一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，包括加热管组件、波纹管组件、波纹管支承座组件和升降机构，加热管组件包括加热管，其上端为带绝缘的导线引出端，稍靠下方焊有加热管法兰，加热管法兰向下连接波纹管组件，波纹管组件向下连接波纹管支承座组件，波纹管支承座组件再向下通过开在炉体顶板上的加热管出入口连通炉内，加热管穿过波纹管组件和波纹管支承座组件的中空内腔，伸进炉体顶板上的加热管出入口进入炉内，加热管通过加热管法兰连接升降机构。由于镀膜时加热管不在镀膜室内，其上不会附着残留镀层，解决了加热管所致二次污染问题；本实用新型结构简单紧凑，省去清理加热管工作，提高了镀层质量和工作效率，降低了生产成本。
【专利说明】—种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及立式真空离子镀膜机，尤其涉及一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置。
【背景技术】
[0002]真空离子镀膜机主要用途之一是镀制装饰膜，离子镀装饰膜多是采用过渡族金属靶材，如T1、Zr，和Cr等，通过阴极电弧或磁控溅射产生金属等离子体，与氮、乙炔和氧等反应合成氮化物、碳化物、氮碳化物和氧化物等，以获得仿金色、玫瑰金色、黑色、咖啡色、棕色、银白色、蓝色等装饰膜，既耐磨损又耐腐蚀，当前广泛应用在手表件、手机壳、饰品、高尔夫球具、卫洁具、五金件、金属家具、酒店用器具、不锈钢饰板等；在其上镀制各种各样颜色装饰膜，起到多姿多彩的效果。
[0003]目前，随着人们生活水平的不断提高，对离子镀高端装饰膜要求也越来越高，对于闻挡手表、饰品和手机壳等，装饰I旲品质除了颜色要求多样和鲜艳外，还要求有闻的光売度。但是，得到特别高光亮度的膜层存在较大难度，这是因为在镀膜工艺流程中，很多影响因素会导致镀层表面发朦，从而降低其光亮度。
[0004]经生产实践已经证实:镀件的表面光泽度、镀件清洗的洁净度、镀膜采用的技术(如电弧离子镀沉积技术不可避免地使膜层上存在大量机理性缺陷镀料金属颗粒)、靶材质量不良(如杂质，不致密等引起的镀料颗粒飞溅)、镀膜室漏气或掺水、清洗后的镀件在装挂与运输过程再受污染(如落尘、唾沫)、镀件入炉后的二次污染(如炉内的飘尘、炉壁、炉内部件与挂具上残留膜层的爆裂飞溅等)，都是导致镀层表面发朦的影响因素。采取相应的措施后，上述影响因素可以得到某些改善，例如提高抛光质量以提高镀件表面光泽度，加强清洗措施提高镀件洁净度，尽量減少电弧沉积时间而主要采取磁控溅射沉积镀膜以減少电弧沉积的大颗粒，改善车间清洁环境減少环境落尘，沏底清理炉壁和炉内部件及挂具上的残留镀层，从而減少炉内污染。
[0005]但是，镀膜室内加热管上沉积的残留镀层是最难处理的，因为加热管在镀膜前和镀膜过程某一时间段需通电加热，加热管的管壁处于较高温状态，即使在镀膜间隔开炉门清理炉膛时，加热管的余温仍较高，以致很难下手清理其上残留镀层，另外，有的加热管装在离炉门较远处难以清洁，而且加热管的数量较多，也不方便常常拆卸下来至炉外清理；往往残留镀层越积越厚，这些附在加热管上的残留镀层附着不牢，镀层也较疏松，在镀膜过程中因热胀冷缩作用很容易爆裂破碎，它们飞溅到镀室空间成集群状碎片颗粒附在工件表层上，导致镀层发朦，造成炉内二次污染。在各种致朦原因中加热管残留膜层爆裂碎片成为最难解决的问题。因此，用离子镀镀制高端装饰膜的镀膜机，解决其加热管上残留镀层导致炉内二次污染的问题成为提高镀层产品光亮度的关键。目前，出现了在每支加热管上均采用转动半圆弧罩挡板的技术，虽然可挡住非加热时间在发热管上沉积镀层，然而，镀层仍会沉积在半圆弧罩的外表面上，在镀膜过程中，依然无法避免其上残留镀层碎片飞溅，所以仍旧不能彻底解决加热管系统的二次污染问题，而且安装了半圆弧罩挡板后，加热管周围可用空间十分有限，而半圆弧罩挡板会因受热产生变形以致出现卡死现象。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于提供一种结构简单紧凑、能够解决加热管所致二次污染问题、运行可靠、省时省力、效率高、可减少产品不良率、降低成本的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置。
