一轴上相套，其间的空间为真空 室，该真空室为一横卧U字形，以上述同一轴线回转成回转体。工件转架2固定于真空镀膜室门6上，真空室内钟罩4牢固固定于真空室门6，门 6安装在带滚轮小车7上，在轨道8上运行被推入真空室的外钟罩1。镀覆过程进行时，先由真空排气系统10排气，待达到所需镀膜真空度后，由供气 管11输入原料气，再开启26台电弧蒸发离化源5对包覆在转架2上的板材12进行离子喷 射镀覆。工件转架2由驱动电机9转动。待镀覆达工艺所需时间，则完成镀覆，按反方向程 序出炉，关机。本实用新型已作为本公司产品推入市场。
权利要求1.一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机，其特征是真空镀膜室是中空横卧式，真 空室相当于两个直径不同的钟罩，对同一水平中心线对称套在一起，其真空室剖面犹如一 横卧的U字形，需镀的板材在转架上微弯围成筒形，真空镀膜室门中心牢固固定小钟罩，由 真空镀膜室门在小车上推入真空室，镀膜室左右上方安装了 13 沈台多弧蒸发离化源，对 板材镀覆，整个真空室的真空度由抽气系统保证。
2.如权利要求1所述的离子镀膜机，其特征在于转架每炉可装卡1.22mx3. 05m板四张， 或1. 22x2. 44m板六张，或1. 22mx4m板两张和1. 22mx3. 05m板两张。
3.如权利要求1所述的离子镀膜机，其特征在于真空室内壁套在小钟罩上套有一可滑 动滚珠轴环，以作为悬臂梁转架的悬端支撑，这个可滑动可转动支撑随时可与转架改变成 头尾双支点梁负重转架。
4.如权利要求1所述的离子镀膜机，其特征在于镀膜室外钟罩套内直径达2.6m-3. 8m 内钟罩外直径相应为1. 8m-2.細。
5.如权利要求1所述的离子镀膜机，其特征在于真空镀膜室结构相同，但将整个室转 90°，成为立式，上开门盖，将小钟罩及转架均由吊车吊出大钟罩或放入大钟罩真空室。
专利摘要一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机，两个大型钟罩以同一水平轴线套在一起，真空室外形如一个U形磁铁以其中心轴线回转而成的回转体，真空室的开口端，安装有板材的转架移动门，门载于小车并在轨道上移动，出入真空室，大钟罩左右上部沿圆柱母线分别安装13-26台电弧蒸发离化源，室侧部有真空抽气系统排气。
文档编号C23C14/32GK201850307SQ20102056564
公开日2011年6月1日 申请日期2010年10月19日 优先权日2010年10月19日
发明者王殿儒, 胡建德, 胡江 申请人:王殿儒, 胡建德, 胡江