专利名称：快速达到高真空的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空系统，具体是一种快速达到高真空的系统。
技术背景真空溅镀技术是物理气相沉积制备镀膜方法中的一种，至今已经发展成为可在任何材质基片上覆盖任何材质的镀膜方法，广泛应用于各种表面镀膜生产中。在连续化真空溅镀自动生产线中，实现高真空(压力为10_3 I(TTorr)是真空溅镀的必要条件。按功能分，真空腔体可分为三段，中间为高真空制程段，前后两段段为大气与高真空过渡段。在前面一段大气与高真空过渡段中，又分为一般真空过渡腔体和高真空过渡腔体两个腔体。在一般真空腔体中，压力由大气压力向一般真空过渡；在高真空腔体中，压力由一般真空向高真空过渡。就在由一般真空向高真空过渡这个腔体，其达到高真空后耗时最长，如何突破此环节，成为一个难点。目前，高真空大多采用高真空泵加前二级机械泵来实现，要加快达到高真空，通常做法是加大真空设备的功率，并尽量减小真空腔体的容积，功耗大，不经济。尽管如此，由于高真空环境中仍然存在一定的残余气体，其中大部分是水汽，高真空泵对这些气体的抽除能力低，这样，达到高真空度的时间长，生产效率低，耗能高。同时，这些残余气体参与真空溅镀，使镀膜掺杂非需要的化合物，对镀膜质量产生不良影响，镀膜质量低
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种快速达到高真空的装置，它可使高真空过渡腔体快速达到高真空，达到高真空的时间较一般真空系统可缩短50 90%，降低了能耗，提高了生产效率和镀膜质量。为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型是采用以下技术方案它包含高真空过渡腔体1、腔体排空阀门2、高真空阀门3、冷冻腔体4、冷冻控制器5、制冷盘管6、高真空泵7、粗抽阀门8、粗抽管线9、前级管线阀门10、前级管线排空阀门11、前二级机械泵12 ； 高真空过渡腔体1通过高真空阀门3与冷冻腔体4的一端连接，冷冻腔体4的另一端与高真空泵7的一端连接，腔体排空阀门2设置在高真空过渡腔体1的近前处，冷冻腔体4的内部设置有制冷盘管6，制冷盘管6与冷冻控制器5连接，高真空泵7的另一端通过前级管线阀门10连接至粗抽阀门8与前二级机械泵12之间，粗抽管线9的一端与前二级机械泵12， 另一端通过粗抽阀门8与高真空阀门3前端的真空管线连接，前级管线排空阀门11设置在前二级机械泵12的近前处。本实用新型具有以下有益效果可使高真空过渡腔体快速达到高真空，达到高真空的时间较一般真空系统可缩短50 90%，降低了能耗，提高了生产效率和镀膜质量。
图1是本实用新型粗抽时的结构示意图；[0009]图2是本实用新型高真空时的结构示意图。
具体实施方式
参看图1-2，本具体实施方式
采用以下技术方案它包含高真空过渡腔体1、腔体排空阀门2、高真空阀门3、冷冻腔体4、冷冻控制器5、制冷盘管6、高真空泵7、粗抽阀门8、 粗抽管线9、前级管线阀门10、前级管线排空阀门11、前二级机械泵12 ；高真空过渡腔体1 通过高真空阀门3与冷冻腔体4的一端连接，冷冻腔体4的另一端与高真空泵7的一端连接，腔体排空阀门2设置在高真空过渡腔体1的近前处，冷冻腔体4的内部设置有制冷盘管 6，制冷盘管6与冷冻控制器5连接，高真空泵7的另一端通过前级管线阀门10连接至粗抽阀门8与前二级机械泵12之间，粗抽管线9的一端与前二级机械泵12，另一端通过粗抽阀门8与高真空阀门3前端的真空管线连接，前级管线排空阀门11设置在前二级机械泵12 的近前处。工作流程粗抽时，关闭腔体阀门，打开粗抽阀门，启动前二级机械泵，(如图1)前二级机械泵可通过粗抽管线单独对高真空过渡腔体进行抽真空，此时高真空阀门和高真空泵处于关闭状态，高真空过渡腔体内含水汽的气体在粗抽时不经过高真空泵和冷冻腔体， 从而可以减少冷冻腔体的回温频次。当粗抽达到高真空泵进口压力时，打开前级管线阀门和高真空阀门，关闭粗抽阀门，启动已预热好的高真空泵并开启高真空阀门，同时启动已预冷好的冷冻系统的冷冻控制器，由冷冻系统快速捕集水汽，前二级机械泵保持工作状态，整个系统进入高真空抽气状态，(如图2所示)高真空过渡腔体将快速达到高真空，较通常真空系统时间可缩短50 % 90 %。本具体实施方式
采用用液氮或混合制冷剂作为冷媒，使制冷盘管表面温度低于_120°C，最低可达_150°C，此时，超低温制冷盘管表面对水汽有很强的捕集能力，可使高真空过渡腔体快速达到高真空，达到高真空的时间较一般真空系统可缩短50 90%，降低了能耗，提高了生产效率和镀膜质量。
权利要求1.快速达到高真空的装置，其特征在于它包含高真空过渡腔体(1)、腔体排空阀门 ⑵、高真空阀门(3)、冷冻腔体⑷、冷冻控制器(5)、制冷盘管(6)、高真空泵(7)、粗抽阀门 (8)、粗抽管线(9)、前级管线阀门(10)、前级管线排空阀门(11)、前二级机械泵(12)；高真空过渡腔体(1)通过高真空阀门( 与冷冻腔体的一端连接，冷冻腔体的另一端与高真空泵(7)的一端连接，腔体排空阀门( 设置在高真空过渡腔体(1)的近前处，冷冻腔体的内部设置有制冷盘管(6)，制冷盘管(6)与冷冻控制器( 连接，高真空泵(7) 的另一端通过前级管线阀门(10)连接至粗抽阀门(8)与前二级机械泵(1 之间，粗抽管线(9)的一端与前二级机械泵(12)，另一端通过粗抽阀门(8)与高真空阀门(3)前端的真空管线连接，前级管线排空阀门(11)设置在前二级机械泵(12)的近前处。
专利摘要快速达到高真空的装置，它涉及一种真空系统。高真空过渡腔体通过高真空阀门与冷冻腔体的一端连接，冷冻腔体的另一端与高真空泵的一端连接，冷冻腔体的内部设置有制冷盘管，制冷盘管与冷冻控制器连接，高真空泵的另一端通过前级管线阀门连接至粗抽阀门与前二级机械泵之间，粗抽管线的一端与前二级机械泵，另一端通过粗抽阀门与高真空阀门前端的真空管线连接；本实用新型可使高真空过渡腔体快速达到高真空，达到高真空的时间较一般真空系统可缩短50～90％，降低了能耗，提高了生产效率和镀膜质量。
文档编号C23C14/34GK202039121SQ20112009205
公开日2011年11月16日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者刘辛 申请人:苏州凡特真空溅镀科技有限公司