[0007]本实用新型的目的通过以下的技术措施来实现:一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:包括加热管组件、波纹管组件、波纹管支承座组件和升降机构，所述加热管组件包括加热管，其上端为带绝缘的导线引出端，稍靠下方焊有加热管法兰，所述加热管法兰向下连接波纹管组件，所述波纹管组件向下连接波纹管支承座组件，波纹管支承座组件再向下通过开在炉体顶板上的加热管出入口连通炉内，所述加热管穿过波纹管组件和波纹管支承座组件的中空内腔，伸进炉体顶板上的加热管出入口进入炉内，所述加热管通过加热管法兰连接所述升降机构，所述升降机构驱动加热管法兰，带动加热管下降，使加热管进入镀膜室进行加热抽气作业，再驱动加热管上升使其离开镀膜室以便在真空状态下进行镀膜作业。
[0008]本实用新型当加热管位于镀膜室内，进行加热抽气作业，再通过升降机构提升加热管至镀膜室外，进行镀膜作业。在镀膜过程中，由于加热管不在镀膜室内，因此加热管上不会附着残留镀层，解决了加热管所致的二次污染问题；另外，本实用新型结构简单紧凑，省去了清理加热管的工作，省时省力，而且提高了镀层质量和工作效率，减少了产品不良率,降低了生产成本。
[0009]本实用新型所述加热管组件还包括加热管端头水冷罩和出入水咀，所述加热管法兰环焊在加热管上的凸肩下，在加热管法兰的上端面与加热管之间的空间上，套焊带有出入水咀的冷却水罩，通过水冷罩内的冷却水吸收加热管上传的热量，从而保证加热管引出端的电绝缘，同时保证加热管法兰的真空密封不受损。
[0010]作为本实用新型的一种实施方式，所述波纹管组件包括波纹管、波纹管上法兰和波纹管下法兰，所述波纹管与波纹管上法兰及波纹管下法兰焊接固连，所述波纹管的上、下法兰的中间通孔与波纹管的管口大小相适应，所述波纹管的上、下端口位于所述波纹管上、下法兰中间通孔的外围；所述加热管法兰与波纹管上法兰通过密封圈实现真空封密固连，且加热管法兰与波纹管上法兰共同与升降机构固连，所述波纹管下法兰与波纹管支承座法兰连接。
[0011]作为本实用新型的一种优选方式，所述波纹管的压缩比为8:1，所述波纹管耐温至少为600度。波纹管拉开(长)保证有足够的长度，使其所提升扩展的空间足以容纳加热管并维持真空，而且波纹管可以耐受加热管余热辐射。
[0012]作为本实用新型的一种实施方式，所述波纹管支承座组件由波纹管支座法兰、力口热管出入口套管、外水套和加热管铜防尘垫圈组成，加热管出入口套管下端伸入炉体顶板的开孔内，与炉体顶板焊接固定，加热管出入口套管上端口与波纹管座法兰焊连，外水套套在加热管出入口套管外周，其与波纹管座法兰和炉体顶板焊接固连，形成环形的水冷室，所述外水套上设有进、出水口，供冷却水进出；所述波纹管支承座法兰与所述波纹管下法兰固定连接，两者之间通过密封圈实现真空密封；所述水冷室内流过的冷却水吸收加热管的辐射热以防止所述真空密封损坏，所述加热管铜防尘垫圈活套在加热管外，且置于波纹管支承座法兰的上端面和波纹管下法兰下端面的环槽内以阻挡加热棒上的不洁物落入炉内。
[0013]本实用新型所述加热管组件、波纹管组件和波纹管支承座组件密封连接，从加热管法兰以下波纹管组件与波纹管支承座组件的中空内腔连通成真空空间，加热管通过该真空空间穿过加热管出入口进入炉内，由该波纹管伸缩造成的长短可变的内腔成为加热管升降运动的真空通道。
[0014]本实用新型为了实现单个加热管升降目的，可以为单个加热管配备一个升降机构，作为本实用新型的一种实施方式，所述升降机构包括升降臂和汽缸，所述汽缸的活塞杆向上伸出，所述升降臂横向设置，其一端与所述加热管法兰的边缘相连，另一端与所述活塞杆连接；所述汽缸的缸体支撑在镀膜室的顶面上。
