用于支撑基板于外延生长装置内的基座的制作方法

文档序号:11836391阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于支撑基板于外延生长装置内的基座,所述基座包括:

环形主体,所述环形主体从中心轴延伸至外部半径,所述环形主体包括顶表面和与所述顶表面相对的底表面,所述顶表面包括:

凹入部分,所述凹入部分设置在所述中心轴处,并延伸至内部半径,

非凹入部分,所述非凹入部分沿所述环形主体的周围设置,以及

过渡部分,所述过渡部分将所述凹入部分连接至所述非凹入部分,所述过渡部分被配置成与所述基板形成邻接并支撑所述基板,其中当所述顶表面面向上并且所述中心轴竖直设置时,所述过渡部分处于比所述凹入部分更高的高度并且处于比所述非凹入部分更低的高度;以及

多个通孔,所述多个通孔从所述顶表面延伸至所述底表面,其中所述多个通孔定位在所述凹入部分和所述非凹入部分内,其中在所述凹入部分和所述非凹入部分中的所述多个通孔的密度为每平方厘米有至少5.0个通孔。

2.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,所述凹入部分和所述非凹入部分设置成正交于所述中心轴。

3.根据权利要求2所述的基座,其特征在于,所述过渡部分正交于所述中心轴。

4.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,当所述顶表面面向上并且所述中心轴竖直设置时,所述过渡部分升至高于所述非凹入部分小于0.2毫米的位置处。

5.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,当所述顶表面面向上并且所述中心轴竖直设置时,所述过渡部分设置在高于所述非凹入部分至少半毫米的高度。

6.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,所述过渡部分并不具有所述多个通孔。

7.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,所述基座的厚度小于五(5)毫米。

8.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,所述基座包含碳石墨。

9.根据权利要求1所述的基座,进一步包括与所述基座的所述中心轴等距布置的升降杆孔。

10.根据权利要求9所述的基座,其特征在于,所述升降杆孔延伸到所述凹入部分中。

11.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,所述底表面包括不具有所述通孔的支撑位置,并且所述支撑位置中的每个支撑位置具有至少两毫米宽乘至少五毫米长的尺寸。

12.根据权利要求11所述的基座,其特征在于,所述支撑位置设置成与所述非凹入部分直接相对。

13.根据权利要求11所述的基座,其特征在于,所述支撑位置与所述基座的所述中心轴等距地设置。

14.根据权利要求11所述的基座,其特征在于,所述支撑位置包括相应凹陷表面,当所述基座的所述顶表面面向上并且所述中心轴竖直设置时,所述凹陷表面从所述底表面的紧密包围部分升高至少0.7毫米。

15.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,所述通孔的中心轴与所述基座的所述中心轴平行。

16.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,所述基座的外径处于从两百(200)毫米至三百(300)毫米的范围内。

17.根据权利要求1所述的基座,其特征在于,所述凹入部分的直径处于从一百(100)毫米至两百(200)毫米的范围内。

18.根据权利要求1所述的基座,进一步包括保持表面,所述保持表面被配置成防止所述基板在所述基座围绕所述中心轴旋转期间发生水平移动。

19.根据权利要求18所述的基座,其特征在于,所述保持表面正交于以下中的至少一者:所述顶表面的所述非凹入部分和所述凹入部分。

20.根据权利要求1所述的基座,其特征在于所述环形主体是一体形成的。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1