一种高效率的进片与抽气装置的制作方法

本发明涉及薄膜太阳能电池制造领域，更具体的说，本发明涉及一种高效率的进片与抽气装置。

背景技术：

目前，卧式真空磁控溅射设备，进口处基板从大气环境传送台传送到真空过渡室的基本过程是，基板从大气环境传送至真空过渡室的典型的过程是采用两组传感器定位（一组为基板停止位传感器,另一组为门阀防撞传感器，门阀防撞传感器位于门阀位置处，且停止位传感器紧靠门阀防撞传感器）,当基板在控制条件下到达停止位传感器停止后，控制系统得到信号，真空泵与真空相连接的抽气阀关闭，腔室放气阀（又叫破空阀）开启，达到大气环境，此时真空过渡室与大气传送台之间压力达到平衡，大气传送台与真空过渡室之间的隔离门阀开启，经过严格的距离加减速计算方法，基板加速进入真空过渡室，减速到达真空过渡室停止位传感器，基板完全停止，此时隔离门阀关闭，放气阀关闭，真空泵抽气阀开启，开始抽真空，真空达到指定要求后，进行下一步动作。在这个典型过程中，尚有不足，基板从大气传送台进入到真空过渡室的时间较长。另外，为了检修保养的方便性，真空过渡室的设计在传动轮之间并无实物填充，增加了空间体积，不足之处增加了真空泵的抽气量，即增加了真空泵的抽气时间,对于出片要求时间短的情况尚有不足。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种高效率的进片与抽气装置。

本发明为解决其技术问题而采用的技术方案是：一种高效率的进片与抽气装置，包括一用于传送工件的传送台，所述传送台上设置有真空过渡室，所述真空过渡室设置在传送台的传送方向上，所述真空过渡室的进料口处活动设置有一门阀，所述传送台的中间位置设置有一组以上的对射传感器。

作为上述技术方案的改进，所述传送台上设置有用于传送工件的滚轮组，所述滚轮组延伸到真空过渡室内，所述真空过渡室内的滚轮组之间设置有填充物。

作为上述技术方案的进一步改进，所述填充物为钢材。

进一步，所述钢材设置为实心方形状。

进一步，所述真空过渡室的外周设置有真空泵，所述真空泵通过管道与真空过渡室的内腔相连接。

进一步，所述管道上设置有用于控制抽气开关的抽气阀。

进一步，所述真空过渡室通过管道连接有一个以上的放气阀。

进一步，所述真空过渡室连接有一真空表。

本发明的有益效果：由于在传送台的中间位置设置有一组以上的对射传感器，这样当基板从大气传送台向真空过渡室行进过程中，当基板到达中间位置时，新增加的传感器感应到信号消息，控制系统得到这一信号消息并反馈给真空过渡室进行如下并行动作，真空泵抽气阀迅速关闭，同时放气阀开启，开始破真空并传递信号给门阀，破空完成后门阀即时开启，基板高速进入真空过渡室，这样大大的节省了基板从传送台进入到真空过渡室的时间，提高了进片的效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明填充物填充在滚轮组之间的结构示意图。

具体实施方式

参照图1，一种高效率的进片与抽气装置，首先包括一用于传送工件的传送台1，该传送台1上设置有真空过渡室2，且真空过渡室2设置在传送台1的传送方向上，在真空过渡室2的进料口处活动设置有一门阀3，再在传送台1的中间位置设置有一组以上的对射传感器4，本发明优选把传感器4的组数设置为一组，当然本发明并不限定传感器4的组数，也可以设置为两组，只要以相同的技术手段实现，并且能达到相同的技术效果，都属于本发明的保护范围之内，由于在传送台的中间位置设置有一组对射传感器4，这样大大的节省了基板从传送台进入到真空过渡室的时间，提高了进片效率。

参照图1～图2，在传送台1上设置有用于传送工件的滚轮组，该滚轮组延伸到真空过渡室2内，再在真空过渡室2内的滚轮组之间设置有填充物9，该填充物9为实心方钢材且易拆装，这样减少了真空室容积，从而缩短了抽气的时间，提高了生产效率，完全满足了提高设备生产能力的要求。

参照图1，在真空过渡室2的外周设置有真空泵5，该真空泵5通过管道与真空过渡室2的内腔相连接，在管道上安装有用于控制抽气开关的抽气阀6，再在真空过渡室2通过管道连接有一个以上的放气阀7，本发明优选把放气阀7的个数设置为两个，并且分别与管道相连在真空过渡室2的两侧壁，当然本发明并不限定放气阀7的个数，只要以相同的技术手段实现，并且能达到相同的技术效果，都属于本发明的保护范围之内，这样当基板从大气传送台向真空过渡室行进过程中，当基板到达中间位置时，新增加的传感器4感应到信号消息，控制系统得到这一信号消息并反馈给真空过渡室2进行如下并行动作，真空泵5抽气阀6迅速关闭，同时放气阀7开启，开始破真空并传递信号给门阀3，破真空完成后门阀3即时开启，基板高速进入真空过渡室2。

参照图1，在真空过渡室2上连接有一真空表8，该真空表8用来检测真空是否达到指定的要求。

以上对本发明的较佳实施进行了具体说明，当然，本发明还可以采用与上述实施方式不同的形式，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下所作的等同的变换或相应的改动，都应该属于本发明的保护范围内。