[0015]作为本实用新型的一种改进，所述升降机构还包括导向机构，所述导向机构主要由导柱座、导柱、直线轴承、直线轴承座和汽缸固定板组成，所述汽缸固定板水平设置，所述汽缸固定板的一端连接在所述镀膜室的顶面上，另一端连接在汽缸的缸体上以实现支撑汽缸；所述直线轴承安装在直线轴承座中，且直线轴承座固定在所述汽缸固定板的上表面上，所述导柱座设置在升降臂的开孔内，所述导柱的上端固定在导柱座中并向下穿过直线轴承后伸出汽缸固定板。本实用新型的导向机构可以保证升降臂平稳升降、不振动、不移位、不偏转。
[0016]本实用新型为了实现多个加热管同时升降目的，可以仅配备一个升降机构，作为本实用新型的另一种方式，所述的升降机构包括升降板、汽缸和汽缸罩，所述汽缸安装在所述镀膜室的顶面上，所述汽缸的活塞杆向上伸出，所述汽缸罩罩在所述汽缸上，所述活塞杆与所述汽缸罩的顶面相连，所述升降板套于汽缸的下部，所述汽缸罩的下端口固定在所述升降板上，在所述升降板上开有数个用于加热管伸出的安装孔，每个加热管上的加热管法兰与所述安装孔的孔口下周缘连接。
[0017]作为本实用新型的一种改进，所述升降机构还包括导向机构，所述导向机构主要由导柱顶板、导柱、直线轴承、直线轴承座和导柱底座组成，所述导柱的下端通过导柱底座固定在镀膜室的顶面上，所述直线轴承安装在直线轴承座内，且直线轴承座固定在所述升降板上，所述导柱向上穿过直线轴承与导柱顶板连接。在加热管升降过程中，导柱在直线轴承内滑动，可以保证升降板平稳升降、不振动、不移位、不偏转。
[0018]与现有技术相比，本实用新型具有如下显著的效果:
[0019]⑴本实用新型当加热管位于镀膜室内，进行加热抽气作业，再通过升降机构提升加热管至镀膜室外，进行镀膜作业。在镀膜过程中，由于加热管不在镀膜室内，因此加热管上不会附着残留镀层，解决了加热管所致的二次污染问题。
[0020]⑵本实用新型的波纹管拉开保证具有足够长度，使其所提升扩展的空间维持真空，而且波纹管可以耐受发热管余热辐射。特殊波纹管具有耐热性高、伸缩比大、疲劳性好的性点，使得本实用新型结构新颖、简洁、可靠，设备更紧凑，制造工艺更简化。
[0021]⑶由于解决了加热管所致的二次污染问题，提高了镀层质量，减少了产品不良率。
[0022]⑷本实用新型的导向机构保证了加热管的平稳升降，使本装置运行可靠。
[0023](5)水冷罩能够吸收加热管上传的热量，而且保证加热管引出端的电绝缘，同时确保加热管处于真空密封环境中；水冷套可以吸收加热管的辐射热，保证密封圈冷却不被损坏。
[0024](6)本实用新型的防尘垫圈可以阻挡加热管上的不洁物下落进入镀膜室，进一步提高了镀膜质量。
[0025](7)本实用新型的结构简单紧凑，省去了清理加热管上残留镀层的工作，省时省力，提高了工作效率，降低了生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0026]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
[0027]图1是本实用新型实施例1的剖视结构图(加热管下降至最低位置);
[0028]图2是本实用新型实施例2的剖视结构图(加热管下降至最低位置)；
[0029]图3是图2中A局部放大示意图。
【具体实施方式】
[0030]实施例1
[0031]如图1所示，是本实用新型一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，包括加热管组件、波纹管组件、波纹管支承座组件和升降机构。加热管组件由特制加热管10、力口热管法兰12、加热管端头水冷罩9、出入水咀11组成。特制加热管10上端为导线引出端，引出端设有绝缘接头，加热管10内的发热丝的位置离引出端头较远，当加热管10下降至最低位置时，发热丝位于炉体顶板21稍下方处，炉体顶板21位于镀膜室24的炉体围板22的上端。加热管法兰12贴着加热管10上端的凸肩下环面环焊连接固定，在加热管法兰12的上端面与加热管10之间的空间上，套焊带有出入水咀11的冷却水罩9，构成用于冷却水流动的环形水冷室26，进、出水口 11与水冷室26相通，水冷罩内冷水与加热管上传的热量进行热交换，吸收加热管上传的热量，保证加热管引出端的电绝缘，同时保证加热管法兰上的真空密封13不损坏。
