专利名称：镀膜承载架的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镀膜承载架。
背景技术：
现有的真空镀膜设备中，一次仅能对待镀件的一面进行镀膜，若需对待镀件进行双面镀膜，则必须将真空腔打开，利用人工对承载着待镀件的承载部进行翻面。这样会存在以下缺点第一，需进行两次抽真空的动作，比较耗费时间；第二，蒸镀时真空腔内的温度极高，因此人工翻面时，必须等到真空腔冷却后才可打开真空腔，将承载部取出，翻面后再将其放入真空腔内，延长了镀膜的加工时间；第三，要将真空腔打开两次，无法保持真空腔内的环境参数完全一致，导致待镀件两面的膜层特征不一致；第四，打开真空腔时，会造成待镀件的清洁度下降，进而影响待镀件良率。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种可使待镀件自动翻面进行双面镀膜的镀膜承载架。一种镀膜承载架，其包括基座、载盘及翻转组件。所述基座包括外框及转动设置在所述外框上的圆盘状的内框。所述外框上开设第一通孔。所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置。所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上。所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔。所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴。所述两个翻转马达固定在所述内框上，用于驱动对应的转轴转动。所述两个转轴相对设置，且位于同一直线上。每个转轴的相对两端分别固定在对应的翻转马达及所述载盘上。本发明的镀膜承载架，在所述待镀件的其中一面镀膜完成之后，利用所述翻转组件对所述载盘进行翻转，然后就可以对所述待镀件的另一面进行镀膜，因此无需打开真空腔就可使待镀件自动翻面，进行双面镀膜，减少了加热和抽真空的次数，大大缩短了待镀件的镀膜时间。
图I是本发明较佳实施方式的镀膜承载架的结构示意图。图2是图I的镀膜承载架的分解示意图。图3是图I的镀膜承载架沿III-III方向的剖视图。图4是图I的镀膜承载架沿IV-IV方向的剖视图。主要元件符号说明
镀膜承载架1100
基座_10
外框TF
第一通孑L no
历侧壁'_ [TTT
权利要求
1.ー种镀膜承载架，其包括ー个基座、一个载盘及ー个翻转组件，所述基座包括ー个外框及ー个转动设置在所述外框上的圆盘状的内框；所述外框上开设ー个第一通孔，所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置；所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上；所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔；所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴；所述两个翻转马达固定在所述内框上，用于驱动对应的转轴进行转动；所述两个转轴相对设置，且位于同一直线上；每转轴的相对两端分别固定在对应的翻转马达及所述载盘上。
2.如权利要求I所述的镀膜承载架，其特征在于，所述内框的半径等于所述第一通孔的半径，以使得所述内框能够与所述外框相接触。
3.如权利要求2所述的镀膜承载架，其特征在于，所述内框与所述外框相接触的表面涂敷润滑油。
4.如权利要求I所述的镀膜承载架，其特征在于，所述内框上以其自身的圆心为轴开设ー第二通孔，所述载盘的半径比所述第二通孔的内径小，以使得所述载盘与所述内框之间形成一间隙，所述翻转组件容置在所述间隙内。
5.如权利要求I所述的镀膜承载架，其特征在于，所述外框的内侧壁上沿其自身的圆周方向开设ー个容置槽，所述内框的外侧壁上沿其自身的圆周方向开设ー个卡槽，所述卡槽包括相对设置的顶板及底板，所述基座还包括ー个转动组件，所述转动组件包括ー个旋转马达、ー个主动轴、多个从动轴、多个转盘及ー个传动带，所述旋转马达设置在所述外框上，所述主动轴及所述多个从动轴转动设置在所述容置槽内，且位于靠近所述第一通孔的同一圆周上，所述主动轴与所述转动马达相耦合，以使得所述转动马达能够带动所述主动轴进行转动，所述多个转盘分别套设在对应的主动轴或从动轴上，且伸出所述容置槽，井伸入所述第一通孔内，所述顶板压设在所述多个转盘上，所述底板与所述外框相接触。
6.如权利要求5所述的镀膜承载架，其特征在于，所述内框与所述转盘相接触的表面设置防滑图案。
7.如权利要求5所述的镀膜承载架，其特征在于，所述传动带与所述转盘相接触的表面设置防滑图案。
8.如权利要求5所述的镀膜承载架，其特征在于，所述镀膜承载架还包括ー控制器，所述控制器与所述转动马达及所述翻转马达电连接，用于控制所述转动马达及所述翻转马达 相互配合进行有序地动作。
全文摘要
一种镀膜承载架，其包括基座、载盘及翻转组件。所述基座包括外框及转动设置在所述外框上的圆盘状的内框。所述外框上开设第一通孔。所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置。所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上。所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔。所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴。所述两个翻转马达固定在所述内框上，用于驱动对应的转轴转动。所述两个转轴相对设置，且位于同一直线上。每个转轴的相对两端分别固定在对应的翻转马达及所述载盘上。本发明的镀膜承载架，利用所述翻转组件能自动对待镀件进行翻面，无需打开真空腔就可对待镀件进行双面镀膜。
文档编号C23C14/50GK102796990SQ20111013868
公开日2012年11月28日 申请日期2011年5月26日 优先权日2011年5月26日
发明者裴绍凯 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司