专利名称：含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电阻蒸发镀膜机。
背景技术：
在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量)，并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均勻性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0. 1 0. 2 电子伏。蒸发源有三种类型。①电阻加热源用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状，通以电流，加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质，电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、 Cr、Au、M等材料。②高频感应加热源用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源适用于蒸发温度较高的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜，为沉积高纯单晶膜层。目前电阻蒸发镀膜机制成的产品，无法较好地解决如下问题无法清除工件表面存在杂质，影响产品的亮度；镀层不够牢固，容易脱离工件表面，产品质量较低。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，可以有效地解决现有镀膜机制成的产品表面存在杂质以及镀层容易脱离的问题。为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体，机体内设有工件架底座，工件架底座上设有蒸发电极杆支架，蒸发电极杆支架之间连接有蒸发电极杆，其特征在于机体内设有至少一根离子轰击杆。优选的，离子轰击杆与蒸发电极杆之间平行。进一步，机体连接有管道，管道与机体相接的开口处设有过滤件，过滤件在朝向机体的一侧设有格栅，格栅通过固定连接在管道上而将过滤件固定在开口处。进一步，管道内设有一体的螺栓，螺栓穿过格栅与螺母连接，将格栅固定连接在管道中。进一步，螺母与格栅之间设有垫圈。进一步，蒸发电极杆支架上固定连接有下挡板，下挡板开口朝向机体的顶部。本实用新型由于采用了上述技术方案，具有以下有益效果离子轰击杆可以有效去除工件表面的杂质，起到清洁作用，保证产品的亮度；且轰击后可以增加镀层的附着力， 使镀层更加牢固；同时过滤器后可以有效过滤油气，避免对工件造成污染，从而使产品更加完美，透亮，且过滤器方便拆装、清洗及更换。本实用新型结构简单，制造简便，成本低，实用性强。
以下结合附图对本实用新型作进一步说明
图1为电阻蒸发镀膜机(未画出下挡板)的结构示意图；图2为
图1中K向结构示意图；图3为过滤结构的的示意图；图4为过滤结构各部件的分解示意图。
具体实施方式
如
图1至图4所示，为本实用新型含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体10，机体10内设有工件架底座1，工件架底座1上设有蒸发电极杆支架2，蒸发电极杆支架2之间连接有蒸发电极杆3，机体10内设有至少一根离子轰击杆5，离子轰击杆5与蒸发电极杆3之间平行。机体10连接有管道11，管道11与机体10相接的开口处15设有过滤件12，过滤件12在朝向机体10的一侧设有格栅13，格栅13通过固定连接在管道11上而将过滤件12固定在开口处15。管道11内设有一体的螺栓，螺栓穿过格栅13与螺母14 连接，将格栅13固定连接在管道11中，螺母14与格栅13之间设有垫圈16。蒸发电极杆3 支架2上固定连接有下挡板4，下挡板4开口朝向机体10的顶部。以上仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此，任何以本实用新型为基础，为实现基本相同的技术效果，所作出地简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本实用新型的保护范围之中。
权利要求1.含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体(10)，机体内设有工件架底座(I)，所述工件架底座(1)上设有蒸发电极杆支架O)，所述蒸发电极杆支架( 之间连接有蒸发电极杆(3)，其特征在于所述机体内设有至少一根离子轰击杆(5)。
2.根据权利要求1所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于所述离子轰击杆(5)与蒸发电极杆(3)之间平行。
3.根据权利要求1所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于所述机体(10)连接有管道(11)，所述管道(11)与机体(10)相接的开口处(15)设有过滤件(12)，所述过滤件(1 在朝向机体(10)的一侧设有格栅(13)，所述格栅(1 通过固定连接在管道(II)上而将所述过滤件(12)固定在开口处(15)。
4.根据权利要求3所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于所述管道(11)内设有一体的螺栓，螺栓穿过所述格栅(1 后与螺母(14)连接，将格栅(1 固定连接在管道(11)中。
5.根据权利要求4所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于所述螺母 (14)与格栅(13)之间设有垫圈(16)。
6.根据权利要求1所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于所述蒸发电极杆支架( 上固定连接有下挡板G)，所述下挡板(4)开口朝向机体(10)的顶部。
专利摘要本实用新型公开了含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体，机体内设有工件架底座，工件架底座上设有蒸发电极杆支架，蒸发电极杆支架之间连接有蒸发电极杆，机体内设有至少一根离子轰击杆，离子轰击杆与蒸发电极杆之间平行，机体连接有管道，管道与机体相接的开口处设有过滤件，过滤件在朝向机体的一侧设有格栅，格栅通过固定连接在管道上而将过滤件固定在开口处。本实用新型可以有效去除工件表面的杂质，起到清洁作用，保证产品的亮度；且轰击后可以增加镀层的附着力，使镀层更加牢固；同时过滤器后可以有效过滤油气，避免对工件造成污染，从而使产品更加完美，透亮，且过滤器方便拆装、清洗及更换。
文档编号C23C14/26GK202090048SQ20112020060
公开日2011年12月28日 申请日期2011年6月14日 优先权日2011年6月14日
发明者张婷, 胡永强 申请人:胡永强