[0032]波纹管组件由波纹管15、波纹管上法兰14、波纹管下法兰16组成。波纹管上法兰14和波纹管下法兰16的中间通孔与波纹管15的管口大小相适应，波纹管的端口位于波纹管法兰中间通孔的外围，三者焊接固连。
[0033]波纹管支承座组件由波纹管支座法兰18、加热管出入口套管19、外水套20和加热管铜防尘垫圈23组成。加热管出入口套管19下端伸入21炉体顶板的开孔内，与炉体顶板21焊接固定。加热管出入口套管19上端口与波纹管座法兰18焊连，筒形外水套20套在出入口套管19外周，外水套20的上端与波纹管座法兰18焊接固连，其下端与炉体顶板21焊接固连，三者与加热管出入口套管19外壁围成环形水冷室25。外水套20有出入冷却水咀(未画出)，该进、出水口与水冷室25相通以吸收加热管的辐射热，同时保护波纹管支承座法兰上的真空密封13不损坏。
[0034]加热管法兰12与波纹管上法兰14通过密封圈13真空封密固连，且加热管法兰12与波纹管上法兰14 一起由螺钉与升降机构的升降臂8固连。波纹管下法兰16与波纹管支承座法兰18连接，并通过密封圈17实现真空密封。加热管铜防尘垫圈23采用铜材料制成，防尘垫圈23活套在加热管10外，置于波纹管支承座法兰18的上端面和波纹管下法兰16的环槽内。防尘垫圈可以阻挡加热管上的不洁物下落进入镀膜室24，能够进一步提高镀膜质量。
[0035]加热管组件、波纹管组件和波纹管支承座密封连接，从加热管法兰18以下波纹管组件与波纹管支承座内腔连通成真空空间，加热管10通过它穿过炉体顶板21进入炉内，成为加热管升降运动的真空通道。
[0036]加热管10通过加热管法兰18连接升降机构，升降机构驱动加热管法兰带动加热管下降使加热管进入镀膜室进行加热抽气作业，再驱动加热管上升使其离开镀膜室以便在真空状态下进行镀膜作业。波纹管15的压缩比为8:1，波纹管15耐温至少为600度。波纹管拉开保证有足够的长度，使其所提升扩展的空间足以容纳加热管並维持真空，而且波纹管可以耐受发热管余热辐射。
[0037]本实施例应用于单个加热管升降，为单个加热管配备一个升降机构，升降机构包括升降臂8和汽缸1，汽缸I的缸体进出气口连接外置压缩气源(图中未画出)，由压缩空气推动缸体内活塞(图中未画出)做上下运动，从而推动活塞杆3上下运动。汽缸I的活塞杆3向上伸出，升降臂8横向设置，其一端与加热管法兰12的边缘及波纹管上法兰通过螺钉固连，另一端与活塞杆3的上端由双螺母紧固连接；汽缸I的缸体支撑在镀膜室的顶面上。升降机构还包括导向机构，在本实施例中，导向机构主要由导柱座7、导柱6、直线轴承5、直线轴承座4和汽缸固定板2组成，汽缸固定板2水平设置，汽缸固定板2的一端通过螺钉连接在镀膜室的炉体顶板上，另一端连接在汽缸I的缸体上以实现支撑汽缸，具体是在汽缸固定板上开设通孔，汽缸的缸体固定在通孔周缘上，活塞杆则从通孔中伸出；直线轴承5安装在直线轴承座4中，且直线轴承座固定在汽缸固定板2的上表面上，导柱座7设置在升降臂8的开孔内，导柱6的上端固定在导柱座7上并向下穿过直线轴承5后伸出汽缸固定板2，其中直线轴承5与导柱6为滑动配合。导柱座7由连接板与设于连接板下表面上的筒体组成，导柱6的上端插入固定在筒体中，连接板位于升降臂8开孔的上方，通过螺钉固定在开孔的孔沿上。
[0038]本实用新型的工作过程如下:单支加热管处于下降至最低位置状态，此时炉内(镀膜室内)进行镀膜作业程序，先抽真空，达到规定真空度后，加热管通电加热，炉内受热炉温上升，这有利于排除炉内吸附的杂气和水汽，当炉温上升至预定温度，并保温至规定时间，完成加热抽气阶段作业后，则发热管断电停止加热，炉内一边抽气，炉温渐下降，加热管余温也下降，延至规定时间后，则提升加热管至炉外，炉内开始镀膜作业。提升加热管的过程是:启动提升开关，由外设压力气源从汽缸的提升气咀进入汽缸内，推动汽缸体内活塞上行，活塞杆徐徐上升，带动升降臂上升，升降臂上的导柱座拖动导柱上升，导柱受安装在汽缸固定板上的直线轴承与直线轴承座的定位和限制，同时升降臂也拖动固连在其上加热管和波纹管上升；即升降臂通过与其固连的加热管法兰提升加热管同时提起波纹管上法兰，于是原来被压缩的波纹管即拉开。这里选用特殊波纹管，其压缩比达8比1，材料耐温达600度以上，当加热管完全提升到炉体顶板外。波纹管拉开(长)保证有足够的高度，可维持所上升的空间处于真空状态，而且波纹管可耐受发热管余热辐射。特殊波纹管具有耐热性高、伸缩比大、疲劳性好的性点，使得本实用新型结构新颖、简洁、可靠，设备更紧凑，制造工艺更简化。
