一种加热器的喷砂治具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种加热器的喷砂治具，包括底板、筒体和顶盖，所述底板呈圆盘形且水平设置；所述筒体为长方形筒体，该筒体垂直设置在所述底板的上表面上，所述筒体的下端面的对角线的长度小于所述底板的直径；所述顶盖呈长方体形状，所述顶盖安装在所述筒体的顶端，所述顶盖的中间开设一上下贯通的方形孔；所述底板、筒体和顶盖一体成型；所述加热器立柱穿过所述顶盖的方形孔插接在所述筒体内，且所述加热器顶板的下端面与所述顶盖的上端面贴合。本实用新型的喷砂治具，操作简单，可保证TxZ机型的加热器喷砂质量。
【专利说明】一种加热器的喷砂治具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种喷砂治具，尤其涉及一种加热器的喷砂治具。
【背景技术】
[0002]TxZ机型属于半导体制造其中一种生产设备，为薄膜制程设备中的其中一环，加热器(Heater)为TxZ机型中关键核心零件之一，请参阅图1，加热器I包括加热器顶板11和加热器立柱12，加热器顶板11呈圆盘形，加热器顶板11水平设置在加热器立柱12的顶端，且该加热器顶板11的中心与加热器立柱12的中轴线在同一直线上。
[0003]通常为控制生产设备中的微尘粒子(Particle)，客户端会要求生产商除了工件高质量的洗净要求外，亦会要求对于加热器特定区域利用喷砂的方式，增加表面的粗糙度，作为加强控制微尘粒子的方式。
[0004]客户端并非要求对于加热器进行全面性的喷砂，故必须区分出需喷砂区域与不需喷砂区域，不需要喷砂的区域进行遮护作业，防止在喷砂过程中砂材影响到不应该喷砂的部分，造成无谓的重复作业产生。
[0005]传统的遮护作业方式是采用胶带进行，将胶带贴附于加热器不需要喷砂的区域，做为隔绝的方式。但这种方式有以下缺点:
[0006]进行胶带遮护作业皆采人工进行，人工进行遮护作业需耗费大量时间，无法于短时间中大量的进行作业，人力使用效率偏低。
[0007]当胶带去除时会有残胶的产生，若后续去除作业未确实，客户端再使用加热器时，容易产生许多异常影响，会使客户端微尘粒子失去控制。这对客户端与生产商来说都是非常严重的问题。
【发明内容】
[0008]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种加热器的喷砂治具，它操作简单容易，可保证TxZ机型的加热器喷砂质量。
[0009]本实用新型的目的是这样实现的:一种加热器的喷砂治具，所述加热器包括加热器顶板和加热器立柱，所述加热器顶板呈圆盘形，所述加热器顶板水平设置在所述加热器立柱的顶端，且该加热器顶板的中心与所述加热器立柱的中轴线在同一直线上，所述喷砂治具包括底板、筒体和顶盖，其中:
[0010]所述底板呈圆盘形且水平设置；
[0011]所述筒体为长方形筒体，该筒体垂直设置在所述底板的上表面上，所述筒体的下端面的对角线的长度小于所述底板的直径；
[0012]所述顶盖呈长方体形状，所述顶盖安装在所述筒体的顶端，所述顶盖的中间开设一上下贯通的方形孔，所述筒体与所述顶盖的高度之和大于或等于所述加热器立柱的高度，所述顶盖的下端面的尺寸大于所述筒体的上端面的尺寸，所述顶盖的上端面的对角线的长度大于所述加热器顶板的直径；
[0013]所述底板、筒体和顶盖一体成型；。
[0014]所述加热器立柱穿过所述顶盖的方形孔插接在所述筒体内，且所述加热器顶板的下端面与所述顶盖的上端面贴合。
[0015]上述的加热器的喷砂治具，其中，所述底板、筒体和顶盖均采用不锈钢制成。
[0016]上述的加热器的喷砂治具，其中，所述顶盖的四个的垂直的棱角部均为圆弧形过渡面。
[0017]本实用新型的加热器的喷砂治具，具有以下特点:
[0018]1.操作简单容易，仅需要将加热器放到喷砂治具上即可，喷砂治具与加热器的结合方式清楚且简单，可有效避免作业人员因为步骤繁多所造成的错误机率，与胶带必须一区域一区域的黏贴进行遮护相比较，作业时间明显降低，可大幅增加作业人员作业效率，生产效率连带增加；
