1.一种蒸镀装置,用于OLED基板蒸镀,其特征在于,包括:
蒸镀腔,用于放置待蒸镀的OLED基板;
第一管体,用于输送第一蒸镀材料,包括一第一入气口与一第一出气口,所述第一出气口连通所述蒸镀腔;以及
第二管体,用于输送第二蒸镀材料,包括一第二入气口与一第二出气口,所述第二出气口插设于所述第一管体,且通过所述第一出气口连通所述蒸镀腔。
2.如权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:还包括气体细化装置,设于所述第二出气口。
3.如权利要求2所述的蒸镀装置,其特征在于:所述气体细化装置为一滤网结构,所述滤网结构包括张设于所述第二出气口的滤网。
4.如权利要求3所述的蒸镀装置,其特征在于:所述滤网的网孔口径在0.4um以下。
5.如权利要求2所述的蒸镀装置,其特征在于:所述第一管体的第一出气口与所述第二管体的第二出气口之间形成一混合腔,用于混合所述第一蒸镀材料和所述第二蒸镀材料。
6.如权利要求5所述的蒸镀装置,其特征在于:所述第一管体的所述第一入气口设有第一阀门,所述第二管体的所述第二入气口设有第二阀门。
7.一种OLED基板蒸镀方法,其特征在于,包括不限于以下次序的步骤:
将待蒸镀的OLED基板放置于一蒸镀腔;
向一第一管体和一第二管体分别通入第一蒸镀材料和第二蒸镀材料,其中,所述第一管体包括一第一入气口与一第一出气口,所述第一出气口与所述蒸镀腔连通,所述第二管体包括一第二入气口与一第二出气口,所述第二出气口插设入所述第一管体,通过所述第一出气口与所述蒸镀腔连通;
将所述第一蒸镀材料与所述第二蒸镀材料进行混合;以及
将混合后的所述第一蒸镀材料与所述第二蒸镀材料输送至所述蒸镀腔。
8.如权利要求7所述的OLED基板蒸镀方法,其特征在于:在将所述 第一蒸镀材料与所述第二蒸镀材料进行混合的步骤之前,还包括:在所述第二出气口设置气体细化装置,利用所述气体细化装置对所述第二蒸镀材料进行细化。
9.如权利要求8所述的OLED基板蒸镀方法,其特征在于:所述气体细化装置为一滤网结构,所述滤网结构包括张设于所述第二出气口的滤网,所述滤网的网孔口径在0.4um以下。
10.如权利要求9所述的OLED基板蒸镀方法,其特征在于,还包括:
在所述第一管体的第一入气口安装一第一阀门,通过打开所述第一阀门,向所述第一管体内通入第一蒸镀材料;
在所述第二管体的第二入气口安装一第二阀门,通过打开所述第二阀门,向所述第二管体内通入第二蒸镀材料。