[0039]实施例2
[0040]如图2、3所示，本实施例与实施例1的不同之处在于:本实施例应用于多个加热管同时升降，仅配备一个升降机构，升降机构包括升降板2-6、汽缸2-2和汽缸罩,汽缸罩由支撑筒2-5与位于支撑筒2-5的上端口的支撑筒法兰2-4组成。汽缸2-2通过汽缸固定底座2-1安装在镀膜室的炉体顶板2-12上，汽缸2-2的活塞杆2-3向上伸出。汽缸罩罩在汽缸2-2上，活塞杆2-3与汽缸罩的支撑筒法兰2-4顶面相连固定。升降板2-6套于汽缸2_2的下部，支撑筒2-5的下端口固定在升降板2-6上，在升降板2-6上开有数个用于加热管伸出的安装孔，每个加热管上的加热管法兰12与安装孔的孔口下周缘连接。
[0041]在本实施例中，导向机构主要由导柱顶板2-11、导柱2-7、直线轴承2-9、直线轴承座2-8和导柱底座2-10组成，导柱2-7的下端通过导柱底座2-10固定在镀膜室的炉体顶板上，直线轴承2-9安装在直线轴承座2-8内，且直线轴承座2-8固定在升降板2-6上，导柱2-7向上穿过直线轴承2-9与导柱顶板2-11连接。
[0042]本实用新型的工作过程如下:多支加热管下降至最低位置(图2中只画出一支加热管，其他加热管状态与之相同)，炉内进行镀膜作业程序与实施例1相同，先抽真空，随后各加热管通电加热，完成加热抽气阶段作业后，则各发热管断电停止加热，当加热管余温下降至规定时间后，则提升各加热管至炉体顶板外，炉内开始镀膜作业。提升各加热管的运行过程:启动提升开关，由外设压力气源从汽缸的提升气咀进入汽缸内，推动汽缸体内活塞上行，活塞杆徐徐上升，带动支撑筒法兰一支撑筒一升降板上升，随即固连在升降板上的各加热管法兰同时提升，并拖动各加热管也上升，且提起波纹管上法兰，于是原来被压缩的波纹管即拉开(长)，使所提升扩展的空间维持真空。升降板通过固连的直线轴承座再经直线轴承与导柱滑动连接，升降板上下运动受导柱一直线轴承一直线轴承座的定位和限制，保证升降板平稳升降，不振动、不移位、不偏转，也保证了升降板拖动固连在其上的加热管和波纹管升降平稳、不偏倚。
[0043]本实用新型的实施方式不限于此，根据本实用新型的上述内容，按照本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下，本实用新型还可以做出其它多种形式的修改、替换或变更，均落在本实用新型权利保护范围之内。
【权利要求】
1.一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:包括加热管组件、波纹管组件、波纹管支承座组件和升降机构，所述加热管组件包括加热管，其上端为带绝缘的导线引出端，稍靠下方焊有加热管法兰，所述加热管法兰向下连接波纹管组件，所述波纹管组件向下连接波纹管支承座组件，波纹管支承座组件再向下通过开在炉体顶板上的加热管出入口连通炉内，所述加热管穿过波纹管组件和波纹管支承座组件的中空内腔，伸进炉体顶板上的加热管出入口进入炉内，所述加热管通过加热管法兰连接所述升降机构，所述升降机构驱动加热管法兰，带动加热管下降，使加热管进入镀膜室进行加热抽气作业，再驱动加热管上升使其离开镀膜室以便在真空状态下进行镀膜作业。
2.根据权利要求1所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述加热管组件还包括加热管端头水冷罩和出入水咀，所述加热管法兰环焊在加热管上的凸肩下，在加热管法兰的上端面与加热管之间的空间上，套焊带有出入水咀的冷却水罩，通过水冷罩内的冷却水吸收加热管上传的热量，从而保证加热管引出端的电绝缘，同时保护加热管法兰的真空密封不受损。