[0019]2.喷砂治具保养维护容易，由于喷砂治具主体采用高强度的不锈钢制作，坚固且耐用，保养仅需要定期清洁外观，以保持工装干净即可；
[0020]3.喷砂治具采用硬件方式进行遮护，完全排除残胶未清除确实的疑虑，大幅降低客户端使用时异常产生的可能，对于客户端生产设备的稳定度维持，有明显的帮助，可保证加热器的质量；
[0021]4.采用本实用新型的喷砂治具对加热器进行喷砂，加热器的产品质量得到提升与控制，提升生产商的生产效率，降低生产成本，维持客户端使用时生产设备稳定度，产品损耗的降低，使用寿命的延长。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1为TxZ机型的加热器的结构示意图；
[0023]图2为本实用新型的加热器的喷砂治具的立体图；
[0024]图3为本实用新型的加热器的喷砂治具的使用状态图。
【具体实施方式】
[0025]为了能更好地对本实用新型的技术方案进行理解，下面通过具体的实施例并结合附图对本实用新型进行详细的说明。
[0026]请参阅图1，加热器I包括加热器顶板11和加热器立柱12，加热器顶板11呈圆盘形，加热器顶板11水平设置在加热器立柱12的顶端，且该加热器顶板11的中心与加热器立柱12的中轴线在同一直线上。
[0027]请参阅图2，本实用新型的加热器的喷砂治具包括底板2、筒体3和顶盖4。底板2呈圆盘形且水平设置；筒体3为长方形筒体，该筒体3垂直设置在底板2的上表面上，筒体3的下端面的对角线的长度小于底板2的直径；顶盖4呈长方体形状，顶盖4安装在筒体3的顶端，顶盖4的中间开设一上下贯通的方形孔41，筒体3与顶盖4的高度之和大于或等于加热器立柱12的高度，顶盖4的下端面的尺寸大于筒体3的上端面的尺寸，顶盖4的上端面的对角线的长度大于加热器顶板11的直径；底板2、筒体3和顶盖4 一体成型。
[0028]顶盖4的四个的垂直的棱角部42均为圆弧形过渡面。
[0029]底板2、筒体3和顶盖4均采用高强度的不锈钢制成，坚固且耐用，保养维护容易，仅需要定期清洁外观，以保持喷砂治具干净即可。底板2、筒体3和顶盖4均采用CNC精密加工切削而成，本实用新型的加热器的喷砂治具的精度高。
[0030]本实用新型的加热器的喷砂治具在使用时，将加热器I的加热器立柱12穿过顶盖4的方形孔41插接在筒体3内，且加热器顶板11的下端面与顶盖4的上端面贴合，然后采用喷砂机对加热器I进行喷砂，喷砂完成后，取出加热器I即可。
[0031]综上所述，本实用新型的加热器的喷砂治具，操作简单容易，可保证TxZ机型的加热器喷砂质量。
[0032]以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。
【权利要求】
1.一种加热器的喷砂治具，所述加热器包括加热器顶板和加热器立柱，所述加热器顶板呈圆盘形，所述加热器顶板水平设置在所述加热器立柱的顶端，且该加热器顶板的中心与所述加热器立柱的中轴线在同一直线上，其特征在于，所述喷砂治具包括底板、筒体和顶盖，其中: 所述底板呈圆盘形且水平设置； 所述筒体为长方形筒体，该筒体垂直设置在所述底板的上表面上，所述筒体的下端面的对角线的长度小于所述底板的直径； 所述顶盖呈长方体形状，所述顶盖安装在所述筒体的顶端，所述顶盖的中间开设一上下贯通的方形孔，所述筒体与所述顶盖的高度之和大于或等于所述加热器立柱的高度，所述顶盖的下端面的尺寸大于所述筒体的上端面的尺寸，所述顶盖的上端面的对角线的长度大于所述加热器顶板的直径； 所述底板、筒体和顶盖一体成型； 所述加热器立柱穿过所述顶盖的方形孔插接在所述筒体内，且所述加热器顶板的下端面与所述顶盖的上端面贴合。
2.根据权利要求1所述的加热器的喷砂治具，其特征在于，所述底板、筒体和顶盖均采用不锈钢制成。
3.根据权利要求1所述的加热器的喷砂治具，其特征在于，所述顶盖的四个的垂直的棱角部均为圆弧形过渡面。
【文档编号】B24C9/00GK204235401SQ201420633661
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2014年10月29日 优先权日:2014年10月29日
【发明者】杨苏圣 申请人:上海科秉电子科技有限公司