薄膜的方法
【专利摘要】一种在不锈钢基片上制备TiO2薄膜的方法，属于电子元件的制备方法领域。包括如下步骤：（1）将钛酸丁酯溶于一定比例的乙醇中，加入H2O(r（H2O∶Ti(OBu)4)＝0～2)，HAc(r(HAc∶Ti(OBu)4)＝0～20），AcAc(r（AcAc∶Ti(OBu)4)＝0～4），制备成浓度为0.1～2.0mol／L的溶胶；（2）将不锈钢基片进行碾磨，抛光及清洗后，用浸提法在基片上涂膜，自然晾干以后，在600℃～1000℃下以1～2℃／min的速度进行热处理，制得TiO2薄膜。通过对制备工艺的改进，在TiO2溶胶中添加少量的H2O和适量的HAc、AcAc可大大延长胶凝时间，烧制所得的薄膜具有半导率，具有较高的开发价值，适于在金属基体上制备绝缘膜、介质膜等，本发明所述方法操作简单，易于推广。
【专利说明】一种在不锈钢基片上制备了丨02薄膜的方法
【技术领域】
[0001]本发明属于电子元件的制备方法领域，尤其涉及一种不锈钢基片上制备1102薄膜的方法。
【背景技术】
[0002]随着电子设备的大量使用，对于各种新型薄膜材料的研究与使用力度在不断加大。作为一种功能材料，打02得到了广泛的应用。它具有金红石、锐钛矿、板钛矿三种晶型，在一定温度和压力下可发生晶型转变。同时可利用其气、压、光、湿敏等特性制备多种传感器件。以钛酸丁酯为前驱液，用801-861法制备1102膜的报道已有很多，但一般都是在31或八1203基体上进行，在不锈钢基片上制备1102薄膜还不多见。
【发明内容】
[0003]本发明旨在提供一种新型的利用不锈钢为基片的制备1102薄膜的方法。
[0004]一种在不锈钢基片上制备！'102薄膜的方法，其特征在于包括如下步骤:
(1)将钛酸丁酯溶于一定比例的乙醇中，加入(^0: XI (0811)4) = 0?2)，:丁1(0811)斗): 丁1(0811)斗)=0 ?4),制备成浓度为
0.1 ?2.0 11101 / I 的溶胶；
(2)将不锈钢基片进行碾磨，抛光及清洗后，用浸提法在基片上涂膜，自然晾干以后，在6001?1 0001下以1?21 / 111111的速度进行热处理，制得1102薄膜。
[0005]本发明所述的一种在不锈钢基片上制备1102薄膜的方法，其特征在于所述步骤
(2)中使用浸提法使得提拉速率为1?4挪/!^!!。
[0006]本发明所述的一种在不锈钢基片上制备1102薄膜的方法，其特征在于所述试剂XI (0811) 4、乙醇、冰醋酸()、乙酰丙酮(八)均为分析纯。
[0007]本发明所述的一种在不锈钢基片上制备1102薄膜的方法，其特征在于所述步骤
(1)中的！'饵0: 11(0811)4)小于等于0.5。
[0008]本发明所述的一种在不锈钢基片上制备1102薄膜的方法，其特征在于所述步骤
(2)所得薄膜的膜厚为1?24！11。
[0009]本发明所述的一种在不锈钢基片上制备1102薄膜的方法，通过对制备工艺的改进，在1102溶胶中添加少量的！！20和适量的撤。、^0可大大延长胶凝时间，烧制所得的薄膜具有半导率，具有较高的开发价值，适于在金属基体上制备绝缘膜、介质膜等，本发明所述方法操作简单，易于推广。
【具体实施方式】
[0010]一种在不锈钢基片上制备！'102薄膜的方法，其特征在于包括如下步骤:
(1)将钛酸丁酯溶于一定比例的乙醇中，加入(^0: XI (0811)4) = 0?2)，:X1 (0011) 4): XI (0811) 4) =0 ?4),制备成浓度为0.1?2.0 001 / [的溶胶；(2)将不锈钢基片进行碾磨，抛光及清洗后，用浸提法在基片上涂膜，自然晾干以后，在6001?1 0001下以1?21 / 0111的速度进行热处理，制得丁102薄膜。
[0011]本发明所述的一种在不锈钢基片上制备1102薄膜的方法，所述步骤(2)中使用浸提法使得提拉速率为1?4挪?111。所述试剂II (0811)4、乙醇、冰醋酸(撤。)、乙酰丙酮(八均为分析纯。所述步骤(^中的“!^: 了1(0811)0小于等于0.5，否则会促进水解，导致溶胶的不均匀或沉淀。所述步骤(2)所得薄膜的膜厚为1?2 9111，湿膜有更大的厚度，其中包含着大量的溶剂和水分，干燥中伴随有较大的体积收缩，处理不当很容易引起开裂。这是填充于湿膜骨架孔隙中的液体表面张力所引起的毛细管力，因毛细管孔隙大，小不匀，所产生的毛细管力不等，其应力差很容易导致湿膜的破裂。因此膜的干燥必须缓慢。在热处理时，低温下膜继续脱去吸附于表面的水和醇。会发生一 01？基氧化，脱去结构中的一0?基，及各种气体⑶,#、腸I的释放，使热处理中湿膜的气孔率大大增加，膜不易致密化，附着力差。因此要烧成致密完整的！'102膜，升温速度不能太快。改变溶胶浓度为0.511101 /I并减慢升温速度为/111111后，制得了较致密的1102膜。
【权利要求】
1.一种在不锈钢基片上制备T12薄膜的方法，其特征在于包括如下步骤:(I)将钛酸丁酯溶于一定比例的乙醇中，加入H20(r (H2O: Ti (OBu)4) = O?2)，HAc (r (HAc: Ti(OBu)4) = O ?20), AcAc (r (AcAc: Ti (OBu) 4) =0 ?4),制备成浓度为0.1?2.0 mo I / L的溶胶； (2)将不锈钢基片进行碾磨，抛光及清洗后，用浸提法在基片上涂膜，自然晾干以后，在600°C?I 000°C下以I?2°C / min的速度进行热处理，制得T12薄膜。
2.如权利要求1所述的一种在不锈钢基片上制备T12薄膜的方法，其特征在于所述步骤(2)中使用浸提法使得提拉速率为I?4 cm/min。
3.如权利要求1所述的一种在不锈钢基片上制备T12薄膜的方法，其特征在于所述试剂Ti (OBu)4,乙醇、冰醋酸(HAc)、乙酰丙酮(AcAc)均为分析纯。
4.如权利要求1所述的一种在不锈钢基片上制备T12薄膜的方法，其特征在于所述步骤(I)中的HH2O: Ti (OBu)4)小于等于0.5。
5.如权利要求1所述的一种在不锈钢基片上制备T12薄膜的方法，其特征在于所述步骤(2)所得薄膜的膜厚为I?2 μπι。
【文档编号】C23C18/12GK104372312SQ201410543977
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年10月15日 优先权日:2014年10月15日
【发明者】张俊 申请人:陕西易阳科技有限公司