3.根据权利要求2所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述波纹管组件包括波纹管、波纹管上法兰和波纹管下法兰，所述波纹管与波纹管上法兰及波纹管下法兰焊接固连，所述波纹管的上、下法兰的中间通孔与波纹管的管口大小相适应，所述波纹管的上、下端口位于所述波纹管上、下法兰中间通孔的外围；所述加热管法兰与波纹管上法兰通过密封圈实现真空封密固连，且加热管法兰与波纹管上法兰共同与升降机构固连，所述波纹管下法兰与波纹管支承座法兰连接。
4.根据权利要求3所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述波纹管的压缩比为8:1，所述波纹管耐温至少为600度。
5.根据权利要求4所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述波纹管支承座组件由波纹管支座法兰、加热管出入口套管、外水套和加热管铜防尘垫圈组成，加热管出入口套管下端伸入炉体顶板的开孔内，与炉体顶板焊接固定，加热管出入口套管上端口与波纹管座法兰焊连，外水套套在加热管出入口套管外周，其与波纹管座法兰和炉体顶板焊接固连，形成环形的水冷室，所述外水套上设有进、出水口，供冷却水进出；所述波纹管支承座法兰与所述波纹管下法兰固定连接，两者之间通过密封圈实现真空密封；所述水冷室内流过的冷却水吸收加热管的辐射热以防止所述真空密封损坏，所述加热管铜防尘垫圈活套在加热管外，且置于波纹管支承座法兰的上端面和波纹管下法兰下端面的环槽内以阻挡加热棒上的不洁物落入炉内。
6.根据权利要求1所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述加热管组件、波纹管组件和波纹管支承座组件密封连接，从加热管法兰以下波纹管组件与波纹管支承座组件的中空内腔连通成真空空间，加热管通过该真空空间穿过加热管出入口进入炉内，由该波纹管伸缩造成的长短可变的内腔成为加热管升降运动的真空通道。
7.根据权利要求1或 2或3或4或5或6所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述升降机构包括升降臂和汽缸，所述汽缸的活塞杆向上伸出，所述升降臂横向设置，其一端与所述加热管法兰的边缘相连，另一端与所述活塞杆连接；所述汽缸的缸体支撑在镀膜室的顶面上。
8.根据权利要求7所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述升降机构还包括导向机构，所述导向机构主要由导柱座、导柱、直线轴承、直线轴承座和汽缸固定板组成，所述汽缸固定板水平设置，所述汽缸固定板的一端连接在所述镀膜室的顶面上，另一端连接在汽缸的缸体上以实现支撑汽缸；所述直线轴承安装在直线轴承座中，且直线轴承座固定在所述汽缸固定板的上表面上，所述导柱座设置在升降臂的开孔内，所述导柱的上端固定在导柱座中并向下穿过直线轴承后伸出汽缸固定板。
9.根据权利要求1或2或3或4或5或6所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述的升降机构包括升降板、汽缸和汽缸罩，所述汽缸安装在所述镀膜室的顶面上，所述汽缸的活塞杆向上伸出，所述汽缸罩罩在所述汽缸上，所述活塞杆与所述汽缸罩的顶面相连，所述升降板套于汽缸的下部，所述汽缸罩的下端口固定在所述升降板上，在所述升降板上开有数个用于加热管伸出的安装孔，每个加热管上的加热管法兰与所述安装孔的孔口下周缘连接。
10.根据权利要求9所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于:所述升降机构还包括导向机构，所述导向机构主要由导柱顶板、导柱、直线轴承、直线轴承座和导柱底座组成，所述导柱的下端通过导柱底座固定在镀膜室的顶面上，所述直线轴承安装在直线轴承座内，且直线轴承座固定在所述升降板上，所述导柱向上穿过直线轴承与导柱顶板连接。
【文档编号】C23C14/22GK203613251SQ201320775061
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年11月29日 优先权日:2013年11月29日
【发明者】李志荣, 李志方, 罗志明, 袁镇海, 李秋霞 申请人:东莞市汇成真空科技有限公司