类金刚石膜层的表面处理方法及制品与流程

技术总结
一种类金刚石膜层的表面处理方法，其包括如下步骤：提供基体；采用离子束辅助磁控溅射沉积技术，在基体表面形成类金刚石膜层；对该类金刚石膜层进行离子源渗透处理，在类金刚石膜层内掺杂硅元素和氟元素，该离子源渗透处理的温度为400~600℃。本发明还提供一种经上述类金刚石膜层的表面处理方法制得的制品。

技术研发人员：曹达华
受保护的技术使用者：深圳富泰宏精密工业有限公司
文档号码：201210117519
技术研发日：2012.04.20
技术公布日：2017.09.29