一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法与流程

文档序号:12415688阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法,其特征在于:以氧化还原石墨片为石墨烯溅射的靶材元素,借助双阴极辉光等离子放电作用在基体表面溅射沉积石墨烯薄膜,其具体步骤如下:

(1)将基体用丙酮进行超声清洗,将预处理好的基体放入等离子溅射炉体内的载物台上,并用保温套罩住,基体上方的氧化还原石墨片为源极靶材,基体与靶材之间的间距为工件的极间距;

(2)在基片表面形成一层等离子辉光放电,同时靶材表面也形成一层等离子辉光放电区,由两层等离子辉光放电区交叠增强成膜效率;

(3)打开等离子溅射成膜设备以及与其配套的冷水泵等,使用机械泵对镀膜炉体抽压,使炉内保持高真空状态;

(4)向炉内充入氩气至15-25Pa,重新抽到极限真空度,如此往复2-3次,以尽可能排除炉内的空气;

(5)充入氩气,打开工件电源施加电压,对试样进行预轰击;

(6)预轰击之后调至工作气压,将源极电压调整到试验值,使工件和源极达到工作温度,稳定各工艺参数并开始保温10-30min;

(7)依次关闭源极电源、阴极电源和气源,将炉内抽到极限真空,冷却到室温出炉。

2.根据权利要求1所述的石墨烯透明电极薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,基体与靶材之间的极间距保持在18-22mm。

3.根据权利要求1所述的石墨烯透明电极薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(3)中,使用机械泵将镀膜炉体气压抽至2-5Pa,再使用分子泵将炉体气压进一步抽至(3-6)×10-4Pa。

4.根据权利要求1所述的石墨烯透明电极薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(5)中,充入氩气到30-35Pa,打开工件电源并施加300-400V电压,对试样进行10分钟左右预轰击。

5.根据权利要求1所述的石墨烯透明电极薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(6)中,工作气压为400-500V,源极电压试验值为800-950V,工作温度为500-650℃。

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