技术总结
本发明涉及一种制备薄膜的方法，所述的方法包括如下步骤：提供一基材支撑组件，所述的基材支撑组件包括至少两个基材支撑固定装置，每一基材支撑固定装置包括一基座及从基座上延伸出至少一伸出部，所述伸出部的末端为端部，所述端部用于支撑基材；将一基材放置在所述至少两个基材支撑固定装置之间，所述的基材用于沉积薄膜；将所述至少两个基材支撑固定装置沿设有伸出部的面相嵌合，从而使基材绕所述端部弯曲；将所述的基材支撑组件放入一反应器的反应腔室中；在所述的基材表面生成薄膜；及从所述的基材支撑组件上拆卸下基材。本发明工艺简单、效率高，制备的薄膜面积大。本发明还包括一种制备薄膜的设备。
技术研发人员：林朝晖;李雪松
受保护的技术使用者：福建省辉锐材料科技有限公司
文档号码：201310300761
技术研发日：2013.07.17
技术公布日：2018.02.02